公开(公告)号：US06614009B2

公开(公告)日：2003-09-02

申请号：US09966197

申请日：2001-09-28

Applicant: Vladimir Yliy Gershtein ,  Alexandre De Almeida Botelho ,  Bruce H. Greenawald ,  Mark A. Lusignea ,  Kevin J. McMahon ,  Robert William Ford

Inventor： Vladimir Yliy Gershtein ,  Alexandre De Almeida Botelho ,  Bruce H. Greenawald ,  Mark A. Lusignea ,  Kevin J. McMahon ,  Robert William Ford

IPC: H05B302

CPC classification number: F17C9/02 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/035 ,  F17C2201/052 ,  F17C2203/0304 ,  F17C2203/0617 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0126 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0394 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/043 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/033 ,  F17C2227/0304 ,  F17C2227/0383 ,  F17C2227/0386 ,  F17C2250/0404 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0631 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2250/072 ,  F17C2260/025 ,  F17C2260/033 ,  F17C2260/056 ,  F17C2265/05 ,  F17C2270/0105 ,  F17C2270/0171 ,  F17C2270/0189 ,  F17C2270/05 ,  F17C2270/0518

Abstract: A high flow rate, transportable, ultra high purity gas vaporization and supply system is provided which includes a vessel suitable for carrying large quantities of a liquefied gas, valves to operate with liquid or gas phases, a loading/unloading unit disposed on the vessel for loading and unloading the liquefied gas to be supplied, and a heater containing heating elements permanently positioned on the vessel to supply energy into the liquefied gas. The heater causes the liquefied gas to be supplied through the loading/unloading unit as a gas. A heater controller is also provided which uses process variables feedback for regulating the heating elements to maintain and regulate gas output.

Abstract translation: 提供了高流量，可运输，超高纯度的气体蒸发和供应系统，其包括适于携带大量液化气体的容器，用于液体或气相操作的阀门，设置在容器上的装载/卸载单元 装载和卸载待供应的液化气体，以及加热器，其包含永久定位在容器上的加热元件，以向液化气体供应能量。 加热器使得液化气体作为气体通过装载/卸载单元供应。 还提供加热器控制器，其使用过程变量反馈来调节加热元件以维持和调节气体输出。