公开(公告)号：KR101742347B1

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：KR1020127032469

申请日：2011-03-29

Applicant: 에베 그룹 게엠베하

Inventor： 린드너,프리드리치,폴 ,  부르그라프,요르겐

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/301

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B37/025 ,  B32B43/006 ,  B32B2038/0052 ,  B32B2307/546 ,  B32B2310/0418 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68771 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T156/1111 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1179 ,  Y10T156/19 ,  Y10T156/1922 ,  Y10T156/1928 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T156/1983

Abstract: 결합층에의해제작기판에연결된캐리어기판으로부터제작기판을박리하기위한장치에있어서, 상기장치는필름프레임; 필름프레임에연결되고가요성필름의접촉표면섹션에서제작기판을고정하기위한접착층을가지며, 상기가요성필름이접촉표면섹션을둘러싸는가요성필름의부착섹션에서필름프레임에연결되는상기가요성필름; 뿐만아니라필름프레임과상기필름에의해특히가변적부피로, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위하여형성된용매저장소, 여기서제작기판및 결합층이상기용매저장소에수용될수 있으며; 용매를용매저장소에전달하기위한전달수단; 및제작기판을캐리어기판으로부터박리하기위한박리수단에의해실시된다. 또한본 발명은필름프레임과상기필름프레임에연결된가요성필름에의해형성되며, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위한용매저장소를형성하고; 뿐만아니라제작기판및 결합층을용매저장소에고정하고; 그리고용매를용매저장소에전달하고; 그리고제작기판을캐리어기판으로부터박리함으로써, 제작기판을캐리어기판으로부터박리하는방법에관한것이다.

Abstract translation: 一种用于通过粘合层将制造的衬底从与制造的衬底连接的载体衬底上剥离的设备，所述设备包括：膜框架; 连接到所述薄膜框架和性别具有用于在膜的接触表面部分中的产生的基板固定的粘合剂层，所述柔性膜是柔性耦合到膜框架中围绕所述接触表面部分膜膜柔性的安装部分 。 以及在由薄膜框架和所述膜特定的可变体积，被容纳在溶剂存储，其中，所述基板和所述接合层使所提供的移相器溶剂储存保留溶剂，接合层分离，并且; 用于将溶剂输送到溶剂储存器的输送装置; 剥离装置用于从载体基板上剥离制造的基板。 在另一个方面中，本发明由附接到所述框架和所述胶片帧膜的柔性膜形成，以形成用于保持溶剂的接合层分离溶剂存储; 除了将制造基底和粘合层固定到溶剂储存器之外， 并将溶剂转移到溶剂容器中; 并且通过从载体基板剥离基板而从基板剥离基板。

公开(公告)号：KR101660097B1

公开(公告)日：2016-09-26

申请号：KR1020137013045

申请日：2010-10-29

Applicant: 테크노 메디카 캄파니 리미티드

Inventor： 마츠모토토시카즈 ,  히라사와요시미 ,  나카노야스시 ,  스즈키미츠유키 ,  쿠와하라카즈오 ,  하마노마사시 ,  요코치타케시

IPC: B65C9/18 ,  B41J15/04 ,  B65H19/10

CPC classification number: B65C9/18 ,  B41J3/4075 ,  B65C9/1865 ,  B65C9/1869 ,  B65C9/42 ,  B65H16/028 ,  B65H16/106 ,  B65H2301/41374 ,  B65H2301/414225 ,  B65H2301/41522 ,  B65H2301/5111 ,  B65H2301/51122 ,  B65H2404/14 ,  B65H2513/114 ,  B65H2553/22 ,  B65H2801/75 ,  Y10T156/1195 ,  Y10T156/17 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T156/1994 ,  B65H2220/03

Abstract: 라벨롤을라벨부착장치에셋팅한후에작업자의간섭없이라벨대지의공급으로부터권취까지완전히자동적으로모든공정을수행할수 있는라벨부착장치가제공된다. 본발명에따른라벨부착장치는다수의라벨이분리가능하게일렬로부착된라벨대지를코어의둘레에권취하여구성된라벨롤을회전가능하게지지하는가이드프레임과, 라벨대지의이동방향에대하여하향경사부를향하여예각으로라벨대지를절곡함으로서라벨대지로부터인자된라벨을박리하는박리판을포함하는것에있어서, 라벨부착장치가박리판의전방에서라벨대지의선단부를파지하기위하여회전가능하게제공되고라벨대지의파지된선단부와함께박리판의둘레로회전될수 있게되어있어라벨대지의선단부가라벨대지의이동방향에대하여박리판의하향경사부에배치된공급롤러에도달할수 있도록하는가이드유니트를포함함을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020160020999A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：KR1020140142931

申请日：2014-10-21

Applicant: 주식회사 엘지화학

Inventor： 박산 ,  정봉수 ,  유재한 ,  박천호 ,  이석재 ,  김경식

IPC: B65H41/00

CPC classification number: B32B43/006 ,  B32B37/003 ,  B32B37/06 ,  B32B38/10 ,  B32B2307/42 ,  B32B2457/20 ,  B65H29/54 ,  B65H41/00 ,  B65H2301/51122 ,  B65H2801/61 ,  Y10S156/93 ,  Y10S156/941 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1174 ,  Y10T156/195 ,  Y10T156/1978

Abstract: 본발명은패널로부터편광필름을박리하기위한박리바, 장치및 박리방법에관한것이다. 본발명은박리바에장착된롤러에박리되는편광필름이접하여박리바와편광필름사이의마찰력을최소화할있다. 박리바의롤러의반지름과고정부의경사면은편광필름에가해지는전단력의 Z축성분이최소가되도록설계된다. 또한본 발명은박리시편광필름에가해지는텐션이균일하게되도록하기위해, 편광필름의양 끝단이박리바에밀착되도록한다. 본발명에따르면박리되는편광필름의파단을방지하여, 파단없이안정적으로패널로부터편광필름을박리할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于从面板上释放偏光膜的释放杆，设备和释放方法。 本发明通过使偏光膜被释放与安装在释放杆上的辊接触来最小化释放杆和偏振膜之间的摩擦。 解除杆上的辊的半径和固定部分的倾斜表面被设计成使施加到偏振膜的剪切力的z轴分量最小化。 此外，本发明使偏振膜的两端与释放杆紧密接触，以便在释放期间使偏振膜施加均匀的张力。 根据本发明，通过防止被剥离的偏光膜的撕裂，偏光膜可以从面板稳定地释放而不会撕裂。

公开(公告)号：KR1020150108428A

公开(公告)日：2015-09-25

申请号：KR1020157024328

申请日：2011-04-11

Applicant: 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

Inventor： 부르그라프,쥐르겐 ,  버그스탈러,대니얼

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/78

CPC classification number: B32B43/006 ,  B32B38/10 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68785 ,  H01L2221/68381 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1978

Abstract: 본 발명은 캐리어 기판(13)이 제작 기판(11)으로부터 분리될 때 캐리어 기판(13)을 고정하기 위한 가요성의 캐리어 마운트(1)에 관한 것으로서, 캐리어 기판(13)이 굽어지는 동안 제작 기판(11)을 결합해제하기 위해 분리 수단(1, 28)이 제공된다.
본 발명은, 또한, 캐리어 기판(13)을 제작 기판(11)으로부터 분리 방향(L)으로 분리시키기 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는: 캐리어 기판(13)이 고정되며 분리 방향(L)으로 굽어질 수 있는 캐리어 마운트(1); 제작 기판(11)을 고정하기 위한 기판 마운트(18); 및 캐리어 기판(11)이 굽어지는 동안 캐리어 기판(13)을 제작 기판(11)으로부터 결합해제하기 위한 분리 수단(1, 15, 15', 16, 28)을 포함한다.
또한, 본 발명은 분리 방향(L)으로 제작 기판으로부터 캐리어 기판을 분리시키기 위한 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은: 기판 마운트에 제작 기판을 고정하는 단계 및 분리 방향(L)으로 굽어질 수 있는 캐리어 마운트에 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및 제작 기판이 굽어지는 동안 제작 기판으로부터 캐리어 기판을 결합해제하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR101454985B1

公开(公告)日：2014-11-03

申请号：KR1020127032468

申请日：2011-03-29

Applicant: 에베 그룹 게엠베하

Inventor： 린드너,프리드리치,폴 ,  부르그라프,요르겐

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/301

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B37/025 ,  B32B43/006 ,  B32B2038/0052 ,  B32B2307/546 ,  B32B2310/0418 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68771 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T156/1111 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1179 ,  Y10T156/19 ,  Y10T156/1922 ,  Y10T156/1928 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T156/1983

Abstract: 결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다.
또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다.

Abstract translation: 一种用于通过粘合层将制造的衬底从与制造的衬底连接的载体衬底上剥离的设备，所述设备包括：膜框架; 连接到所述薄膜框架和性别具有用于在膜的接触表面部分中的产生的基板固定的粘合剂层，所述柔性膜是柔性耦合到膜框架中围绕所述接触表面部分膜膜柔性的安装部分 。 以及在由薄膜框架和膜中，为了保持溶剂，接合层，其特征在于，在生产基片和粘结层可以被容纳在储存溶剂分离设置的溶剂储存特定一个可变容积; 用于将溶剂输送到溶剂储存器的输送装置; 剥离装置用于从载体基板上剥离制造的基板。

公开(公告)号：KR1020140098007A

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：KR1020140010837

申请日：2014-01-28

Applicant: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스

Inventor： 가와고에마사후미 ,  쇼지가즈히로 ,  시바후지야요이 ,  마스이치미키오 ,  우에노히로유키 ,  우에노미요시 ,  다니구치가즈타카

IPC: B65H29/56 ,  B65H41/00 ,  B65H3/08 ,  B65H5/06

CPC classification number: B32B43/006 ,  Y10T156/11 ,  Y10T156/1978

Abstract: The present invention relates to a scaling apparatus and a scaling method. The scaling apparatus is prepared with: a first supporting instrument (310) for supporting a first platelet (BL); a scaling initiation instrument (321) for forming a single or a linear border line on a border between an attaching zone and a scaling zone, after converting a portion of the attaching zone, among a second platelet (SB), attached to the first platelet (BL) into the scaling zone where the first platelet (BL) is scaled off, by bending one end of the first platelet (BL) to an opposite direction from the second platelet (SB) in a cylindrical surface shape; a second supporting instrument (122) for supporting the second platelet (SB) having the scaling zone; and a separation instrument for increasing the interval between the first supporting instrument (310) and second supporting instrument (122), while separating the first platelet (BL) from the second platelet (SB).

Abstract translation: 本发明涉及一种缩放装置和缩放方法。 缩放装置由以下部件制成：用于支撑第一血小板（BL）的第一支持装置（310） 用于在附接到第一血小板（SB）上的第二血小板（SB）中转换附接区的一部分之后，在附着区和缩放区之间的边界上形成单线或线性边界线的缩放启动器（321） （BL）通过将所述第一血小板（BL）的一端以与所述第二血小板（SB）相反的方向成圆柱形的形状，将第一血小板（BL）的比例缩放到所述缩放区域中; 用于支撑具有缩放区域的第二血小板（SB）的第二支撑仪器（122） 以及用于在将第一血小板（BL）与第二血小板（SB）分离的同时增加第一支撑器具（310）和第二支撑器（122）之间的间隔的分离器械。

公开(公告)号：KR101350062B1

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：KR1020070076125

申请日：2007-07-30

Applicant: 닛토덴코 가부시키가이샤

Inventor： 야마모또마사유끼

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67132 ,  Y10S156/941 ,  Y10T156/12 ,  Y10T156/1313 ,  Y10T156/14 ,  Y10T156/1978

Abstract: 연삭 유닛으로 웨이퍼 이면의 외주에 잔존 형성된 고리형 볼록부를 제거하여 반도체 웨이퍼 전체를 똑같은 두께로 형성하고, 상기 처리 후의 웨이퍼를 반송 유닛의 로봇 핸드로 취출하여 검사 유닛으로 결손을 검사하고, 결손이 없는 웨이퍼(W)를 로봇 아암으로 마운트 프레임 제작 유닛으로 반송하고 다이싱 테이프를 거쳐서 링 프레임에 부착 지지하고, 표면으로부터 보호 테이프를 박리하여 마운트 프레임을 제작한다.
반도체 웨이퍼, 마운트 프레임, 연삭 유닛, 검사 유닛, 다이싱 테이프

公开(公告)号：KR1020140000134A

公开(公告)日：2014-01-02

申请号：KR1020127022789

申请日：2012-02-03

Applicant: 파나소닉 주식회사

Inventor： 나가오가즈히데 ,  나카이노부히로 ,  기노시타유타카

IPC: H05K13/02

CPC classification number: H05K13/0417 ,  Y10S156/93 ,  Y10S156/941 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1978

Abstract: 커버 테이프 박리 기구(50)에 의해 수행되는 캐리어 테이프(15)로부터의 커버 테이프(15e)의 박리에 있어서, 박리 블레이드 엣지(51f)에 의해 베이스 테이프(15a)로부터 박리된 커버 테이프(15e)가, 오목 원추면(52c)에 접촉하게 되어, 커버 테이프(15e)의 일측부는 상기 타측부를 향해 굴곡되고; 캐리어 테이프(15)가 픽업 위치로 가이드되는 동안 굴곡된 커버 테이프(15e)는 가이드면(32s)에 대하여 아래로부터 압박된다. 따라서, 커버 테이프(15e)는, 베이스 테이프에 대하여 평면 형상으로 절첩된다.

公开(公告)号：KR1020130141721A

公开(公告)日：2013-12-26

申请号：KR1020137032317

申请日：2008-11-17

Applicant: 닛토덴코 가부시키가이샤

Inventor： 니시오아키노리 ,  기우치가즈유키

IPC: B32B27/06 ,  B32B7/12 ,  C09J11/04 ,  C09J5/00 ,  B29C61/06

CPC classification number: B29C53/32 ,  B29C63/0013 ,  B29K2995/0049 ,  B29L2009/00 ,  B32B7/02 ,  B32B7/06 ,  B32B7/12 ,  B32B25/08 ,  B32B25/14 ,  B32B27/08 ,  B32B27/16 ,  B32B27/18 ,  B32B27/20 ,  B32B27/22 ,  B32B27/281 ,  B32B27/283 ,  B32B27/285 ,  B32B27/30 ,  B32B27/302 ,  B32B27/308 ,  B32B27/32 ,  B32B27/325 ,  B32B27/34 ,  B32B27/36 ,  B32B27/40 ,  B32B37/12 ,  B32B37/144 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2250/24 ,  B32B2255/10 ,  B32B2255/26 ,  B32B2255/28 ,  B32B2264/02 ,  B32B2264/101 ,  B32B2270/00 ,  B32B2307/308 ,  B32B2307/50 ,  B32B2307/518 ,  B32B2307/736 ,  B32B2307/748 ,  B32B2307/75 ,  B32B2405/00 ,  B32B2457/00 ,  C09J7/29 ,  C09J2201/162 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T156/1158 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1917 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/2848 ,  B32B27/06

Abstract: 본 발명의 점착 시트는, 수지 적층체 상에 점착제층을 배치한 점착 시트로서, 상기 수지 적층체가, 열수축률이 상대적으로 큰 고 열수축 기재층으로서, 주수축 방향에서의 수축률[A(%)]과 주수축 방향과 직교하는 방향에서의 수축률[B(%)]의 비(A:B)가 1:1 내지 10:1인 고 열수축 기재층과, 열수축률이 상대적으로 작은 저 열수축 기재층을, 접착제층을 개재시켜 접합한 수지 적층체로서, 임의의 한방향으로부터 가열함으로써 고 열수축 기재층측으로 휘어지고, 더 가열함으로써 한쪽 단부로부터 한방향으로 자발적으로 권취하여 1개의 통형상 권취체를 형성할 수 있는 수지 적층체로서, 80℃에서의 저 열수축 기재층의 영률과 두께의 곱이 3×10
5 N/m 이하이고, 상기 점착체층을, 상기 수지 적층체에서의 저 열수축 기재층 상에 배치한 것입니다. 이 점착 시트에 의하면, 임의의 한방향으로부터 가열함으로써 피착체로부터 원활하게 박리할 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼 연마용 점착 시트 등으로서 이용할 수 있다.

公开(公告)号：KR101239282B1

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：KR1020100070696

申请日：2010-07-21

Applicant: 브레우어 사이언스 인코포레이션

Inventor： 맥커천,제레미더블유. ,  브라운,로버트디.

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/50

CPC classification number: H01L21/187 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/68721 ,  H01L2221/68318 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2221/68386 ,  Y10S156/93 ,  Y10S156/941 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T156/1989

Abstract: 임시로, 영구적으로, 또는 반-영구적으로 결합된 기판들을 분리시키는 새로운 탈착 방법들 및 장치들, 이러한 방법들 및 장치들로 형성된 가공물들이 제공된다. 상기 방법들은 외측 주변부에서만 강하게 결합된 캐리어 웨이퍼 또는 기판으로부터 디바이스 웨이퍼를 장착해제하는 단계를 포함한다. 에지 결합부들은 웨이퍼들이 제조 공정의 적절한 단계에서 실온 또는 거의 실온에서 매우 낮은 힘으로 쉽게 분리되도록, 화학적으로, 기계적으로, 음향적으로, 또는 열적으로 연성화, 용해 또는 분열된다. 또한, 결합된 기판들의 분리를 용이하게 하는 클램프가 제공된다.