用於形成包含垂直對置電容器對之陣列之方法及包含垂直對置電容器對之陣列
    4.
    发明专利
    用於形成包含垂直對置電容器對之陣列之方法及包含垂直對置電容器對之陣列 审中-公开
    用于形成包含垂直对置电容器对之数组之方法及包含垂直对置电容器对之数组

    公开(公告)号:TW201826498A

    公开(公告)日:2018-07-16

    申请号:TW107100725

    申请日:2018-01-09

    Abstract: 本發明揭示一種形成包含垂直對置之電容器對之一陣列之方法,其包含:在支撐材料中之個別電容器開口中形成一導電內襯。移除該等導電內襯之個別者之一豎向中間部分,以在該等個別電容器開口中形成彼此豎向分離及間隔之一上電容器電極內襯及一下電容器電極內襯。使一電容器絕緣體形成於該上電容器電極內襯及該下電容器電極內襯之橫向外。使導電材料形成於該電容器絕緣體之橫向外,以構成由該等垂直對置之電容器對之個別者中之垂直對置之電容器共用之一共用電容器電極。本發明揭示獨立於該方法之其他方法及結構。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种形成包含垂直对置之电容器对之一数组之方法,其包含:在支撑材料中之个别电容器开口中形成一导电内衬。移除该等导电内衬之个别者之一竖向中间部分,以在该等个别电容器开口中形成彼此竖向分离及间隔之一上电容器电极内衬及一下电容器电极内衬。使一电容器绝缘体形成于该上电容器电极内衬及该下电容器电极内衬之横向外。使导电材料形成于该电容器绝缘体之横向外,以构成由该等垂直对置之电容器对之个别者中之垂直对置之电容器共享之一共享电容器电极。本发明揭示独立于该方法之其他方法及结构。

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