公开(公告)号：US06670498B2

公开(公告)日：2003-12-30

申请号：US10288514

申请日：2002-11-06

申请人： Tsunehiro Nishi ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

发明人： Tsunehiro Nishi ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C07C6974

CPC分类号： G03F7/039 ,  C07C69/716 ,  C08G61/08 ,  G03F7/0045

摘要： An ester compound of the following formula (1) is provided. R1 is H, methyl or CH2CO2R3, R2 is H, methyl or CO2R3, R3 is C1-C15 alkyl, R4 is branched or cyclic, tertiary C5-C20 alkyl group, Z is a divalent C1-C10 hydrocarbon group, and k is 0 or 1. A resist composition comprising as the base resin a polymer resulting from the ester compound is sensitive to high-energy radiation, has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance, and is suited for micropatterning using electron beams or deep-UV.

摘要翻译： 提供下式（1）的酯化合物：R 1是H，甲基或CH 2 CO 2 R 3，R 2是H，甲基或CO 2 R 3，R 3是C 1 -C 15烷基 R 4是支链或环状的，叔C5-C20烷基，Z是二价C1-C10烃基，k是0或1.含有由酯化合物得到的聚合物作为基础树脂的抗蚀剂组合物是 对高能辐射敏感，具有优异的灵敏度，分辨率和耐蚀刻性，适用于使用电子束或深UV的微图案。

公开(公告)号：US06660448B2

公开(公告)日：2003-12-09

申请号：US09986274

申请日：2001-11-08

申请人： Seiichiro Tachibana ,  Mutsuo Nakashima ,  Tsunehiro Nishi ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Jun Hatakeyama

发明人： Seiichiro Tachibana ,  Mutsuo Nakashima ,  Tsunehiro Nishi ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C08F2400

CPC分类号： C08F222/06 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： The invention provides a polymer comprising recurring units containing bridged aliphatic rings in the backbone and having a hydroxyl, acyloxy or alkoxylcarbonyloxy group as well as a lactone structure bonded through a spacer, the polymer having a weight average molecular weight of 1,000-500,000. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation, has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance, and lends itself to micropatterning with electron beams or deep-UV.

公开(公告)号：US06500961B2

公开(公告)日：2002-12-31

申请号：US09867656

申请日：2001-05-31

申请人： Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

发明人： Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C07D30720

CPC分类号： C07D307/33 ,  G03F7/0395

摘要： Lactone compounds of formula (1) are useful as monomers to form base resins for use in chemically amplified resist compositions adapted for micropatterning lithography. R1 is H or C1-6 alkyl, R2 is H or an acyl or alkoxycarbonyl group of 1-15 carbon atoms which may be substituted with halogen atoms, Z is a divalent C1-15 organic group which forms a lactone ring with the carbonyloxy group, k is 0 or 1, and m is an integer from 0 to 5.

摘要翻译： 式（1）的内酯化合物可用作单体以形成适用于微图案光刻的化学放大抗蚀剂组合物的基础树脂.R1为H或C1-6烷基，R2为H或1-15碳的酰基或烷氧基羰基 可以被卤素原子取代的原子，Z是与羰基氧基形成内酯环的二价C1-15有机基团，k为0​​或1，m为0-5的整数。

公开(公告)号：US06472543B2

公开(公告)日：2002-10-29

申请号：US09897985

申请日：2001-07-05

申请人： Takeshi Kinsho ,  Takeru Watanabe ,  Koji Hasegawa ,  Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

发明人： Takeshi Kinsho ,  Takeru Watanabe ,  Koji Hasegawa ,  Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C07D40700

CPC分类号： C07D315/00 ,  G03F7/0395

摘要： Lactone compounds of formula (1) are novel and useful as monomers to form base resins for use in chemically amplified resist compositions adapted for micropatterning lithography. Letter k is 0 or 1 and m is an integer of 1-8.

摘要翻译： 式（1）的内酯化合物是新颖的并且可用作单体以形成适用于微图案光刻的化学放大抗蚀剂组合物的基础树脂。引发剂k为0或1，m为1-8的整数。

公开(公告)号：US06403823B2

公开(公告)日：2002-06-11

申请号：US09842006

申请日：2001-04-26

申请人： Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Tsunehiro Nishi ,  Jun Hatakeyama

发明人： Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Tsunehiro Nishi ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C07C6974

CPC分类号： G03F7/039 ,  C07C67/343 ,  C07C69/732

摘要： Ester compounds of formula (1) are useful as monomers to form base resins for use in chemically amplified resist compositions adapted for micropatterning lithography. R1 is H or C1-6 alkyl, R2 is an unsubstituted or halo-substituted acyl or alkoxycarbonyl group of 1-15 carbon atoms, R3 is an acid labile group, k is 0 or 1, and m is an integer from 0 to 5.

摘要翻译： 式（1）的酯化合物可用作单体以形成适用于微图案光刻的化学放大抗蚀剂组合物的基础树脂.R1是H或C1-6烷基，R2是未取代的或卤素取代的酰基或烷氧基羰基， -15个碳原子，R3是酸不稳定基团，k是0或1，m是0-5的整数。

公开(公告)号：US20060009602A1

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：US11175346

申请日：2005-07-07

申请人： Takeshi Kinsho ,  Takeru Watanabe ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

发明人： Takeshi Kinsho ,  Takeru Watanabe ,  Seiichiro Tachibana ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C08F118/02 ,  C07C69/62 ,  C07C69/52

CPC分类号： C08F114/18 ,  C07C69/653 ,  C07C2601/14 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397

摘要： Polymerizable fluorinated ester compounds having formula (1) or (2) are novel wherein R1 is H, methyl or trifluoromethyl, R2 is a divalent hydrocarbon group, R3 is H or a monovalent hydrocarbon group, or R2 and R3, taken together, may form a ring, R4 is H, OH or a monovalent hydrocarbon group, and R5 is an acid labile group. They are most useful as monomers to produce polymers for the manufacture of radiation-sensitive resist compositions.

摘要翻译： 具有式（1）或（2）的可聚合氟化酯化合物是新的，其中R 1是H，甲基或三氟甲基，R 2是二价烃基，R SUP > 3是H或一价烃基，或R 2和R 3一起可以形成环，R 4， SUP>是H，OH或一价烃基，R 5是酸不稳定基团。 它们作为制备用于制造辐射敏感抗蚀剂组合物的聚合物的单体最有用。

公开(公告)号：US06743566B2

公开(公告)日：2004-06-01

申请号：US10219139

申请日：2002-08-16

申请人： Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Tsunehiro Nishi ,  Jun Hatakeyama

发明人： Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Tsunehiro Nishi ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： G03C500

CPC分类号： C07D317/24 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： Cyclic acetal compounds of formula (1) wherein k=0 or 1 and n is an integer of 0 to 6 are novel. Using the cyclic acetal compounds as a monomer, polymers are obtained. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation and has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance.

摘要翻译： 其中k = 0或1，n为0至6的整数的式（1）的环状缩醛化合物是新颖的。 使用环状缩醛化合物作为单体，得到聚合物。 包含作为基础树脂的聚合物的抗蚀剂组合物对高能辐射敏感，并且具有优异的灵敏度，分辨率和耐蚀刻性。

公开(公告)号：US06673515B2

公开(公告)日：2004-01-06

申请号：US09951523

申请日：2001-09-14

申请人： Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Jun Hatakeyama

发明人： Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： G03F7038

CPC分类号： G03F7/039 ,  C08G61/08 ,  G03F7/0045

摘要： The invention provides a polymer comprising recurring units of formula (1—1) or (1-2) wherein k is 0 or 1, m is 0, 1, 2, 3 or 4, and n is 1 or 2 and having a weight average molecular weight of 1,000 to 500,000. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation, has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance, and lends itself to micropatterning with electron beams or deep-UV.

摘要翻译： 本发明提供了包含式（1-1）或（1-2）的重复单元的聚合物，其中k为0或1，m为0,1,2,3或4，n为1或2，并且具有重量 平均分子量为1,000〜500,000。 包含作为基础树脂的聚合物的抗蚀剂组合物对高能辐射敏感，具有优异的灵敏度，分辨率和耐蚀刻性，并且适用于电子束或深紫外线的微图案化。

公开(公告)号：US06566038B2

公开(公告)日：2003-05-20

申请号：US09842396

申请日：2001-04-26

申请人： Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Jun Hatakeyama

发明人： Tsunehiro Nishi ,  Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Takeru Watanabe ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： G03F7039

CPC分类号： C08F222/06 ,  C08F222/40 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/039 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  C08F232/04 ,  C08F2220/1866 ,  C08F232/00

摘要： A polymer comprising units of formulas (1) and (2) and having a Mw of 1,000-500,000 is provided. R1 is H, CH3 or CH2CO2R3, R2 is H, CH3 or CO2R3, R3 is alkyl, R4 is halogen or acyloxy, alkoxycarbonyloxy or alkylsulfonyloxy group which may be substituted with halogen, R5 is H or alkyl, R6 is an acid labile group, Z is a single bond or a divalent hydrocarbon group, k is 0 or 1, and W is —O— or —(NR)— wherein R is H or alkyl. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation, has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance, and lends itself to micropatterning with electron beams or deep-UV rays.

摘要翻译： 提供了包含式（1）和（2）单元并且Mw为1,000-500,000的聚合物。 R 1为H，CH 3或CH 2 CO 2 R 3，R 2为H，CH 3或CO 2 R 3，R 3为烷基，R 4为卤素或酰氧基，可被卤素取代的烷氧基羰氧基或烷基磺酰氧基，R 5为H或烷基，R 6为酸不稳定基团， Z为单键或二价烃基，k为0或1，W为-O-或 - （NR） - ，其中R为H或烷基。 包含作为基础树脂的聚合物的抗蚀剂组合物对高能辐射敏感，具有优异的灵敏度，分辨率和耐蚀刻性，并且适用于电子束或深紫外线的微图案化。

公开(公告)号：US06515150B2

公开(公告)日：2003-02-04

申请号：US09967946

申请日：2001-10-02

申请人： Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Tsunehiro Nishi ,  Jun Hatakeyama

发明人： Mutsuo Nakashima ,  Seiichiro Tachibana ,  Takeru Watanabe ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Tsunehiro Nishi ,  Jun Hatakeyama

IPC分类号： C07D31726

CPC分类号： C07D317/24 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： Cyclic acetal compounds of formula (1) wherein k=0 or 1 and n is an integer of 0 to 6 are novel. Using the cyclic acetal compounds as a monomer, polymers are obtained. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation and has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance.