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公开(公告)号:TW201727778A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:TW105102272
申请日:2016-01-25
发明人: 薛 彥迅 , XUE, YANXUN , 哈姆扎 依瑪茲 , HAMZA, YILMAZ , 何 約瑟 , HO, YUEH-SE , 魯軍 , LU, JUN , 牛志強 , NIU, ZHIQIANG , 連國峰 , LIAN, GUO FENG
IPC分类号: H01L21/56 , H01L21/304
CPC分类号: H01L2224/73253
摘要: 本發明涉及一種用於模壓晶片級封裝的晶圓製程,包括:在晶圓上的晶片焊接墊上沉積金屬凸塊;在晶圓正面製備第一封裝層,覆蓋金屬凸塊;在晶圓的邊緣處製備未覆蓋環,使複數個劃線中每個劃線的兩端都裸露出來;削薄第一封裝層,使金屬凸塊裸露出來;製備切割槽;研磨晶圓的背面,在晶圓邊緣處形成凹陷空間及支撐環;在凹陷空間中晶圓的背面沉積金屬種子層;切除晶圓的邊緣部分;在基板上翻轉並安裝晶圓;沉積覆蓋著金屬種子層的金屬層;從晶圓上除去基板;藉由沿劃線切割第一封裝層、晶圓、金屬種子層及金屬層,使單獨的晶片與晶圓分離。
简体摘要: 本发明涉及一种用于模压芯片级封装的晶圆制程,包括:在晶圆上的芯片焊接垫上沉积金属凸块;在晶圆正面制备第一封装层,覆盖金属凸块;在晶圆的边缘处制备未覆盖环,使复数个划线中每个划线的两端都裸露出来;削薄第一封装层,使金属凸块裸露出来;制备切割槽;研磨晶圆的背面,在晶圆边缘处形成凹陷空间及支撑环;在凹陷空间中晶圆的背面沉积金属种子层;切除晶圆的边缘部分;在基板上翻转并安装晶圆;沉积覆盖着金属种子层的金属层;从晶圆上除去基板;借由沿划线切割第一封装层、晶圆、金属种子层及金属层,使单独的芯片与晶圆分离。
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公开(公告)号:TW201714266A
公开(公告)日:2017-04-16
申请号:TW104133320
申请日:2015-10-08
发明人: 牛志強 , NIU, ZHIQIANG , 薛 彥迅 , XUE, YANXUN , 胡 滿升 , HU, MANSHENG , 魯軍 , LU, JUN , 何 約瑟 , HO, YUEH-SE , 哈姆扎 依瑪茲 , HAMZA, YILMAZ
IPC分类号: H01L23/498 , H01M10/42
摘要: 本發明係揭露一種小尺寸的電池保護包,以及小尺寸電池保護包的製備方法。該電池保護包包括一第一共汲金屬氧化物半導體場效應電晶體(MOSFET)、一第二共汲MOSFET、一功率控制積體電路(IC)、複數個焊錫球、複數個導電凸塊以及一封裝層。功率控制IC垂直堆疊在第一共汲MOSFET和第二共汲MOSFET上方。至少將一大部分功率控制IC以及至少將絕大部分的複數個焊錫球嵌入在封裝層中。製備電池保護包的方法包括製備功率控制IC;製備共汲MOSFET晶圓;將功率控制IC與共汲MOSFET晶圓整合並且連接引腳分配;製備一封裝層;進行研磨製程;製備一金屬層;並且分離電池保護包。
简体摘要: 本发明系揭露一种小尺寸的电池保护包,以及小尺寸电池保护包的制备方法。该电池保护包包括一第一共汲金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)、一第二共汲MOSFET、一功率控制集成电路(IC)、复数个焊锡球、复数个导电凸块以及一封装层。功率控制IC垂直堆栈在第一共汲MOSFET和第二共汲MOSFET上方。至少将一大部分功率控制IC以及至少将绝大部分的复数个焊锡球嵌入在封装层中。制备电池保护包的方法包括制备功率控制IC;制备共汲MOSFET晶圆;将功率控制IC与共汲MOSFET晶圆集成并且连接引脚分配;制备一封装层;进行研磨制程;制备一金属层;并且分离电池保护包。
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公开(公告)号:TWI555159B
公开(公告)日:2016-10-21
申请号:TW104133320
申请日:2015-10-08
发明人: 牛志強 , NIU, ZHIQIANG , 薛 彥迅 , XUE, YANXUN , 胡 滿升 , HU, MANSHENG , 魯軍 , LU, JUN , 何 約瑟 , HO, YUEH-SE , 哈姆扎 依瑪茲 , HAMZA, YILMAZ
IPC分类号: H01L23/498 , H01M10/42
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公开(公告)号:TWI430409B
公开(公告)日:2014-03-11
申请号:TW100141186
申请日:2011-11-11
发明人: 張曉天 , ZHANG, XIAO-TIAN , 哈姆紮 耶爾馬茲 , HAMZA, YILMAZ , 魯軍 , LU, JUN , 曾小光 , ZENG, XIAO-GUANG , 魯明朕 , LU, MING-CHEN
CPC分类号: H01L24/73 , H01L2224/05554 , H01L2224/0603 , H01L2224/16245 , H01L2224/36 , H01L2224/40 , H01L2224/40095 , H01L2224/40245 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2224/49111 , H01L2224/49175 , H01L2224/73221 , H01L2924/13091 , H01L2924/181 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
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公开(公告)号:TW201320262A
公开(公告)日:2013-05-16
申请号:TW100141186
申请日:2011-11-11
发明人: 張曉天 , ZHANG, XIAO-TIAN , 哈姆紮 耶爾馬茲 , HAMZA, YILMAZ , 魯軍 , LU, JUN , 曾小光 , ZENG, XIAO-GUANG , 魯明朕 , LU, MING-CHEN
CPC分类号: H01L24/73 , H01L2224/05554 , H01L2224/0603 , H01L2224/16245 , H01L2224/36 , H01L2224/40 , H01L2224/40095 , H01L2224/40245 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2224/49111 , H01L2224/49175 , H01L2224/73221 , H01L2924/13091 , H01L2924/181 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
摘要: 本發明一般涉及一種功率半導體器件及其製備方法,更確切的說,本發明旨在提供集成有多個MOSFET和一個控制IC的倒裝晶片的半導體器件。本發明所提供的半導體器件所包含的晶片與基座之間保持有較大的空隙,所以在塑封工藝中不易在塑封料中產生空洞,能極大的提高完成塑封後的半導體器件的可靠性。並且,連接在一起的第一晶片安裝區和第二晶片安裝區共同構成具有較大面積的基座,從而作為晶片的載體,基座通過SMT技術焊接在PCB板上所設置的散熱盤上,作為一個高效的散熱途徑,有效提高了功率半導體器件的散熱效果。
简体摘要: 本发明一般涉及一种功率半导体器件及其制备方法,更确切的说,本发明旨在提供集成有多个MOSFET和一个控制IC的倒装芯片的半导体器件。本发明所提供的半导体器件所包含的芯片与基座之间保持有较大的空隙,所以在塑封工艺中不易在塑封料中产生空洞,能极大的提高完成塑封后的半导体器件的可靠性。并且,连接在一起的第一芯片安装区和第二芯片安装区共同构成具有较大面积的基座,从而作为芯片的载体,基座通过SMT技术焊接在PCB板上所设置的散热盘上,作为一个高效的散热途径,有效提高了功率半导体器件的散热效果。
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