알루미나 소결체, 이것을 구비하는 부재 및 반도체 제조장치
    9.
    发明授权
    알루미나 소결체, 이것을 구비하는 부재 및 반도체 제조장치 有权
    铝氧化物烧结体及其半导体制造装置

    公开(公告)号:KR101689054B1

    公开(公告)日:2016-12-22

    申请号:KR1020130045335

    申请日:2013-04-24

    摘要: (과제) 제조공정의복잡화를억제하고, 알루미나에첨가하는산화티탄의양을억제하면서소망하는체적저항률을나타내는알루미나소결체를얻는다. (해결수단) 알루미나를주성분으로하고, 티탄원소를함유하는알루미나소결체는란탄원소, 네오디뮴원소및 세륨원소에서선택되는적어도 1종의원소를더 함유한다. 알루미늄원소의함유량은산화물로환산하였을때의전체산화물중의산화알루미늄의비율이 93.00∼99.85중량%가되는양이다. 티탄원소의함유량은전체산화물중의산화티탄의비율이 0.10∼2.00중량%가되는양이다. 란탄원소, 네오디뮴원소및 세륨원소의함유량의합계는전체산화물에대한산화란탄, 산화네오디뮴및 산화세륨의합계량의비율이 0.05∼5.00중량%가되는양이다. 체적저항률은실온에서 1×10∼1×10Ω·㎝이다.

    摘要翻译: 氧化铝烧结体含有氧化铝作为主要成分和钛。 氧化铝烧结体还含有选自镧,钕和铈中的至少一种元素。 氧化铝烧结体中含有铝,其量使得氧化铝烧结体中氧化铝与总氧化物的比例为93.00〜99.85重量%,其中总氧化物定义为氧化铝中所含的全部氧化物的总量 烧结体。 钛的含量使得氧化钛与总氧化物的比例为0.10-2.00重量%。 镧,钕和铈的含量以组合量与总氧化物的比例为0.05〜5.00重量%。 体积电阻率在室温下为1×105〜1×1012&OHgr·cm。