公开(公告)号：TWI620235B

公开(公告)日：2018-04-01

申请号：TW104112708

申请日：2015-04-21

申请人： 東芝記憶體股份有限公司 ,  TOSHIBA MEMORY CORPORATION

发明人： 谷田一真 ,  TANIDA, KAZUMASA ,  吉田貴光 ,  YOSHIDA, TAKAMITSU ,  內海邦朗 ,  UTSUMI, KUNIAKI ,  川崎敦子 ,  KAWASAKI, ATSUKO

IPC分类号： H01L21/283 ,  H01L21/48 ,  H01L21/768 ,  H01L23/498 ,  H01L25/065

CPC分类号： H01L21/4853 ,  H01L21/76885 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/08 ,  H01L24/80 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/18 ,  H01L25/50 ,  H01L27/14634 ,  H01L27/14643 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/03616 ,  H01L2224/03831 ,  H01L2224/05547 ,  H01L2224/05557 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05666 ,  H01L2224/05681 ,  H01L2224/08059 ,  H01L2224/08111 ,  H01L2224/08121 ,  H01L2224/08147 ,  H01L2224/80203 ,  H01L2224/80345 ,  H01L2224/80365 ,  H01L2224/80895 ,  H01L2224/80896 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1431 ,  H01L2924/1434 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014