公开(公告)号：KR1020160142787A

公开(公告)日：2016-12-13

申请号：KR1020160069090

申请日：2016-06-02

申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨

发明人： 자인,비풀 ,  리,밍키 ,  주,화싱 ,  박,종근 ,  허스타드,필립디. ,  성,진욱

IPC分类号： G03F7/32 ,  G03F7/012 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/165 ,  C08F293/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/002 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/168 ,  G03F7/20 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40 ,  G03F7/405 ,  H01L21/0274 ,  G03F7/32 ,  G03F7/0125 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/2055

摘要： 패턴처리방법은하기단계들을포함한다: (a) 기판의표면상에서패턴화된특징을포함하는반도체기판을제공하는단계; (b) 패턴처리조성물을패턴화된특징에도포하는단계로서, 상기패턴처리조성물은블록코폴리머및 용매를포함하고, 상기블록코폴리머는제1 블록및 a 제2 블록을포함하고, 상기제1 블록은에틸렌성으로불포화된중합성기 및수소수용체기를포함하는제1 모노머로부터형성된단위를포함하고, 상기수소수용체그룹은질소-함유기이고, 상기제2 블록은에틸렌성으로불포화된중합성기 및방향족기를포함하는제2 모노머로부터형성된단위를포함하고, 단, 상기제2 모노머는스티렌이아닌단계; 및 (c) 잔류패턴처리조성물을상기기판으로부터린스하고, 이로써패턴화된특징에결합된블록코폴리머의일부를남기는단계. 상기방법은고해상도패턴을제공하기위해반도체소자의제조에서특정한적용가능성을발견한다.

摘要翻译： 图案处理方法包括：（a）在其表面上提供包括图案化特征的半导体衬底; （b）将图案处理组合物施加到所述图案化特征，其中所述图案处理组合物包含嵌段共聚物和溶剂，其中所述嵌段共聚物包含第一嵌段和第二嵌段，其中所述第一嵌段包含由第一嵌段 包含烯键式不饱和可聚合基团和氢受体基团的单体，其中所述氢受体基团是含氮基团，并且所述第二嵌段包含由包含烯属不饱和可聚合基团和芳族基团的第二单体形成的单元，条件是 第二单体不是苯乙烯; 和（c）从基材漂洗残余图案处理组合物，使一部分嵌段共聚物结合到图案化特征。 该方法在用于提供高分辨率图案的半导体器件的制造中具有特别的适用性。

公开(公告)号：KR1020160106680A

公开(公告)日：2016-09-12

申请号：KR1020167021473

申请日：2015-01-20

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 츠치무라토모타카

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  C08F212/14 ,  C08F12/16 ,  C08F12/22 ,  C08F12/32 ,  C08F16/06 ,  C08F12/20 ,  G03F7/20 ,  G03F1/22

CPC分类号： G03F7/322 ,  C08F12/20 ,  C08F12/22 ,  C08F12/32 ,  C08F212/14 ,  C09D125/18 ,  G03F1/50 ,  G03F1/76 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2063 ,  G03F7/004 ,  C08F12/16 ,  C08F16/06 ,  G03F1/22 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/2055 ,  C08F212/32

摘要： 감활성광선성또는감방사선성수지조성물은, (A) 특정의일반식 (I)로나타나는기에의하여, 페놀성수산기의수소원자가치환된구조를갖는고분자화합물, 및 (B) 활성광선또는방사선의조사에의하여산을발생하는화합물을함유한다.

公开(公告)号：KR1020160086324A

公开(公告)日：2016-07-19

申请号：KR1020167009206

申请日：2014-09-24

申请人： 히다치 가세이듀퐁 마이쿠로시스데무즈 가부시키가이샤

发明人： 오노케이시 ,  에노모토테츠야 ,  오에마사유키 ,  스즈키케이코 ,  소에지마카즈야 ,  스즈키에츠하루

IPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/20 ,  G03F7/16

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2055

摘要： 본발명은, (a) 하기일반식(1)로표시되는구조단위를가지는폴리이미드전구체, (b) 하기일반식(2)로표시되는화합물, 및 (c) 활성광선조사에의해라디칼을발생하는화합물을함유하는수지조성물, 그것으로부터형성되는경화막또는패턴경화막, 그것을사용한경막막의제조방법, 및상기경화막또는패턴경화막을가지는전자부품이다. (식(1) 중, R은 4가의유기기, R는 2가의유기기, R및 R는각각독립적으로수소원자, 알킬기, 사이클로알킬기, 또는탄소탄소불포화이중결합을가지는 1가의유기기이다.) (식(2) 중, R는수소원자또는, 탄소수 1~4의알킬기이며, R은 (메타)아크릴기를포함하지않는 1가의유기기이다.)

公开(公告)号：KR1020150133514A

公开(公告)日：2015-11-30

申请号：KR1020140060386

申请日：2014-05-20

申请人： 동우 화인켐 주식회사

发明人： 최화섭 ,  백기범 ,  박근영

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  G02F1/13 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/2055 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/004 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70308 ,  G03F7/70575

摘要： 본발명은광경화패턴의형성방법에관한것으로, 보다상세하게는기판의적어도일면에감광성수지조성물을도포하고복합파장의광으로노광하여광경화패턴의형성방법에있어서, 상기노광은상기광 중 j선(300nm 이상 340 nm 이하)의파장의광의광량적분값을 i선(340nm 초과 380nm 이하)의파장의광량적분값에대하여 5 내지 20%가되도록수행하고, 상기감광성수지조성물은흡수파장이 325 내지 340 nm인광중합개시제를포함함으로써, 패턴의밀착력을향상시켜미세패턴의형성이가능하며, 이로써고해상도를구현할수 있는광경화패턴의형성방법에관한것이다.

摘要翻译： 本发明涉及一种形成光固化图案的方法，更具体地说，涉及一种通过将感光性树脂组合物涂布在基材的至少一个表面上而形成光固化图案的方法，并使表面曝光，感光性树脂 对多波长的光进行组合。 进行曝光，使得具有光的j射线（从300nm到340nm）的光的光量积分值变为波长为i-的光的光量积分值的5至20％ （大于340nm且小于或等于380nm）。 感光性树脂组合物含有吸收波长在325〜340nm范围内的光聚合引发剂，从而提高图案的粘合性，形成微细图案。 因此，可以实现高分辨率。

公开(公告)号：KR20120007761A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：KR20100068453

申请日：2010-07-15

申请人： LG INNOTEK CO LTD

发明人： HONG BUM SUN ,  KOO CHAN KYU ,  KANG HYUN UK ,  SHIN JUN SIK ,  LEE YONG IN

IPC分类号： G02F1/1345 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/2055 ,  G02F1/13439 ,  G03F7/0012 ,  G03F7/161 ,  H01L21/0275

摘要： PURPOSE: A printed board for a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof are provided to realize a high A/R(Aspect Ratio). CONSTITUTION: A bonding material layer is formed to increase the adhesion between a substrate and a photosensitive layer. A printed pattern is formed by light irradiation patterning of the photosensitive layer. The printed pattern is formed by light exposing and developing processes using a photo mask or the printed pattern is formed by a laser writer(S41,S42). A functional layer for enhancing printability and durability is formed on a structure after the printed pattern is formed(S5).

摘要翻译： 目的：提供一种用于液晶显示装置的印刷电路板及其制造方法以实现高A / R（高宽比）。 构成：形成接合材料层以增加基底和感光层之间的粘合性。 通过感光层的光照射图案化形成印刷图案。 通过使用光掩模的光曝光和显影处理形成印刷图案，或者通过激光写入器形成印刷图案（S41，S42）。 在形成印刷图案之后的结构上形成用于增强印刷性和耐久性的功能层（S5）。

公开(公告)号：KR1020100134821A

公开(公告)日：2010-12-24

申请号：KR1020090053145

申请日：2009-06-16

申请人： 부산대학교 산학협력단

发明人： 박상후 ,  유원설

IPC分类号： G03F7/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2047 ,  G03F7/2055 ,  G03F7/7035

摘要： PURPOSE: A method for manufacturing microchannel by contact printing method is provided to more easily produce multiple microchannel of high precision. CONSTITUTION: A method for manufacturing microchannel comprises: a step of passing photolithograhy process to make a stamp(S11); a step of depositing SAM layer on a glass plate(S13); a step of depositing SAM layer on the stamp(S15); a step of performing spin coating of UV curable resin on the glass plate(S17); a step of imprinting the stamp to the UV curable resin to obtain a structure of the UV curable resin(S19); a step of irradiating UV on the UV curable resin(S21); a step of separating the stamp from the structure(S23); a step of coating the UV curable adhesive on a substrate(S25); a step of adhering the structure on the substrate(S27); and a step of removing SAM layer(S29).

摘要翻译： 目的：提供一种通过接触印刷法制造微通道的方法，以更容易地产生高精度的多个微通道。 构成：微通道的制造方法，其特征在于，包括：通过光刻法制作印模的步骤（S11）; 将SAM层沉积在玻璃板上的步骤（S13）; 在邮票上存放SAM层的步骤（S15）; 在玻璃板上进行UV固化树脂的旋涂的步骤（S17）; 将印模印刷到UV固化树脂上以获得UV固化树脂的结构的步骤（S19）; 对UV固化树脂照射UV的步骤（S21）; 将印模与结构分离的步骤（S23）; 将UV可固化粘合剂涂布在基材上的步骤（S25）; 将结构粘附在基板上的步骤（S27）; 和去除SAM层的步骤（S29）。

公开(公告)号：KR101845205B1

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：KR1020170138067

申请日：2017-10-24

申请人： 전형민

发明人： 전형민

IPC分类号： B41M3/14 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  B41N1/04

CPC分类号： B41M3/144 ,  B41N1/04 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2014 ,  G03F7/2055 ,  G03F7/26

摘要： 본발명은노광기술에의해 2차도금증식된금속층을이용한위조방지용인쇄판제조방법에관한것으로서, 마이크로패턴이현상된투명필름이준비되는단계, 극세연마된스테인레스판표면에감광액이도포되고건조되어감광코팅층이형성되는단계, 상기감광코팅층위에상기마이크로패턴이현상된투명필름이밀착되어자외선에노광되고경화되는단계, 상기마이크로패턴이현상된상기투명필름을걷어내고상기자외선에노광되고경화된부분이외의상기감광코팅층부분이네거티브형태로제거되는단계, 상기자외선에노광되고경화된부분사이에볼록한 1차도금증식금속층이형성되는단계및 상기자외선에노광되고경과된부분상에볼록부가형성되도록상기 1차도금증식금속층상에 2차도금증식금속층이형성되는단계를포함하여구성되어, 매끄러운표면이형성된위조방지용인쇄판의제공이가능하여금박이나은박등의금속박막상에초고광택의반사면을가지는요철을형성하는것이용이한효과를가지며, 도금수준의광택도를가지는매끄러운표면이형성된위조방지용인쇄판을이용하여위조방지용금속박막표면이제조됨으로써빛의산란과난반사를감소시켜뛰어난위조방지기능을제공하는효과를가진다.

摘要翻译： 本发明是使用增殖金属防伪通过曝光技术，步骤，一个额外的精细抛光的不锈钢板，其表面具有微细图案显影剂制备光致抗蚀剂的透明膜是涂层产生的印刷版和干燥所述感光相关的二次镀覆法 失卷起在其上形成的被覆层的步骤中，步骤是透明膜，其中所述微图案显影剂对光敏涂层曝光并用紫外线固化的粘接，其特征在于，所述微图案显影曝光并固化在UV部分中的透明膜 在紫外线的曝光部分和固化部分之间形成凸起的主要镀敷增强金属层，并在紫外线的过去的曝光部分上形成凸起部分， 以及在碳镀扩散金属层上形成第二镀敷扩散金属层以形成光滑表面的步骤， 该服务可以通过具有在金属箔膜的第二高光泽的反射面的使用haneungeot形式的不规则性，例如金或银箔具有其效果，通过使用防伪印刷版的光滑表面上形成有防伪的涂布水平的光泽度 生产金属薄膜表面，由此减少光散射和漫反射，由此提供优异的防伪功能。

公开(公告)号：KR1020160102386A

公开(公告)日：2016-08-30

申请号：KR1020167006523

申请日：2014-12-17

申请人： 디아이씨 가부시끼가이샤

发明人： 이베,다케시 ,  야다,마코토

IPC分类号： G03F7/00 ,  C08F12/32 ,  C08F12/34 ,  C08F257/00 ,  G03F7/20 ,  G03F1/80 ,  G03F9/00

CPC分类号： C08F12/36 ,  B29C59/026 ,  B81C2201/0153 ,  C08F12/32 ,  C08F12/34 ,  C08F257/00 ,  C08K5/00 ,  C08L101/02 ,  C09D125/16 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/31144 ,  G03F1/80 ,  G03F7/2055 ,  G03F9/7042

摘要： 본발명은, 비닐기가연결된방향족기를포함하는특정한구조를측쇄에갖는중합체 (A)를함유하는드라이에칭레지스트용경화성수지조성물이며, 해당중합체 (A) 중의특정한구조가중합체 (A) 중에서 80 내지 100중량%인것을특징으로하는드라이에칭레지스트용경화성수지조성물을제공하는것이다. 또한, 해당드라이에칭레지스트용경화성조성물을경화해서이루어지는것을특징으로하는드라이에칭용레지스트마스크, 및나노임프린트법에의한패턴을갖는것인드라이에칭용레지스트마스크를제공하는것이다.

摘要翻译： 提供一种干蚀刻抗蚀剂用固化性树脂组合物，该固化性树脂组合物含有在侧链具有包含具有乙烯基的芳香族基团的特定结构的聚合物（A）。 聚合物（A）包括80至100重量％的特定结构。 此外，提供了通过固化用于干蚀刻抗蚀剂的可固化组合物获得的干蚀刻抗蚀剂掩模，以及具有通过纳米压印法形成的图案的干蚀刻抗蚀剂掩模。

公开(公告)号：KR1020160088447A

公开(公告)日：2016-07-25

申请号：KR1020167019452

申请日：2004-07-26

申请人： 가부시키가이샤 니콘

发明人： 마고메노부타카 ,  고바야시나오유키 ,  사카키바라야스유키 ,  다카이와히로아키

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70866 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70858 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/2055 ,  G03F7/7065 ,  G03F7/70758 ,  H01L21/0275

摘要： 노광장치 (EX) 는, 투영광학계 (PL) 와액체 (1) 를통해서패턴이미지를기판 (P) 상에투영함으로써기판 (P) 을노광한다. 노광장치 (EX) 는, 투영광학계 (PL) 와기판 (P) 사이에액체 (1) 를공급하는액체공급기구 (10) 를구비하고있다. 액체공급기구 (10) 는, 이상이검출되었을때에액체 (1) 의공급을정지한다. 액침영역을형성하는액체의누설에의해기판주변의장치ㆍ부재가받는영향을억제하여, 양호하게노광처리할수 있다.

摘要翻译： 曝光装置（EX）通过投影光学系统（PL）和液体（1）将基板（P）上的图案的图像投射到基板（P）上。 曝光装置（EX）具有在投影光学系统（PL）和基板（P）之间供给液体（1）的液体供给机构（10）。 当检测到异常时，液体供给机构（10）停止供给液体（1）。 这抑制了由于形成液浸区域的液体的泄漏而导致的衬底周边的器件和构件的影响，从而实现令人满意的曝光处理。

公开(公告)号：KR1020130131678A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：KR1020120055407

申请日：2012-05-24

申请人： 한국광기술원 ,  주식회사 비엘시스템

发明人： 정재철

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/2055 ,  G02B9/60 ,  G02B13/0045 ,  G02B15/173 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70275

摘要： The present invention relates to a high resolution exposure apparatus for a plate printing machine using near-infrared ray, which comprises a plurality of laser diodes which emits lights with wavelengths of 800-860 nm; optical fibers which wave guide the lights emitted from each laser diode; and a lens unit which focuses the lights emitted through the optical fibers into a target printing image surface. The lens unit includes first through eighth lenses in order from the optical fiber to the image surface. The first lens has convex spherical surfaces on both sides and has a positive refractive power. The second lens has concave spherical surfaces on both sides and has a negative refractive power. The third lens has a meniscus type positive refractive power which has a convex image surface. The fourth lens has a meniscus type negative refractive power which has a concave image surface. The fifth lens has the positive refractive power in which both sides are convex. The sixth lens has the positive refractive power in which both sides are concave. The seventh lens has the negative refractive power in which both sides are concave. The eighth lens has a convex surface which faces with the seventh lens and has the positive refractive power. The fourth and fifth lenses are mutually welded, and the sixth and seventh lenses are mutually welded. According to the high resolution exposure apparatus for lithography printer using near-infrared ray, numerical aperture can be greater, a light focusing rate can be enhanced, and high resolution can be provided.

摘要翻译： 本发明涉及一种使用近红外线的印版机的高分辨率曝光装置，其包括发射波长为800-860nm的光的多个激光二极管; 光引导从每个激光二极管发出的光的光纤; 以及将通过光纤发射的光聚焦到目标印刷图像表面中的透镜单元。 透镜单元包括从光纤到图像表面的顺序的第一至第八透镜。 第一透镜在两侧具有凸的球形表面并具有正的折光力。 第二透镜在两侧具有凹球面并具有负折光力。 第三透镜具有弯月面型正屈光力，其具有凸形图像表面。 第四透镜具有弯月面型负屈光力，其具有凹面图像表面。 第五透镜具有正折射力，其中两侧是凸的。 第六透镜具有正折射力，其中两侧是凹的。 第七透镜具有两面为凹面的负屈光力。 第八透镜具有与第七透镜相对并且具有正折光力的凸面。 第四透镜和第五透镜相互焊接，第六透镜和第七透镜相互焊接。 根据使用近红外线的光刻打印机的高分辨率曝光装置，数值孔径可以更大，可以提高光聚焦速度，并且可以提供高分辨率。