公开(公告)号：US20100059383A1

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：US12375417

申请日：2007-07-18

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： C25D1/00

CPC分类号： G11B9/1472 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007

摘要： The present invention relates to a device for forming topographic features on a surface of a polymer layer comprising: a polymer layer (1); a substrate (2) comprising a conductor, a first surface (1a) of the polymer layer (1) being provided on the substrate (2); and at least one electrode (3) which, when the device is in use, interacts with a second surface (1b) of the polymer layer (1), wherein, when in use, the device is operable to apply a first electrical potential (P1) to the at least one electrode (3) relative to the substrate (2), thereby to cause a protrusion (4) to be formed on the second surface (1b) of the polymer layer (1).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在聚合物层的表面上形成地形特征的装置，包括：聚合物层（1）; 包括导体的基板（2），所述聚合物层（1）的第一表面（1a）设置在所述基板（2）上; 以及至少一个电极（3），当所述装置在使用中时，所述电极（3）与所述聚合物层（1）的第二表面（1b）相互作用，其中当使用时所述装置可操作以施加第一电位 P1）相对于基板（2）至少一个电极（3），从而在聚合物层（1）的第二表面（1b）上形成突起（4）。

公开(公告)号：US20080316904A1

公开(公告)日：2008-12-25

申请号：US12116320

申请日：2008-05-07

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Mark Alfred Lantz

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Mark Alfred Lantz

IPC分类号： G11B9/00 ,  G01B5/28

CPC分类号： G01Q70/00 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1436

摘要： The present invention relates to a method of reducing the wear of a tip of a probe when the tip is in contact with a surface of a substrate and when the probe is mounted on a support structure. A method is provided where a load force is applied to the probe, thereby causing the tip to be maintained substantially in contact with the substrate surface and a modulation step where the e magnitude of the load force is modulated at a modulation frequency. The modulation frequency is selected to be greater than a fundamental vibration frequency of the support structure on which the probe is mounted.

摘要翻译： 本发明涉及当尖端与衬底的表面接触时以及当探针安装在支撑结构上时减小探针的尖端的磨损的方法。 提供了一种方法，其中向探针施加负载力，从而使尖端保持与衬底表面基本接触，并且调制步骤，其中负载力的大小以调制频率被调制。 选择调制频率大于安装探针的支撑结构的基本振动频率。

公开(公告)号：US20080220612A1

公开(公告)日：2008-09-11

申请号：US11682347

申请日：2007-03-06

申请人： Ute Drechsler ,  Urs T. Duerig ,  Jane Elizabeth Frommer ,  Bernd W. Gotsmann ,  James Lupton Hedrick ,  Armin W. Knoll ,  Tobias Kraus ,  Robert Dennis Miller

发明人： Ute Drechsler ,  Urs T. Duerig ,  Jane Elizabeth Frommer ,  Bernd W. Gotsmann ,  James Lupton Hedrick ,  Armin W. Knoll ,  Tobias Kraus ,  Robert Dennis Miller

IPC分类号： H01L21/311

CPC分类号： G11B9/149 ,  B82Y10/00 ,  Y10S438/928

摘要： A method of protecting a polymeric layer from contamination by a photoresist layer. The method includes: (a) forming a polymeric layer over a substrate; (b) forming a non-photoactive protection layer over the polymeric layer; (c) forming a photoresist layer over the protection layer; (d) exposing the photoresist layer to actinic radiation and developing the photoresist layer to form a patterned photoresist layer, thereby exposing regions of the protection layer; (e) etching through the protection layer and the polymeric layer where the protection layer is not protected by the patterned photoresist layer; (f) removing the patterned photoresist layer in a first removal process; and (g) removing the protection layer in a second removal process different from the first removal process.

摘要翻译： 保护聚合物层免受光致抗蚀剂层污染的方法。 该方法包括：（a）在基底上形成聚合物层; （b）在聚合物层上形成非光敏保护层; （c）在所述保护层上形成光致抗蚀剂层; （d）将光致抗蚀剂层暴露于光化辐射并显影光致抗蚀剂层以形成图案化的光致抗蚀剂层，从而暴露保护层的区域; （e）蚀刻通过保护层和聚合物层，其中保护层不被图案化的光致抗蚀剂层保护; （f）在第一去除过程中去除图案化的光致抗蚀剂层; 和（g）在与第一去除过程不同的第二去除过程中去除保护层。

公开(公告)号：US07397754B1

公开(公告)日：2008-07-08

申请号：US12017791

申请日：2008-01-22

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： G11B9/00

CPC分类号： B82Y10/00 ,  G11B9/04 ,  G11B9/1454

摘要： A data storage system having a positioning system for a micro-electromechanical system (“MEMS”) based data storage provided. The data storage system includes a MEMS-based scanner that interacts with a polymer medium to read, write and erase data. A first positioning system is coupled to the MEMS scanner to allow the storage of data over a defined area. A second positioning system is coupled to the first positioning system and the MEMS scanner to allow the use of a larger polymer medium. A plurality of storage modules is also provided to allow scalability of data storage.

摘要翻译： 一种具有用于基于微机电系统（“MEMS”）的数据存储器的定位系统的数据存储系统。 数据存储系统包括与聚合物介质相互作用以读取，写入和擦除数据的基于MEMS的扫描仪。 第一定位系统耦合到MEMS扫描器以允许在限定区域上存储数据。 第二定位系统耦合到第一定位系统和MEMS扫描器以允许使用更大的聚合物介质。 还提供了多个存储模块以允许数据存储的可扩展性。

公开(公告)号：US08053067B2

公开(公告)日：2011-11-08

申请号：US12061144

申请日：2008-04-02

申请人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

发明人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

IPC分类号： B32B7/02

CPC分类号： G11B9/149 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14 ,  Y10T428/21 ,  Y10T428/24942

摘要： The present invention relates to a data storage device comprising: a data storage medium for storing data in the form of topographic features; and at least one probe for writing and/or reading the data stored in the data storage medium, wherein the data storage medium is formed on a support layer, the support layer having a lower shear modulus than the data storage medium.

摘要翻译： 本发明涉及一种数据存储装置，包括：数据存储介质，用于以地形特征的形式存储数据; 以及用于写入和/或读取存储在数据存储介质中的数据的至少一个探针，其中所述数据存储介质形成在支撑层上，所述支撑层具有比所述数据存储介质更低的剪切模量。

公开(公告)号：US20090185474A1

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：US12133128

申请日：2008-06-04

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： G11B9/00

CPC分类号： B82Y10/00 ,  G11B9/04 ,  G11B9/1454

摘要： A method of storing data using data storage system having a positioning system for a micro-electromechanical system (“MEMS”) based data storage is provided. The method includes a moving MEMS-based scanner that interacts with a polymer medium to read, write and erase data. A first positioning system is coupled to the MEMS scanner to allow the storage of data over a defined area. A second positioning system is coupled to the first positioning system and the MEMS scanner to allow the use of a larger polymer medium. A plurality of storage modules is also provided to allow scalability of data storage.

摘要翻译： 提供了一种使用具有用于基于微机电系统（“MEMS”）的数据存储的定位系统的数据存储系统来存储数据的方法。 该方法包括移动的基于MEMS的扫描仪，其与聚合物介质相互作用以读取，写入和擦除数据。 第一定位系统耦合到MEMS扫描器以允许在限定区域上存储数据。 第二定位系统耦合到第一定位系统和MEMS扫描器以允许使用更大的聚合物介质。 还提供了多个存储模块以允许数据存储的可扩展性。

公开(公告)号：US20090011253A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：US12168275

申请日：2008-09-18

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： B32B9/00 ,  B32B37/00

CPC分类号： G11B3/705 ,  B05D1/286 ,  B29C33/60 ,  B29C43/00 ,  B82Y10/00 ,  C09D165/00 ,  G11B3/72 ,  G11B9/1472 ,  G11B9/149 ,  G11B11/002

摘要： The present invention relates a method of producing a data storage medium comprising the steps of: a) coating a layer comprising a polymer material onto at least a part of a template surface thereby to obtain a modified template surface; b) clamping the modified template surface produced in step (a) with a target surface thereby to obtain an assembly; and c) introducing a liquid to an environment of the assembly obtained in step (b) thereby to transfer the layer comprising the polymer material of the modified template surface onto at least an adjacent region on the target surface.

摘要翻译： 本发明涉及一种生产数据存储介质的方法，包括以下步骤：a）将包含聚合物材料的层涂覆在模板表面的至少一部分上，从而获得改性的模板表面; b）将步骤（a）中产生的改性模板表面与目标表面夹紧，从而获得组件; 和c）将液体引入到在步骤（b）中获得的组件的环境中，从而将包含改性模板表面的聚合物材料的层转移到目标表面上的至少相邻区域上。

公开(公告)号：US20080292850A1

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：US12130283

申请日：2008-05-30

申请人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

发明人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

IPC分类号： B32B33/00 ,  B05D3/14

CPC分类号： G11B9/149 ,  G01Q80/00 ,  G11B5/743 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007 ,  Y10T428/24802

摘要： The present invention relates to a data storage device comprising: a polymer layer for storing data in the form of topographic features; a substrate comprising a conductor, a first surface of the polymer layer being provided on the substrate; and at least one probe which, when the device is in use, interacts with a second surface of the polymer layer, wherein, when in use, the data storage device is operable to apply a first electrical potential to the at least one probe relative to the substrate, thereby to cause a protrusion to be formed on the second surface of the polymer layer.

摘要翻译： 数据存储装置技术领域本发明涉及一种数据存储装置，包括：用于以地形特征的形式存储数据的聚合物层; 包括导体的衬底，所述聚合物层的第一表面设置在所述衬底上; 以及当所述装置在使用时与所述聚合物层的第二表面相互作用的至少一个探针，其中当使用时，所述数据存储装置可操作以相对于所述至少一个探针施加第一电位 从而在聚合物层的第二表面上形成突起。

公开(公告)号：US20080212456A1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：US12061144

申请日：2008-04-02

申请人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

发明人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

IPC分类号： G11B7/00

CPC分类号： G11B9/149 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14 ,  Y10T428/21 ,  Y10T428/24942

摘要： The present invention relates to a data storage device comprising: a data storage medium for storing data in the form of topographic features; and at least one probe for writing and/or reading the data stored in the data storage medium, wherein the data storage medium is formed on a support layer, the support layer having a lower shear modulus than the data storage medium.

摘要翻译： 本发明涉及一种数据存储装置，包括：数据存储介质，用于以地形特征的形式存储数据; 以及用于写入和/或读取存储在数据存储介质中的数据的至少一个探针，其中所述数据存储介质形成在支撑层上，所述支撑层具有比所述数据存储介质更低的剪切模量。

公开(公告)号：US09171565B2

公开(公告)日：2015-10-27

申请号：US12168275

申请日：2008-09-18

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： B05D1/28 ,  B29C33/60 ,  B29C43/00 ,  G11B11/00 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14

CPC分类号： G11B3/705 ,  B05D1/286 ,  B29C33/60 ,  B29C43/00 ,  B82Y10/00 ,  C09D165/00 ,  G11B3/72 ,  G11B9/1472 ,  G11B9/149 ,  G11B11/002

摘要： The present invention relates a method of producing a data storage medium comprising the steps of: a) coating a layer comprising a polymer material onto at least a part of a template surface thereby to obtain a modified template surface; b) clamping the modified template surface produced in step (a) with a target surface thereby to obtain an assembly; and c) introducing a liquid to an environment of the assembly obtained in step (b) thereby to transfer the layer comprising the polymer material of the modified template surface onto at least an adjacent region on the target surface.

摘要翻译： 本发明涉及一种生产数据存储介质的方法，包括以下步骤：a）将包含聚合物材料的层涂覆在模板表面的至少一部分上，从而获得改性的模板表面; b）将步骤（a）中产生的改性模板表面与目标表面夹紧，从而获得组件; 和c）将液体引入到在步骤（b）中获得的组件的环境中，从而将包含改性模板表面的聚合物材料的层转移到目标表面上的至少相邻区域上。