公开(公告)号：US20050168871A1

公开(公告)日：2005-08-04

申请号：US11091160

申请日：2005-03-28

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Fenglin Liu

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Fenglin Liu

IPC分类号： G11B5/31 ,  G11B5/147

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/23 ,  G11B5/3163

摘要： A method for forming a trimmed upper pole piece for a magnetic write head, said pole piece having a uniform width above and below a write gap layer. Prior art methods of trimming pole pieces to a final width using ion-beam etches produce pole pieces with thickness differentials due to the etch resistant nature of the alumina write-gap filling material. The present method uses NiCr, NiFeCr or Ru as write gap filling materials which have an etch rate which is substantially equal to the etch rate of the other layers forming the pole piece and are highly corrosion resistant.

摘要翻译： 一种用于形成用于磁性写入头的修整的上极片的方法，所述极片在写间隙层上方和下方具有均匀的宽度。 使用离子束蚀刻将极片修剪到最终宽度的现有技术方法由于氧化铝写入间隙填充材料的耐蚀刻性质而产生具有厚度差异的极片。 本方法使用NiCr，NiFeCr或Ru作为写入间隙填充材料，其蚀刻速率基本上等于形成极片的其它层的蚀刻速率，并且具有高度耐腐蚀性。

公开(公告)号：US08329320B2

公开(公告)日：2012-12-11

申请号：US12291715

申请日：2008-11-13

申请人： Kunliang Zhang ,  Min Li ,  Min Zheng ,  Fenglin Liu ,  Xiaomin Liu

发明人： Kunliang Zhang ,  Min Li ,  Min Zheng ,  Fenglin Liu ,  Xiaomin Liu

IPC分类号： G11B5/31 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  Y10T428/11 ,  Y10T428/115 ,  Y10T428/1171

摘要： A laminated high moment film with a non-AFC configuration is disclosed that can serve as a seed layer for a main pole layer or as the main pole layer itself in a PMR writer. The laminated film includes a plurality of (B/M) stacks where B is an alignment layer and M is a high moment layer. Adjacent (B/M) stacks are separated by an amorphous layer that breaks the magnetic coupling between adjacent high moment layers and reduces remanence in a hard axis direction while maintaining a high magnetic moment and achieving low values for Hch, Hce, and Hk. The amorphous material layer may be made of an oxide, nitride, or oxynitride of one or more of Hf, Zr, Ta, Al, Mg, Zn, Ti, Cr, Nb, or Si, or may be Hf, Zr, Ta, Nb, CoFeB, CoB, FeB, or CoZrNb. Alignment layers are FCC soft ferromagnetic materials or non-magnetic FCC materials.

摘要翻译： 公开了一种具有非AFC配置的叠层高力矩薄膜，其可用作主磁极层的种子层或作为PMR写入器中的主极点本身。 层叠膜包括多个（B / M）堆叠，其中B是取向层，M是高力矩层。 相邻的（B / M）堆叠被非晶层隔开，其破坏相邻高力矩层之间的磁耦合，并且在保持高磁矩并且实现Hch，Hce和Hk的低值的同时降低硬轴方向的剩磁。 非晶材料层可以由Hf，Zr，Ta，Al，Mg，Zn，Ti，Cr，Nb或Si中的一种或多种的氧化物，氮化物或氮氧化物制成，或者可以是Hf，Zr，Ta， Nb，CoFeB，CoB，FeB或CoZrNb。 对准层是FCC软铁磁材料或非磁性FCC材料。

公开(公告)号：US20100119874A1

公开(公告)日：2010-05-13

申请号：US12291715

申请日：2008-11-13

申请人： Kunliang Zhang ,  Min Li ,  Min Zheng ,  Fenglin Liu ,  Xiaomin Liu

发明人： Kunliang Zhang ,  Min Li ,  Min Zheng ,  Fenglin Liu ,  Xiaomin Liu

IPC分类号： G11B5/33 ,  C23C14/34

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  Y10T428/11 ,  Y10T428/115 ,  Y10T428/1171

摘要： A laminated high moment film with a non-AFC configuration is disclosed that can serve as a seed layer for a main pole layer or as the main pole layer itself in a PMR writer. The laminated film includes a plurality of (B/M) stacks where B is an alignment layer and M is a high moment layer. Adjacent (B/M) stacks are separated by an amorphous layer that breaks the magnetic coupling between adjacent high moment layers and reduces remanence in a hard axis direction while maintaining a high magnetic moment and achieving low values for Hch, Hce, and Hk. The amorphous material layer may be made of an oxide, nitride, or oxynitride of one or more of Hf, Zr, Ta, Al, Mg, Zn, Ti, Cr, Nb, or Si, or may be Hf, Zr, Ta, Nb, CoFeB, CoB, FeB, or CoZrNb. Alignment layers are FCC soft ferromagnetic materials or non-magnetic FCC materials.

摘要翻译： 公开了一种具有非AFC配置的叠层高力矩薄膜，其可用作主磁极层的种子层或作为PMR写入器中的主极点本身。 层叠膜包括多个（B / M）堆叠，其中B是取向层，M是高力矩层。 相邻（B / M）堆叠被非晶层隔开，其破坏相邻高力矩层之间的磁耦合，并且在保持高磁矩并且实现Hch，Hce和Hk的低值的同时降低硬轴方向的剩磁。 非晶材料层可以由Hf，Zr，Ta，Al，Mg，Zn，Ti，Cr，Nb或Si中的一种或多种的氧化物，氮化物或氮氧化物制成，或者可以是Hf，Zr，Ta， Nb，CoFeB，CoB，FeB或CoZrNb。 对准层是FCC软铁磁材料或非磁性FCC材料。

公开(公告)号：US20080297945A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：US11809346

申请日：2007-05-31

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Min Li ,  Fenglin Liu ,  Lijie Guan

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Min Li ,  Fenglin Liu ,  Lijie Guan

IPC分类号： G11B5/127 ,  G11B5/147 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49052

摘要： A perpendicular magnetic recording (PMR) head is fabricated with a pole tip shielded laterally by a separated pair of bottom side shields and shielded from above by an upper shield. The bottom side shields surround a lower portion of the pole tip while the upper portion of the pole tip is surrounded by non-magnetic layers. The bottom shields and the non-magnetic layer form wedge-shaped trench in which the pole tip is formed by a self-aligned plating process. The wedge shape is formed by a RIE process using specific gases applied through a masking layer formed of material that has a slower etch rate than the non-magnetic material or the shield material. A masking layer of Ta, Ru/Ta, TaN or Ti, formed on a non-magnetic layer of alumina that is formed on a shield layer of NiFe and using RIE gases of CH3OH, CO or NH3 or their combinations, produces the desired result. A write gap layer and an upper shield is then formed above the side shields and pole. The resulting structure substantially eliminates track overwrite while maintaining good track definition.

摘要翻译： 垂直磁记录（PMR）头被制造成具有通过分离的一对底侧屏蔽横向屏蔽的极尖，并由上屏蔽从上面屏蔽。 底侧屏蔽围绕极尖的下部，而极尖的上部被非磁性层包围。 底部屏蔽层和非磁性层形成楔形沟槽，其中极尖通过自对准电镀工艺形成。 楔形形状通过RIE工艺形成，其使用通过由比非磁性材料或屏蔽材料具有较慢蚀刻速率的材料形成的掩模层施加的特定气体。 形成在NiFe的屏蔽层上并使用CH 3 OH，CO或NH 3的RIE气体或其组合的形成在氧化铝的非磁性层上的Ta，Ru / Ta，TaN或Ti的掩蔽层产生期望的结果 。 然后在侧屏和极上方形成写间隙层和上屏蔽。 所得到的结构基本上消除了轨道重写，同时保持良好的轨道定义。

公开(公告)号：US07359150B2

公开(公告)日：2008-04-15

申请号：US11091160

申请日：2005-03-28

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Fenglin Liu

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Fenglin Liu

IPC分类号： G11B5/39 ,  G11B5/147

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/23 ,  G11B5/3163

摘要： A trimmed upper pole piece for a magnetic write head is presented, said pole piece having a uniform width above and below a write gap layer and said pole piece being formed on a pedestal of uniform width projecting from a planar surface of a magnetic shield layer. Prior art methods of trimming pole pieces to a final width using ion-beam etches produce pole pieces with thickness differentials due to the etch resistant nature of the typical alumina write-gap filling material. The present pole piece uses NiCr, NiFeCr or Ru as write gap filling materials because they have an etch rate which is substantially equal to the etch rate of the other layers forming the pole piece and allow a uniform trimming to occur.

摘要翻译： 提出了一种用于磁性写入头的修整的上极片，所述极片在写间隙层上方和下方具有均匀的宽度，并且所述极片形成在从磁屏蔽层的平坦表面突出的均匀宽度的基座上。 使用离子束蚀刻将极片修剪到最终宽度的现有技术方法由于典型的氧化铝写入间隙填充材料的耐蚀刻性质而产生具有厚度差异的极片。 本极极片使用NiCr，NiFeCr或Ru作为写入间隙填充材料，因为它们的蚀刻速率基本上等于形成极片的其它层的蚀刻速率，并允许发生均匀的修整。

公开(公告)号：US06960281B2

公开(公告)日：2005-11-01

申请号：US10394098

申请日：2003-03-21

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Po Kang Wang ,  Fenglin Liu

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Po Kang Wang ,  Fenglin Liu

IPC分类号： G11B5/31 ,  G11B5/39 ,  C23C14/34

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3967 ,  Y10T29/49032

摘要： A method for forming a trimmed upper pole piece for a magnetic write head, said pole piece having a tapered profile that is widest at its trailing edge. Such a pole piece is capable of writing narrow tracks with sharply and well defined patterns and minimal overwriting of adjacent tracks. The present method produces the necessary taper by using NiCr, NiFeCr, Rh or Ru as write gap filling materials which have an etch rate which is substantially equal to the etch rate of the other layers forming the pole piece and are highly corrosion resistant. As a result, the write gap does not protrude to mask the effects of the ion-beam etch used to form the taper.

摘要翻译： 一种用于形成用于磁性写入头的修整的上极片的方法，所述极片具有在其后缘处最宽的锥形轮廓。 这样的极片能够以清晰明确的图案和相邻轨迹的最小重写来写入窄轨道。 本方法通过使用NiCr，NiFeCr，Rh或Ru作为写入间隙填充材料产生必要的锥度，其具有基本上等于形成极片的其它层的蚀刻速率的蚀刻速率，并且具有高耐腐蚀性。 结果，写入间隙不突出以掩盖用于形成锥形的离子束蚀刻的效果。

公开(公告)号：US06887355B2

公开(公告)日：2005-05-03

申请号：US10284848

申请日：2002-10-31

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Fenglin Liu

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Mao-Min Chen ,  Fenglin Liu

IPC分类号： G11B5/31 ,  C23C14/34 ,  B05D1/40 ,  B05D3/00

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/23 ,  G11B5/3163

摘要： A method for forming a trimmed upper pole piece for a magnetic write head, said pole piece having a uniform width above and below a write gap layer. Prior art methods of trimming pole pieces to a final width using ion-beam etches produce pole pieces with thickness differentials due to the etch resistant nature of the alumina write-gap filling material. The present method uses NiCr, NiFeCr or Ru as write gap filling materials which have an etch rate which is substantially equal to the etch rate of the other layers forming the pole piece and are highly corrosion resistant.

摘要翻译： 一种用于形成用于磁性写入头的修整的上极片的方法，所述极片在写间隙层上方和下方具有均匀的宽度。 使用离子束蚀刻将极片修剪到最终宽度的现有技术方法由于氧化铝写入间隙填充材料的耐蚀刻性质而产生具有厚度差异的极片。 本方法使用NiCr，NiFeCr或Ru作为写入间隙填充材料，其蚀刻速率基本上等于形成极片的其它层的蚀刻速率，并且具有高度耐腐蚀性。

公开(公告)号：US20160113602A1

公开(公告)日：2016-04-28

申请号：US14924495

申请日：2015-10-27

申请人： Ge Wang ,  Fenglin Liu ,  Wenxiang Cong ,  Qingsong Yang

发明人： Ge Wang ,  Fenglin Liu ,  Wenxiang Cong ,  Qingsong Yang

IPC分类号： A61B6/00 ,  A61B6/03

CPC分类号： A61B6/4035 ,  A61B6/032 ,  A61B6/482 ,  A61B6/544 ,  A61B6/583

摘要： Dynamic bowties, imaging systems including a bowtie, and methods of imaging including such bowties or systems are provided. A bowtie can be a three-dimensional (3-D) dynamic bowtie and can include a highly-attenuating bowtie (HB) and a weakly-attenuating bowtie (WB). The HB can be filled with a liquid, and the WB can be immersed in the liquid of the HB.

摘要翻译： 提供动态弯曲，包括弓形的成像系统，以及包括这种弯曲或系统的成像方法。 Bowtie可以是一个三维（3-D）动态的蝴蝶结，可以包括高度衰减的蝴蝶结（HB）和弱衰减的蝴蝶结（WB）。 HB可以充满液体，WB可以浸入HB的液体中。

公开(公告)号：US08472138B2

公开(公告)日：2013-06-25

申请号：US13135357

申请日：2011-07-01

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Min Li ,  Fenglin Liu ,  Chen-Jung Chien

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Min Li ,  Fenglin Liu ,  Chen-Jung Chien

IPC分类号： G11B5/127

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/112 ,  G11B5/3146 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3169 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T428/1193

摘要： A magnetic pole suitable for perpendicular magnetic recording is described. This write pole is symmetrically located relative to its side shields and has at least three additional surfaces that are disposed to lie in planes that are normal to the substrate's top surface.

摘要翻译： 描述适用于垂直磁记录的磁极。 该写入极相对于其侧屏对称地定位，并且具有至少三个额外的表面，其被设置为位于与基板顶表面垂直的平面中。

公开(公告)号：US08117738B2

公开(公告)日：2012-02-21

申请号：US12932552

申请日：2011-02-28

申请人： Cherng-Chyi Han ,  Min Li ,  Fenglin Liu ,  Jiun-Ting Lee

发明人： Cherng-Chyi Han ,  Min Li ,  Fenglin Liu ,  Jiun-Ting Lee

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/11 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3146 ,  G11B5/315 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A perpendicular magnetic recording (PMR) head is fabricated with a self-aligned pole tip shielded laterally by a separated pair of side shields and shielded from above by an upper shield. The side shields are formed from a shield layer by a RIE process characterized by a mask and gases producing a variety of etch rates. The differential in etch rates maintains the opening dimension within the mask and allows the formation of a wedge-shaped trench within the shield layer that then separates the layer into two shields. The pole tip is then plated within the trench and an upper shield is formed above the side shields and pole.

摘要翻译： 制造垂直磁记录（PMR）头，其具有由对准的一对侧屏蔽侧向屏蔽的自对准极尖，并由上屏蔽从上面屏蔽。 侧屏蔽是通过RIE工艺由屏蔽层形成的，其特征在于产生各种蚀刻速率的掩模和气体。 蚀刻速率的差异保持了掩模内的开口尺寸，并且允许在屏蔽层内形成楔形沟槽，然后将该层分成两个屏蔽层。 然后将磁极尖端电镀在沟槽内，并且在侧屏蔽和极上方形成上屏蔽。