公开(公告)号：KR101770009B1

公开(公告)日：2017-08-21

申请号：KR1020127024949

申请日：2011-02-25

申请人： 가부시키가이샤 니콘

发明人： 다나카게이이치 ,  요시하시마사히로

IPC分类号： H01L21/78 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67092 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68742 ,  Y10S156/932 ,  Y10S156/943 ,  Y10T156/11 ,  Y10T156/1132 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1179 ,  Y10T156/1189 ,  Y10T156/19 ,  Y10T156/1944 ,  Y10T156/1972 ,  Y10T156/1983

摘要： 서로대향하는제1 홀더및 제2 홀더에끼워진기판을소정의위치에유지하는기판유지단계와, 기판유지단계에서기판이소정의위치에유지된상태에서제1 홀더및 제2 홀더를상대적으로이동시키는홀더이동단계를포함하는기판분리방법이제공된다. 기판유지단계에서는, 기판에가압력또는흡인력을작용시키는것에의해기판을소정의위치에유지해도괜찮다. 게다가, 기판유지단계에서는, 기판을제1 홀더및 제2 홀더중 어느하나에접한위치에유지해도괜찮다.

公开(公告)号：KR101742347B1

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：KR1020127032469

申请日：2011-03-29

申请人： 에베 그룹 게엠베하

发明人： 린드너,프리드리치,폴 ,  부르그라프,요르겐

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/301

CPC分类号： B32B38/10 ,  B32B37/025 ,  B32B43/006 ,  B32B2038/0052 ,  B32B2307/546 ,  B32B2310/0418 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68771 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T156/1111 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1179 ,  Y10T156/19 ,  Y10T156/1922 ,  Y10T156/1928 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T156/1983

摘要： 결합층에의해제작기판에연결된캐리어기판으로부터제작기판을박리하기위한장치에있어서, 상기장치는필름프레임; 필름프레임에연결되고가요성필름의접촉표면섹션에서제작기판을고정하기위한접착층을가지며, 상기가요성필름이접촉표면섹션을둘러싸는가요성필름의부착섹션에서필름프레임에연결되는상기가요성필름; 뿐만아니라필름프레임과상기필름에의해특히가변적부피로, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위하여형성된용매저장소, 여기서제작기판및 결합층이상기용매저장소에수용될수 있으며; 용매를용매저장소에전달하기위한전달수단; 및제작기판을캐리어기판으로부터박리하기위한박리수단에의해실시된다. 또한본 발명은필름프레임과상기필름프레임에연결된가요성필름에의해형성되며, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위한용매저장소를형성하고; 뿐만아니라제작기판및 결합층을용매저장소에고정하고; 그리고용매를용매저장소에전달하고; 그리고제작기판을캐리어기판으로부터박리함으로써, 제작기판을캐리어기판으로부터박리하는방법에관한것이다.

摘要翻译： 一种用于通过粘合层将制造的衬底从与制造的衬底连接的载体衬底上剥离的设备，所述设备包括：膜框架; 连接到所述薄膜框架和性别具有用于在膜的接触表面部分中的产生的基板固定的粘合剂层，所述柔性膜是柔性耦合到膜框架中围绕所述接触表面部分膜膜柔性的安装部分 。 以及在由薄膜框架和所述膜特定的可变体积，被容纳在溶剂存储，其中，所述基板和所述接合层使所提供的移相器溶剂储存保留溶剂，接合层分离，并且; 用于将溶剂输送到溶剂储存器的输送装置; 剥离装置用于从载体基板上剥离制造的基板。 在另一个方面中，本发明由附接到所述框架和所述胶片帧膜的柔性膜形成，以形成用于保持溶剂的接合层分离溶剂存储; 除了将制造基底和粘合层固定到溶剂储存器之外， 并将溶剂转移到溶剂容器中; 并且通过从载体基板剥离基板而从基板剥离基板。

公开(公告)号：KR1020160020999A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：KR1020140142931

申请日：2014-10-21

申请人： 주식회사 엘지화학

发明人： 박산 ,  정봉수 ,  유재한 ,  박천호 ,  이석재 ,  김경식

IPC分类号： B65H41/00

CPC分类号： B32B43/006 ,  B32B37/003 ,  B32B37/06 ,  B32B38/10 ,  B32B2307/42 ,  B32B2457/20 ,  B65H29/54 ,  B65H41/00 ,  B65H2301/51122 ,  B65H2801/61 ,  Y10S156/93 ,  Y10S156/941 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1174 ,  Y10T156/195 ,  Y10T156/1978

摘要： 본발명은패널로부터편광필름을박리하기위한박리바, 장치및 박리방법에관한것이다. 본발명은박리바에장착된롤러에박리되는편광필름이접하여박리바와편광필름사이의마찰력을최소화할있다. 박리바의롤러의반지름과고정부의경사면은편광필름에가해지는전단력의 Z축성분이최소가되도록설계된다. 또한본 발명은박리시편광필름에가해지는텐션이균일하게되도록하기위해, 편광필름의양 끝단이박리바에밀착되도록한다. 본발명에따르면박리되는편광필름의파단을방지하여, 파단없이안정적으로패널로부터편광필름을박리할수 있다.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于从面板上释放偏光膜的释放杆，设备和释放方法。 本发明通过使偏光膜被释放与安装在释放杆上的辊接触来最小化释放杆和偏振膜之间的摩擦。 解除杆上的辊的半径和固定部分的倾斜表面被设计成使施加到偏振膜的剪切力的z轴分量最小化。 此外，本发明使偏振膜的两端与释放杆紧密接触，以便在释放期间使偏振膜施加均匀的张力。 根据本发明，通过防止被剥离的偏光膜的撕裂，偏光膜可以从面板稳定地释放而不会撕裂。

公开(公告)号：KR1020150108428A

公开(公告)日：2015-09-25

申请号：KR1020157024328

申请日：2011-04-11

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 부르그라프,쥐르겐 ,  버그스탈러,대니얼

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/78

CPC分类号： B32B43/006 ,  B32B38/10 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68785 ,  H01L2221/68381 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1978

摘要： 본 발명은 캐리어 기판(13)이 제작 기판(11)으로부터 분리될 때 캐리어 기판(13)을 고정하기 위한 가요성의 캐리어 마운트(1)에 관한 것으로서, 캐리어 기판(13)이 굽어지는 동안 제작 기판(11)을 결합해제하기 위해 분리 수단(1, 28)이 제공된다.
본 발명은, 또한, 캐리어 기판(13)을 제작 기판(11)으로부터 분리 방향(L)으로 분리시키기 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는: 캐리어 기판(13)이 고정되며 분리 방향(L)으로 굽어질 수 있는 캐리어 마운트(1); 제작 기판(11)을 고정하기 위한 기판 마운트(18); 및 캐리어 기판(11)이 굽어지는 동안 캐리어 기판(13)을 제작 기판(11)으로부터 결합해제하기 위한 분리 수단(1, 15, 15', 16, 28)을 포함한다.
또한, 본 발명은 분리 방향(L)으로 제작 기판으로부터 캐리어 기판을 분리시키기 위한 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은: 기판 마운트에 제작 기판을 고정하는 단계 및 분리 방향(L)으로 굽어질 수 있는 캐리어 마운트에 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및 제작 기판이 굽어지는 동안 제작 기판으로부터 캐리어 기판을 결합해제하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020150042734A

公开(公告)日：2015-04-21

申请号：KR1020140136659

申请日：2014-10-10

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 혼다마사루 ,  사카모토료이치

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/78

CPC分类号： B32B38/18 ,  B32B38/10 ,  B32B38/1858 ,  B32B43/006 ,  B32B2309/105 ,  B32B2457/14 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  Y10T156/1132 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1944 ,  Y10T156/1967 ,  Y10T156/1994 ,  H01L21/67712

摘要： [과제] 피처리기판과지지기판의박리처리를효율적으로행한다. [해결수단] 박리장치는, 중첩기판중 지지기판을유지하는제1 유지부와, 중첩기판중 피처리기판을유지하는제2 유지부와, 제1 유지부의외주부의일부를제2 유지부로부터분리하는방향으로이동시키는이동부를갖는다. 제1 유지부는, 이동부에접속되는판형의탄성부재와, 탄성부재에설치되고, 지지기판을흡착하는복수의흡착부를갖는다. 복수의흡착부중, 박리의기점이되는지지기판(S)의외주부를흡착하는외주흡착부(53)는, 지지기판(S)의흡착면(521a)이개구되어중공부(521b)가형성된패드부재(521)와, 패드부재(521)의중공부(521b)에감입하여설치되고, 패드부재(521)보다높은경도를갖는서포트부재(522)를갖는다.

摘要翻译： [主题]对被处理基板和支撑基板进行有效的剥离处理。 [解决方案]剥离装置包括：第一维护部件，用于将支撑基板保持在叠置的基板之间; 第二维护部件，用于将处理过的基板保持在叠加的基板之间; 以及移动部件，用于使第一维护部件的外周的一部分沿与第二维修部分分离的方向移动。 第一维护部件包括：连接到移动部件的平面弹性部件; 以及多个吸附部，安装在弹性部件上以吸附支撑基板。 在多个吸附部之间吸附作为剥离开始点的支承基板（S）的圆周部的圆周吸附部（53）通过嵌入形成中空部（521b）的垫部（521a）而被安装 ），其中所述支撑基板（S）的吸附表面（521a）打开并且在衬垫构件（521）的中空部分（521b）中，并且具有硬度高于所述衬垫构件的支撑构件（522） 521）。

公开(公告)号：KR101486594B1

公开(公告)日：2015-01-26

申请号：KR1020090015091

申请日：2009-02-24

申请人： 닛토덴코 가부시키가이샤

发明人： 야마모또마사유끼 ,  미야모또사부로

IPC分类号： H01L23/28

CPC分类号： H01L21/67132 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1195

摘要： 장치를 평면에서 보았을 때에 가로로 긴 직사각형부와 당해 직사각형부의 중앙부에서 연접하는 돌출부로 이루어지는 볼록형 배치이며, 그 돌출부에 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착부를 배치하고, 직사각형부에 웨이퍼(W), 링 프레임 및 링 프레임에 보유 지지된 웨이퍼를 반송하는 반송 기구를 배치하고, 돌출부를 사이에 두고 직사각형부에 인접하는 2개의 영역 중 적어도 한쪽의 측에 전자 기판 처리 유닛을 연결 가능하게 구성한다.
돌출부, 웨이퍼, 링 프레임, 점착 테이프, 전자 기판 처리 유닛

公开(公告)号：KR1020140141841A

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：KR1020130062721

申请日：2013-05-31

申请人： 삼성디스플레이 주식회사

发明人： 이승준 ,  김준형

IPC分类号： H01L51/56 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00

CPC分类号： B32B43/006 ,  B32B37/0046 ,  B32B38/10 ,  B32B38/1858 ,  B32B2310/0881 ,  B32B2457/08 ,  B32B2457/20 ,  H01L2221/683 ,  Y10T156/11 ,  Y10T156/1132 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1184 ,  Y10T156/19 ,  Y10T156/1944 ,  Y10T156/1967

摘要： 기판 분리 장치 및 기판 분리 방법이 제공된다. 기판 분리 장치는 수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 상부 기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부, 상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 하부기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부를 포함하되, 상기 하부 이송부는, 상부에 상기 하부기판이 안착되는 하부 안착수단, 상기 하부 안착수단의 이동을 가이드하는 경로가이드를 구비한 하부 가이드수단을 포함하고, 상기 경로가이드는, X축과 평행한 제1경로가이드 및 상기 제1경로가이드와 연속하고 상기 좌표계에서 음의 기울기를 갖는 직선과 접하는 제2경로가이드를 포함할 수 있다.

摘要翻译： 提供了一种基板分离装置和基板分离方法。 基板分离装置包括：顶部传送单元，其固定顶部基板，并且在垂直交叉的X轴和Y轴构成的XY坐标中以正的X轴方向传送顶部基板; 以及底部转印单元，其分别安装在顶部转印单元的下侧，并固定和转印底部基板。 底部转印单元包括：底部安装装置，其在其上侧容纳底部基板; 以及底部引导装置，其包括引导底部接收装置的移动的路径引导件。 路线引导件包括：平行于X轴的第一路线引导件; 以及第二路径引导件，其与第一路线引导件连续并且与坐标中具有负斜率的线接触。

公开(公告)号：KR101454985B1

公开(公告)日：2014-11-03

申请号：KR1020127032468

申请日：2011-03-29

申请人： 에베 그룹 게엠베하

发明人： 린드너,프리드리치,폴 ,  부르그라프,요르겐

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/301

CPC分类号： B32B38/10 ,  B32B37/025 ,  B32B43/006 ,  B32B2038/0052 ,  B32B2307/546 ,  B32B2310/0418 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68771 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T156/1111 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1179 ,  Y10T156/19 ,  Y10T156/1922 ,  Y10T156/1928 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T156/1983

摘要： 결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다.
또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다.

摘要翻译： 一种用于通过粘合层将制造的衬底从与制造的衬底连接的载体衬底上剥离的设备，所述设备包括：膜框架; 连接到所述薄膜框架和性别具有用于在膜的接触表面部分中的产生的基板固定的粘合剂层，所述柔性膜是柔性耦合到膜框架中围绕所述接触表面部分膜膜柔性的安装部分 。 以及在由薄膜框架和膜中，为了保持溶剂，接合层，其特征在于，在生产基片和粘结层可以被容纳在储存溶剂分离设置的溶剂储存特定一个可变容积; 用于将溶剂输送到溶剂储存器的输送装置; 剥离装置用于从载体基板上剥离制造的基板。

公开(公告)号：KR1020140000134A

公开(公告)日：2014-01-02

申请号：KR1020127022789

申请日：2012-02-03

申请人： 파나소닉 주식회사

发明人： 나가오가즈히데 ,  나카이노부히로 ,  기노시타유타카

IPC分类号： H05K13/02

CPC分类号： H05K13/0417 ,  Y10S156/93 ,  Y10S156/941 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1978

摘要： 커버 테이프 박리 기구(50)에 의해 수행되는 캐리어 테이프(15)로부터의 커버 테이프(15e)의 박리에 있어서, 박리 블레이드 엣지(51f)에 의해 베이스 테이프(15a)로부터 박리된 커버 테이프(15e)가, 오목 원추면(52c)에 접촉하게 되어, 커버 테이프(15e)의 일측부는 상기 타측부를 향해 굴곡되고; 캐리어 테이프(15)가 픽업 위치로 가이드되는 동안 굴곡된 커버 테이프(15e)는 가이드면(32s)에 대하여 아래로부터 압박된다. 따라서, 커버 테이프(15e)는, 베이스 테이프에 대하여 평면 형상으로 절첩된다.

公开(公告)号：KR1020130141721A

公开(公告)日：2013-12-26

申请号：KR1020137032317

申请日：2008-11-17

申请人： 닛토덴코 가부시키가이샤

发明人： 니시오아키노리 ,  기우치가즈유키

IPC分类号： B32B27/06 ,  B32B7/12 ,  C09J11/04 ,  C09J5/00 ,  B29C61/06

CPC分类号： B29C53/32 ,  B29C63/0013 ,  B29K2995/0049 ,  B29L2009/00 ,  B32B7/02 ,  B32B7/06 ,  B32B7/12 ,  B32B25/08 ,  B32B25/14 ,  B32B27/08 ,  B32B27/16 ,  B32B27/18 ,  B32B27/20 ,  B32B27/22 ,  B32B27/281 ,  B32B27/283 ,  B32B27/285 ,  B32B27/30 ,  B32B27/302 ,  B32B27/308 ,  B32B27/32 ,  B32B27/325 ,  B32B27/34 ,  B32B27/36 ,  B32B27/40 ,  B32B37/12 ,  B32B37/144 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2250/24 ,  B32B2255/10 ,  B32B2255/26 ,  B32B2255/28 ,  B32B2264/02 ,  B32B2264/101 ,  B32B2270/00 ,  B32B2307/308 ,  B32B2307/50 ,  B32B2307/518 ,  B32B2307/736 ,  B32B2307/748 ,  B32B2307/75 ,  B32B2405/00 ,  B32B2457/00 ,  C09J7/29 ,  C09J2201/162 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T156/1158 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1917 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/2848 ,  B32B27/06

摘要： 본 발명의 점착 시트는, 수지 적층체 상에 점착제층을 배치한 점착 시트로서, 상기 수지 적층체가, 열수축률이 상대적으로 큰 고 열수축 기재층으로서, 주수축 방향에서의 수축률[A(%)]과 주수축 방향과 직교하는 방향에서의 수축률[B(%)]의 비(A:B)가 1:1 내지 10:1인 고 열수축 기재층과, 열수축률이 상대적으로 작은 저 열수축 기재층을, 접착제층을 개재시켜 접합한 수지 적층체로서, 임의의 한방향으로부터 가열함으로써 고 열수축 기재층측으로 휘어지고, 더 가열함으로써 한쪽 단부로부터 한방향으로 자발적으로 권취하여 1개의 통형상 권취체를 형성할 수 있는 수지 적층체로서, 80℃에서의 저 열수축 기재층의 영률과 두께의 곱이 3×10
5 N/m 이하이고, 상기 점착체층을, 상기 수지 적층체에서의 저 열수축 기재층 상에 배치한 것입니다. 이 점착 시트에 의하면, 임의의 한방향으로부터 가열함으로써 피착체로부터 원활하게 박리할 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼 연마용 점착 시트 등으로서 이용할 수 있다.