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公开(公告)号:TWI696262B
公开(公告)日:2020-06-11
申请号:TW104113859
申请日:2015-04-30
申请人: 美商英特希爾美國公司 , INTERSIL AMERICAS LLC
IPC分类号: H01L27/10 , H01L27/105
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公开(公告)号:TW201543650A
公开(公告)日:2015-11-16
申请号:TW104113859
申请日:2015-04-30
申请人: 英特希爾美國公司 , INTERSIL AMERICAS LLC
IPC分类号: H01L27/10 , H01L27/105
CPC分类号: H01L29/1087 , H01L23/5226 , H01L23/5283 , H01L23/535 , H01L27/088 , H01L29/0692 , H01L29/0847 , H01L29/1095 , H01L29/66568 , H01L29/78 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 用於半導體結構的本體接點佈局被揭示。在至少一範例實施例中,一種半導體結構包括:複數個閘極,其被設置在半導體層上,每個閘極是在座標空間中平行於y軸進行延伸;源極區域,其被設置在所述複數個閘極中的兩個之間;複數個本體接點,其被設置在每個源極區域中;並且其中每個源極區域的相鄰所述閘極的部分具有平行於所述y軸而延伸的寬度,其比在x軸上與所述閘極相距一段距離處之所述源極區域平行於所述y軸的寬度還大。
简体摘要: 用于半导体结构的本体接点布局被揭示。在至少一范例实施例中,一种半导体结构包括:复数个闸极,其被设置在半导体层上,每个闸极是在座标空间中平行于y轴进行延伸;源极区域,其被设置在所述复数个闸极中的两个之间;复数个本体接点,其被设置在每个源极区域中;并且其中每个源极区域的相邻所述闸极的部分具有平行于所述y轴而延伸的宽度,其比在x轴上与所述闸极相距一段距离处之所述源极区域平行于所述y轴的宽度还大。
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公开(公告)号:TW201724214A
公开(公告)日:2017-07-01
申请号:TW105127823
申请日:2016-08-30
发明人: 吉德哈爾 戴夫艾洛克 , GIRDHAR, DEV ALOK
IPC分类号: H01L21/28 , H01L21/336 , H01L29/78
CPC分类号: H01L29/7816 , H01L29/0649 , H01L29/0653 , H01L29/0696 , H01L29/0865 , H01L29/0882 , H01L29/1033 , H01L29/1095 , H01L29/402 , H01L29/42368 , H01L29/66681
摘要: 一個實施方式涉及一種方法。該方法包括在基板上方或該基板中形成第一導電類型的漂移區。該基板具有第一表面和第二表面。在溝道的第一部分之上形成第一絕緣體,該第一絕緣體具有第一厚度。在該溝道的第二部分之上形成第二絕緣體,該第二絕緣體具有小於該第一厚度的第二厚度。在該第一絕緣體之上形成第一閘極。在該第二絕緣體之上形成第二閘極。在該基板上方或該基板中形成第二導電類型的體區。
简体摘要: 一个实施方式涉及一种方法。该方法包括在基板上方或该基板中形成第一导电类型的漂移区。该基板具有第一表面和第二表面。在沟道的第一部分之上形成第一绝缘体,该第一绝缘体具有第一厚度。在该沟道的第二部分之上形成第二绝缘体,该第二绝缘体具有小于该第一厚度的第二厚度。在该第一绝缘体之上形成第一闸极。在该第二绝缘体之上形成第二闸极。在该基板上方或该基板中形成第二导电类型的体区。
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