用於減小開關功率損耗的方法和結構
    3.
    发明专利
    用於減小開關功率損耗的方法和結構 审中-公开
    用于减小开关功率损耗的方法和结构

    公开(公告)号:TW201724214A

    公开(公告)日:2017-07-01

    申请号:TW105127823

    申请日:2016-08-30

    摘要: 一個實施方式涉及一種方法。該方法包括在基板上方或該基板中形成第一導電類型的漂移區。該基板具有第一表面和第二表面。在溝道的第一部分之上形成第一絕緣體,該第一絕緣體具有第一厚度。在該溝道的第二部分之上形成第二絕緣體,該第二絕緣體具有小於該第一厚度的第二厚度。在該第一絕緣體之上形成第一閘極。在該第二絕緣體之上形成第二閘極。在該基板上方或該基板中形成第二導電類型的體區。

    简体摘要: 一个实施方式涉及一种方法。该方法包括在基板上方或该基板中形成第一导电类型的漂移区。该基板具有第一表面和第二表面。在沟道的第一部分之上形成第一绝缘体,该第一绝缘体具有第一厚度。在该沟道的第二部分之上形成第二绝缘体,该第二绝缘体具有小于该第一厚度的第二厚度。在该第一绝缘体之上形成第一闸极。在该第二绝缘体之上形成第二闸极。在该基板上方或该基板中形成第二导电类型的体区。