公开(公告)号：US20110069312A1

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：US12872988

申请日：2010-08-31

Applicant: Daniel Kandel ,  Vladimir Levinski ,  Alexander Svizher ,  Joel Seligson ,  Andrew Hill ,  Ohad Bachar ,  Amnon Manassen ,  Yung-Ho Alex Chuang ,  Ilan Sela ,  Moshe Markowitz ,  Daria Negri ,  Efraim Rotem

Inventor： Daniel Kandel ,  Vladimir Levinski ,  Alexander Svizher ,  Joel Seligson ,  Andrew Hill ,  Ohad Bachar ,  Amnon Manassen ,  Yung-Ho Alex Chuang ,  Ilan Sela ,  Moshe Markowitz ,  Daria Negri ,  Efraim Rotem

IPC: G01J4/00 ,  G01J3/28 ,  G01B11/14

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: Various metrology systems and methods are provided.

Abstract translation: 提供了各种计量系统和方法。

公开(公告)号：US08441639B2

公开(公告)日：2013-05-14

申请号：US12872988

申请日：2010-08-31

Applicant: Daniel Kandel ,  Vladimir Levinski ,  Alexander Svizher ,  Joel Seligson ,  Andrew Hill ,  Ohad Bachar ,  Amnon Manassen ,  Yung-Ho Alex Chuang ,  Ilan Sela ,  Moshe Markowitz ,  Daria Negri ,  Efraim Rotem

Inventor： Daniel Kandel ,  Vladimir Levinski ,  Alexander Svizher ,  Joel Seligson ,  Andrew Hill ,  Ohad Bachar ,  Amnon Manassen ,  Yung-Ho Alex Chuang ,  Ilan Sela ,  Moshe Markowitz ,  Daria Negri ,  Efraim Rotem

IPC: G01J4/00 ,  G01B11/14 ,  G01B11/28 ,  G01B11/04 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: Various metrology systems and methods are provided.

Abstract translation: 提供了各种计量系统和方法。