公开(公告)号：US07812188B2

公开(公告)日：2010-10-12

申请号：US11608096

申请日：2006-12-07

申请人： Mindi Xu ,  Trapti Chaubey

发明人： Mindi Xu ,  Trapti Chaubey

IPC分类号： C07F7/04

CPC分类号： C07F7/20 ,  C07F7/21

摘要： A method for purifying organosilicon precursor compounds is provided. It includes preparation of the adsorbent with a treating compound. The thus-treated adsorbents can be used to remove impurities such as organic impurities and moisture from a composition containing an organosilicon containing compound. In this manner, it is able to purify organosilicon precursors (or solutions containing organosilicon precursors) without inducing decomposition of the organosilicon precursor.

摘要翻译： 提供了一种纯化有机硅前体化合物的方法。 它包括用处理化合物制备吸附剂。 这样处理的吸附剂可用于从含有机硅化合物的组合物中除去有机杂质和水分等杂质。 以这种方式，能够纯化有机硅前体（或含有机硅前体的溶液）而不引起有机硅前体的分解。

公开(公告)号：US06736154B2

公开(公告)日：2004-05-18

申请号：US10024087

申请日：2001-12-17

申请人： Mindi Xu ,  Hwa-Chi Wang ,  Herve E. Dulphy

发明人： Mindi Xu ,  Hwa-Chi Wang ,  Herve E. Dulphy

IPC分类号： F04F106

CPC分类号： B24B37/04 ,  B24B57/02 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/3124 ,  Y10T137/3127 ,  Y10T137/3133

摘要： Apparatus and processes are presented to contact a dry, preferably high purity inert gas with a chemical composition in a pressure vessel, or a wetting composition, to form a wet inert gas, which is then used to pressurize the chemical composition out of the pressure vessel. No additional space is needed for an external humidifier. Since a very small amount of vapor is needed to form a wet inert gas, the composition of chemical composition will not be significantly affected.

摘要翻译： 提供了装置和方法，以将干燥的，优选高纯度的惰性气体与压力容器或润湿组合物中的化学组成接触，以形成湿惰性气体，然后将其用于将化学组合物从压力容器 。 外部加湿器不需要额外的空间。 由于需要非常少量的蒸气来形成湿惰性气体，所以化学成分的组成不会受到显着影响。

公开(公告)号：US06172376B2

公开(公告)日：2001-01-09

申请号：US09152520

申请日：1998-09-14

申请人： Mindi Xu ,  Weiching Li

发明人： Mindi Xu ,  Weiching Li

IPC分类号： B08B1300

CPC分类号： G01N15/02 ,  G01N2021/054

摘要： Provided are a method and apparatus for measuring particles in a liquid sample. The method involves introducing a liquid sample into a heat exchanger, thereby cooling the sample to a predetermined temperature. A particle measurement is performed on the cooled sample by introducing the cooled sample into a particle detector. The method and apparatus in accordance with the invention effectively suppress bubbles present in a liquid chemical sample being measured, thereby allowing for accurate particle measurements. The invention has particular applicability in the semiconductor and pharmaceutical manufacturing industries.

摘要翻译： 提供了一种用于测量液体样品中的颗粒的方法和装置。 该方法包括将液体样品引入热交换器，从而将样品冷却至预定温度。 通过将冷却的样品引入颗粒检测器中对冷却的样品进行颗粒测量。 根据本发明的方法和装置有效地抑制了被测量的液体化学样品中存在的气泡，从而允许精确的颗粒测量。 本发明在半导体和药物制造业中具有特别的适用性。

公开(公告)号：US20090181168A1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：US12351723

申请日：2009-01-09

申请人： Trapti Chaubey ,  Mindi Xu

发明人： Trapti Chaubey ,  Mindi Xu

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23C16/54

CPC分类号： C23C16/4481

摘要： An apparatus and method for holding a solid precursor in a sublimator such that the solid precursor can be vaporized for saturating a carrier gas. The apparatus may include alternating disks or shelves that form inner and outer passages, as well as spaces between the disks for fluidicly coupling the passages to create a winding, tortuous fluid flow path through the sublimator for optimizing solid vapor saturation. The method may include directing a carrier gas into a sublimation chamber, around the first shelf in the outer passage, over the first shelf in the space, around the second shelf in the inner passage, and back out of the sublimation chamber.

摘要翻译： 一种用于在升华器中保持固体前体的装置和方法，使得固体前体可以蒸发以使载气饱和。 该装置可以包括形成内部和外部通道的交替的盘或架，以及盘之间的空间，用于流体地联接通道，以产生通过升华器的绕曲曲折的流体流动路径，以优化固体蒸气饱和度。 该方法可以包括将载气引导到在外部通道中的第一搁板周围的空间中的第一搁板周围的升华室中，围绕内部通道中的第二搁板，并且从升华室返回。

公开(公告)号：US20080009645A1

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：US11608096

申请日：2006-12-07

申请人： Mindi Xu ,  Trapti Chaubey

发明人： Mindi Xu ,  Trapti Chaubey

IPC分类号： C07F7/08 ,  C07F7/00 ,  C07F7/02 ,  C07F7/20 ,  C07F7/04

CPC分类号： C07F7/20 ,  C07F7/21

摘要： A method for purifying organosilicon precursor compounds is provided. It includes preparation of the adsorbent with a treating compound. The thus-treated adsorbents can be used to remove impurities such as organic impurities and moisture from a composition containing an organosilicon containing compound. In this manner, it is able to purify organosilicon precursors (or solutions containing organosilicon precursors) without inducing decomposition of the organosilicon precursor.

摘要翻译： 提供了一种纯化有机硅前体化合物的方法。 它包括用处理化合物制备吸附剂。 这样处理的吸附剂可用于从含有机硅化合物的组合物中除去有机杂质和水分等杂质。 以这种方式，能够纯化有机硅前体（或含有机硅前体的溶液）而不引起有机硅前体的分解。

公开(公告)号：US06439266B1

公开(公告)日：2002-08-27

申请号：US09845348

申请日：2001-05-01

申请人： Mindi Xu ,  Shei-Kai Chang

发明人： Mindi Xu ,  Shei-Kai Chang

IPC分类号： F16L5504

CPC分类号： F16L55/04

摘要： A system for damping pressure pulses is provided, including a channel for permitting fluid flow between a first chamber and a second chamber, a piston for varying a fluid flowing space such that pressure pulses in fluid are damped, and a flexible wall for absorbing pressure pulses in fluid, wherein the flexible wall is connected to the piston by a transmitting rod such that a movement of the piston results in a deformation of the flexible wall and vice versa.

摘要翻译： 提供了一种用于阻尼压力脉冲的系统，包括用于允许在第一腔室和第二腔室之间流体流动的通道，用于改变流体流动空间的活塞，使得流体中的压力脉冲被阻尼，以及用于吸收压力脉冲的柔性壁 其中柔性壁通过传动杆连接到活塞，使得活塞的运动导致柔性壁的变形，反之亦然。

公开(公告)号：US20080141901A1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：US11830607

申请日：2007-07-30

申请人： Mindi Xu ,  Trapti Chaubey

发明人： Mindi Xu ,  Trapti Chaubey

IPC分类号： C08L83/06 ,  C08K5/09 ,  C08K5/101

CPC分类号： C07F7/1892 ,  C23C16/402

摘要： Novel methods and additives for stabilizing one or more cyclotetrasiloxane compounds for use in silicon film deposition are described herein. The disclosed methods and additives may utilize silicon-containing compounds to inhibit polymerization of one or more cyclotetrasiloxanes. In an embodiment, a method of stabilizing one or more cyclotetrasiloxane compounds for use in silicon film deposition comprises adding one or more additives to the one or more cyclotetrasiloxane compounds to inhibit polymerization of the cyclotetrasiloxane compound. The one or more additives may comprise an acrylate, a methacrylate, or a silane compound having the formula: where R1-R4 may each independently be an alkyl group, an alkoxy group, a heterocyclic group, an acryloxy group, a vinyl group, an epoxy group, a glycidyloxy group, or a hydrogen. R1-R4 may be the same or different from each other. The one or more additives may also comprise combinations of the above mentioned compounds.

摘要翻译： 本文描述了用于稳定一种或多种用于硅膜沉积的环四硅氧烷化合物的新方法和添加剂。 所公开的方法和添加剂可以使用含硅化合物抑制一种或多种环硅氧烷的聚合。 在一个实施方案中，稳定用于硅膜沉积的一种或多种环四硅氧烷化合物的方法包括向一种或多种环四硅氧烷化合物中加入一种或多种添加剂以抑制环四硅氧烷化合物的聚合。 一种或多种添加剂可以包含具有下式的丙烯酸酯，甲基丙烯酸酯或硅烷化合物：其中R 1〜R 4可以各自独立地为烷基， 烷氧基，杂环基，丙烯酰氧基，乙烯基，环氧基，缩水甘油氧基或氢。 R 1〜R 4可以相同或不同。 一种或多种添加剂还可以包含上述化合物的组合。

公开(公告)号：US06395064B1

公开(公告)日：2002-05-28

申请号：US09426875

申请日：1999-10-26

申请人： Mindi Xu ,  Richard Udischas ,  Carol Schnepper ,  Joseph Paganessi

发明人： Mindi Xu ,  Richard Udischas ,  Carol Schnepper ,  Joseph Paganessi

IPC分类号： B01D116

CPC分类号： B01D53/0446 ,  B01D3/06 ,  B01D53/053 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/404 ,  B01D2259/406 ,  F17C7/04 ,  F17C9/02 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2227/0135 ,  F17C2265/05 ,  F17C2270/0518 ,  Y02C20/10 ,  Y02E60/321

摘要： Provided is a novel system for vaporizing and purifying a gas to produce ultrapure chemical gases employed at a semiconductor processing facility. The system includes a liquified gas source, a vaporization purification bed, and a buffer tank. The liquefied gas source is in communication with the vaporization purification bed to provide a liquefied gas to the bed with an ultra-pure chemical gas generated in the purification bed. The purified gas is subsequently routed to a buffer tank and to a point of use therefrom.

摘要翻译： 提供了一种用于蒸发和净化气体以产生在半导体处理设备中使用的超纯化学气体的新型系统。 该系统包括液化气源，蒸发净化床和缓冲罐。 液化气源与蒸发净化床连通，以在净化床中产生的超纯化学气体向床提供液化气体。 净化的气体随后被引导到缓冲罐并到达使用点。

公开(公告)号：US06214173B1

公开(公告)日：2001-04-10

申请号：US08759213

申请日：1996-12-05

申请人： Mindi Xu ,  Wallace I. Yuan ,  Tracey Jacksier ,  Hwa-Chi Wang ,  Joe G. Hoffman ,  R. Scot Clark

发明人： Mindi Xu ,  Wallace I. Yuan ,  Tracey Jacksier ,  Hwa-Chi Wang ,  Joe G. Hoffman ,  R. Scot Clark

IPC分类号： B01D300

CPC分类号： C01B21/46 ,  B01D3/143 ,  B01D3/34

摘要： Provided is a novel on-site system and method for providing ultra-high-purity nitric acid to a point of use. The system includes a source of nitric acid at a concentration greater than 68 wt %; a reflux distillation column having an inlet in communication with the nitric acid source for introducing nitric acid into the column, a reboiler, and a condensate outlet to provide a flow of nitric acid condensate from the column; a reservoir in communication with the condensate outlet for receiving the flow of nitric acid condensate; and piping for delivering nitric acid from the reservoir to a point of use. The system and method can be used as an on-site subsystem, in a semiconductor device fabrication facility for supplying the nitric acid condensate to points of use in the semiconductor device fabrication facility.

摘要翻译： 提供了一种用于在使用点提供超高纯度硝酸的新型现场系统和方法。 该系统包括浓度大于68重量％的硝酸源; 回流蒸馏塔，其具有与硝酸源连通以将硝酸引入塔中的入口，再沸器和冷凝物出口，以从塔中提供硝酸冷凝物流; 与冷凝水出口连通的用于接收硝酸冷凝物流的储存器; 以及用于将硝酸从储存器输送到使用点的管道。 该系统和方法可以用作半导体器件制造设备中的现场子系统，用于将硝酸冷凝物供应到半导体器件制造设备中的使用点。