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    Thermally conductive coil and methods and systems
    13.
    发明授权
    Thermally conductive coil and methods and systems 有权
    导热线圈及方法和系统

    公开(公告)号：US08847721B2

    公开(公告)日：2014-09-30

    申请号：US12616907

    申请日：2009-11-12

    申请人： Alexander Cooper ,  Alton H. Phillips ,  Scott Coakley

    发明人： Alexander Cooper ,  Alton H. Phillips ,  Scott Coakley

    IPC分类号： H01F27/30 ,  H01F5/00 ,  H01F27/28 ,  H01F27/22 ,  H01F5/06 ,  H01F41/06

    CPC分类号： H01F5/06 ,  H01F27/22 ,  H01F41/074

    摘要： Embodiments of the invention provide improved thermal conductivity within, among other things, electromagnetic coils, coil assemblies, electric motors, and lithography devices. In one embodiment, a thermally conductive coil includes at least two adjacent coil layers. The coil layers include windings of wires formed from a conductor and an insulator that electrically insulates the windings within each coil layer. In some cases the insulator of the wires is at least partially absent along an outer surface of one or both coil layers to increase the thermal conductivity between the coil layers. In some embodiments, an insulation layer is provided between the coil layers to electrically insulate the coil layers. In some cases the insulation layer has a thermal conductivity greater than the thermal conductivity of the wire insulator.

    摘要翻译： 本发明的实施例尤其提供了电磁线圈，线圈组件，电动马达和光刻装置之内的改进的导热性。 在一个实施例中，导热线圈包括至少两个相邻的线圈层。 线圈层包括由导体和绝缘体形成的导线的绕组，其将线圈电绝缘在每个线圈层内。 在一些情况下，线的绝缘体至少部分地沿着一个或两个线圈层的外表面不存在，以增加线圈层之间的热导率。 在一些实施例中，绝缘层设置在线圈层之间以使线圈层电绝缘。 在一些情况下，绝缘层的导热率大于导线绝缘体的导热率。

    TARGET FOR LARGE SCALE METROLOGY SYSTEM
    14.
    发明申请
    TARGET FOR LARGE SCALE METROLOGY SYSTEM 审中-公开
    大规模计量系统的目标

    公开(公告)号：US20130141735A1

    公开(公告)日：2013-06-06

    申请号：US13488322

    申请日：2012-06-04

    申请人： Michael Sogard ,  Alexander Cooper ,  W. Thomas Novak

    发明人： Michael Sogard ,  Alexander Cooper ,  W. Thomas Novak

    IPC分类号： G01B11/14

    CPC分类号： G01B11/14 ,  G01B11/002

    摘要： A target (16) for a metrology system (10) that monitors the position of an object (12) includes a target housing (225) and a photo detector assembly (226). The target housing (225) can include a first target surface (218A), and a second target surface (218B) that is at an angle relative to the first target surface (218A). The photo detector assembly (226) can include a first detector (220A) that is secured to the first target surface (218A), and a second detector (220B) that is secured to the second target surface (218B). Each of the detectors (220A) (220B) can be a quad cell that includes four detector cells (238A) (238B) (238C) (238D) that are separated by a gap (236).

    摘要翻译： 用于监测物体（12）的位置的测量系统（10）的目标（16）包括目标壳体（225）和光电检测器组件（226）。 目标壳体（225）可以包括第一目标表面（218A）和相对于第一目标表面（218A）成一定角度的第二目标表面（218B）。 光检测器组件（226）可以包括固定到第一目标表面（218A）的第一检测器（220A）和固定到第二目标表面（218B）的第二检测器（220B）。 每个检测器（220A）（220B）可以是四边形单元，其包括由间隙（236）分开的四个检测器单元（238A）（238B）（238C）（238D）。