公开(公告)号：US20100080673A1

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：US12569276

申请日：2009-09-29

申请人： Hubertus VON DER WAYDBRINK ,  Udo WILLKOMMEN ,  Michael HENTSCHEL ,  Marco KENNE

发明人： Hubertus VON DER WAYDBRINK ,  Udo WILLKOMMEN ,  Michael HENTSCHEL ,  Marco KENNE

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G15/48 ,  B65G39/10 ,  B65G37/00

CPC分类号： C23C14/568 ,  B65G13/071 ,  B65G23/06 ,  C23C14/50 ,  C23C14/566

摘要： A transport device for a vacuum processing system, a drive unit for high temperature processes in vacuum processing systems, and a vacuum processing system employ a drive unit which operates without the polygonal effect, can be connected endlessly, is suitable for high temperatures, is insensitive to radiation heat, does not generate degassing and does not need a lubricant. The drive unit includes a traction element, guided around at least two deflecting rollers. The traction element is a continuous metal strip.

摘要翻译： 用于真空处理系统的传送装置，用于真空处理系统中的高温处理的驱动单元和采用不具有多边形效应的驱动单元的真空处理系统可以连续连接，适用于高温，不敏感 对辐射热，不产生脱气，不需要润滑剂。 所述驱动单元包括绕至少两个偏转辊引导的牵引元件。 牵引元件是连续的金属条。

公开(公告)号：US20120281975A1

公开(公告)日：2012-11-08

申请号：US13119121

申请日：2010-08-23

申请人： Michael Hentschel ,  Thomas Meyer ,  Hubertus Von Der Waydbrink ,  Marco Kenne ,  Daniel Stange ,  Hans-Christian Hecht

发明人： Michael Hentschel ,  Thomas Meyer ,  Hubertus Von Der Waydbrink ,  Marco Kenne ,  Daniel Stange ,  Hans-Christian Hecht

IPC分类号： H05B3/48 ,  H05B1/00

CPC分类号： F27D11/02 ,  C03B29/025 ,  C03B29/08 ,  F27D99/0006 ,  F27D2099/0011 ,  H01L21/67109 ,  H05B3/48

摘要： A surface heating device for a substrate treatment device with increased power density and improved homogeneity of heat radiation includes a jacket tube heater with straight tube sections and bent tube sections in which straight tube sections are arranged parallel to each other in a main plane and straight tube sections are connected to each other by bent tube sections, so that at least part of the bent tube sections are aligned sloped relative to the main plane.

摘要翻译： 用于具有增加的功率密度和改进的热辐射均匀性的基板处理装置的表面加热装置包括具有直管部分和弯管部分的套管加热器，其中直管部分在主平面中彼此平行地布置，并且直管 部分通过弯曲的管部彼此连接，使得至少部分弯曲的管部分相对于主平面对准倾斜。

公开(公告)号：US20090061088A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US12176454

申请日：2008-07-21

申请人： Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael Hentschel ,  Marco Kenne ,  Andrej Wolf

发明人： Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael Hentschel ,  Marco Kenne ,  Andrej Wolf

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23C16/458 ,  H05B6/00

CPC分类号： C23C16/46 ,  C23C14/24 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545

摘要： A method is provided for producing a processing atmosphere for coating substrates, with this method primarily being used in CVD-processes for precipitating an individual layer or a system of individual layers under defined processing atmospheres, in which processing gas is supplied to a coating chamber in a defined manner and exhausted. Via the method and related devices, a variable processing atmosphere is adjustable inside the coating chamber in a flexible, reliable and homogenous manner, and requiring a reduced maintenance and energy expense, even when the substrate is heated. The processing gas is created by at least one gas channel extending perpendicular in reference to the substrate by way of supplying gas flow or exhausting, with a lateral extension being equivalent to the width of the substrate.

摘要翻译： 提供了一种用于生产用于涂覆基材的处理气氛的方法，该方法主要用于在规定的加工环境下沉淀单个层或各层的体系的CVD工艺，其中将处理气体供应到涂覆室 一个定义的方式和用尽。 通过该方法和相关设备，可以以柔性，可靠和均匀的方式在涂层室内调节可变处理气氛，并且即使在加热基板时也需要减少维护和能量消耗。 处理气体由至少一个气体通道产生，所述至少一个气体通道通过提供气流或排气而相对于基板垂直延伸，横向延伸部等于基板的宽度。

公开(公告)号：US20110290186A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：US13190712

申请日：2011-07-26

申请人： Hubertus VON DER WAYDBRINK ,  Michael HENTSCHEL ,  Marco KENNE ,  Andrej WOLF

发明人： Hubertus VON DER WAYDBRINK ,  Michael HENTSCHEL ,  Marco KENNE ,  Andrej WOLF

IPC分类号： C23C16/44

CPC分类号： C23C16/46 ,  C23C14/24 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545

摘要： A method is provided for producing a processing atmosphere for coating substrates, with this method primarily being used in CVD-processes for precipitating an individual layer or a system of individual layers under defined processing atmospheres, in which processing gas is supplied to a coating chamber in a defined manner and exhausted. Via the method and related devices, a variable processing atmosphere is adjustable inside the coating chamber in a flexible, reliable and homogenous manner, and requiring a reduced maintenance and energy expense, even when the substrate is heated. The processing gas is created by at least one gas channel extending perpendicular in reference to the substrate by way of supplying gas flow or exhausting, with a lateral extension being equivalent to the width of the substrate.

摘要翻译： 提供了一种用于生产用于涂覆基材的处理气氛的方法，该方法主要用于在规定的加工环境下沉淀单个层或各层的体系的CVD工艺，其中将处理气体供应到涂覆室 一个定义的方式和用尽。 通过该方法和相关设备，可以以柔性，可靠和均匀的方式在涂层室内调节可变处理气氛，并且即使在加热基板时也需要减少维护和能量消耗。 处理气体由至少一个气体通道产生，所述至少一个气体通道通过提供气流或排气而相对于基板垂直延伸，横向延伸部等于基板的宽度。

公开(公告)号：US08718456B2

公开(公告)日：2014-05-06

申请号：US13119121

申请日：2010-08-23

申请人： Michael Hentschel ,  Thomas Meyer ,  Hubertus Von Der Waybrink ,  Marco Kenne ,  Daniel Stange ,  Hans-Christian Hecht

发明人： Michael Hentschel ,  Thomas Meyer ,  Hubertus Von Der Waybrink ,  Marco Kenne ,  Daniel Stange ,  Hans-Christian Hecht

IPC分类号： F26B19/00

CPC分类号： F27D11/02 ,  C03B29/025 ,  C03B29/08 ,  F27D99/0006 ,  F27D2099/0011 ,  H01L21/67109 ,  H05B3/48

摘要： A surface heating device for a substrate treatment device with increased power density and improved homogeneity of heat radiation includes a jacket tube heater with straight tube sections and bent tube sections in which straight tube sections are arranged parallel to each other in a main plane and straight tube sections are connected to each other by bent tube sections, so that at least part of the bent tube sections are aligned sloped relative to the main plane.

摘要翻译： 用于具有增加的功率密度和改进的热辐射均匀性的基板处理装置的表面加热装置包括具有直管部分和弯管部分的套管加热器，其中直管部分在主平面中彼此平行地布置，并且直管 部分通过弯曲的管部彼此连接，使得至少部分弯曲的管部分相对于主平面对准倾斜。

公开(公告)号：US08605292B2

公开(公告)日：2013-12-10

申请号：US13072909

申请日：2011-03-28

申请人： Damir Muchamedjarow ,  Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael Hentschel ,  Marco Kenne ,  Reinhardt Bauer ,  Steffen Leβmann ,  Thomas Bock ,  Reinhard Jaeger

发明人： Damir Muchamedjarow ,  Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael Hentschel ,  Marco Kenne ,  Reinhardt Bauer ,  Steffen Leβmann ,  Thomas Bock ,  Reinhard Jaeger

IPC分类号： G01B11/14 ,  B05B5/12

CPC分类号： C23C14/564 ,  C23C14/54

摘要： A method and device are provided for cleaning of an optical position measurement system in a coating installation. The optical position measurement system includes a cantilever, and a sensor head having a radiation inlet and/or outlet for the reception and/or emission of an optical signal, at a free end of the cantilever. For tempering of the sensor head, a local thermoregulation is applied using a heater and/or cooling device for heating and/or cooling of the sensor head depending on thermal conductivity of material of at least the sensor head and depending on secondary heat in the coating installation.

摘要翻译： 提供了一种用于在涂布设备中清洁光学位置测量系统的方法和装置。 光学位置测量系统包括在悬臂的自由端处的悬臂和具有用于接收和/或发射光信号的辐射入口和/或出口的传感器头。 为了回火传感器头，使用加热器和/或冷却装置施加局部温度调节，以根据至少传感器头的材料的导热性并依赖于涂层中的二次热来传感头的加热和/或冷却 安装。

公开(公告)号：US20120017833A1

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：US13130879

申请日：2011-01-14

申请人： Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael Hentschel ,  Marco Kenne ,  Steffen Lessmann ,  Thomas Peunsch ,  Reinhard Jaeger

发明人： Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael Hentschel ,  Marco Kenne ,  Steffen Lessmann ,  Thomas Peunsch ,  Reinhard Jaeger

IPC分类号： B65G13/02 ,  C23C16/00

CPC分类号： B05B13/0221 ,  B05B14/10 ,  C23C14/56 ,  C23C14/564

摘要： Conveyor devices, in particular for use in substrate treatment devices, and configurations of substrate treatment devices, in particular horizontal coating installations for the mass coating of plate-like substrates during the production of solar cells are provided. The conveyor device comprises a multiplicity of conveyor rollers, each mounted rotatably at both ends thereof. During operation of the conveyor device, at least one conveyor roller is displaceable axially, i.e. parallel to the axis of rotation thereof.

摘要翻译： 提供特别是用于基板处理装置的输送装置，以及基板处理装置的结构，特别是在制造太阳能电池期间用于板状基板的质量涂覆的水平涂覆装置。 输送装置包括多个输送辊，每个输送辊在其两端可旋转地安装。 在输送装置的操作期间，至少一个输送辊可以轴向位移，即平行于其旋转轴。

公开(公告)号：US20110290181A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：US13072909

申请日：2011-03-28

申请人： Damir Muchamedjarow ,  Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael HENTSCHEL ,  Marco KENNE ,  Reinhardt BAUER ,  Steffen LEßMANN ,  Thomas BOCK ,  Reinhard JAEGER

发明人： Damir Muchamedjarow ,  Hubertus Von Der Waydbrink ,  Michael HENTSCHEL ,  Marco KENNE ,  Reinhardt BAUER ,  Steffen LEßMANN ,  Thomas BOCK ,  Reinhard JAEGER

IPC分类号： B05C11/00 ,  B08B7/00 ,  B05C13/00 ,  G01B11/14

CPC分类号： C23C14/564 ,  C23C14/54

摘要： A method and device are provided for cleaning of an optical position measurement system in a coating installation. The optical position measurement system includes a cantilever, and a sensor head having a radiation inlet and/or outlet for the reception and/or emission of an optical signal, at a free end of the cantilever. For tempering of the sensor head, a local thermoregulation is applied using a heater and/or cooling device for heating and/or cooling of the sensor head depending on thermal conductivity of material of at least the sensor head and depending on secondary heat in the coating installation.

摘要翻译： 提供了一种用于在涂布设备中清洁光学位置测量系统的方法和装置。 光学位置测量系统包括在悬臂的自由端处的悬臂和具有用于接收和/或发射光信号的辐射入口和/或出口的传感器头。 为了回火传感器头，使用加热器和/或冷却装置施加局部温度调节，以根据至少传感器头的材料的导热性并依赖于涂层中的二次热来传感头的加热和/或冷却 安装。

公开(公告)号：US20110120682A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：US12954053

申请日：2010-11-24

申请人： Hubertus VON DER WAYDBRINK ,  Knut BARTHEL ,  Michael HENTSCHEL ,  Steffen LESSMAN ,  Marco KENNE ,  Damir MUCHAMEDJAROW ,  Reinhard JAEGER

发明人： Hubertus VON DER WAYDBRINK ,  Knut BARTHEL ,  Michael HENTSCHEL ,  Steffen LESSMAN ,  Marco KENNE ,  Damir MUCHAMEDJAROW ,  Reinhard JAEGER

IPC分类号： F28D7/10

CPC分类号： F28D7/12 ,  C23C14/541 ,  F28D15/00

摘要： An apparatus and method for heat absorption in vacuum coating installations includes an absorber having a line system to supply a coolant. The line system is enclosed by a jacket tight relative to the vacuum chamber, flow spaces are arranged between the line system and the jacket, which are connected to a source of heat exchanger medium so that the line system is flowed around by a heat exchanger medium sealed relative to the vacuum chamber.

摘要翻译： 真空镀膜设备中的吸热装置和方法包括具有供给冷却剂的管线系统的吸收器。 线路系统被相对于真空室的护套封闭，流动空间设置在线路系统和护套之间，线路系统和护套连接到热交换器介质源，使得线路系统由热交换器介质 相对于真空室密封。