公开(公告)号：US20050254120A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：US11066923

申请日：2005-02-28

申请人： Christoph Zaczek ,  Birgit Kurz ,  Jens Ullmann ,  Christian Wagner

发明人： Christoph Zaczek ,  Birgit Kurz ,  Jens Ullmann ,  Christian Wagner

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02B13/14 ,  G02B13/24 ,  G02B17/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B17/0892 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70308 ,  G03F7/70566

摘要： An optical reproduction system, which can be configured for example as a catadioptric projection lens. This system includes an optical axis and a first deflection mirror, which is tilted in relation to the optical axis at a given tilt angle. One of the deflection mirrors has a ratio Rsp of the reflection coefficient Rs for s-polarised light to the reflection coefficient Rp for p-polarised light, in an incidence angle range that includes the tilt angle, of greater than one, whereas the corresponding ratio for the other deflection mirror is less than one. The deflection mirrors thus ensure that the polarization-dependant influence of the travel light remains minimal.

摘要翻译： 可以配置为例如反射折射投影透镜的光学再现系统。 该系统包括光轴和第一偏转镜，其以给定的倾斜角相对于光轴倾斜。 偏转镜中的一个具有对于s偏振光的反射系数R S s的反射系数R p S的比值R s SP与对于p的反射系数R p p 在包括倾斜角的入射角范围内的棱镜光大于1，而另一偏转镜的对应比率小于1。 因此，偏转镜确保行进光的偏振相关影响保持最小。

公开(公告)号：US20050146683A1

公开(公告)日：2005-07-07

申请号：US11052751

申请日：2005-02-09

申请人： Harry Bauer ,  Matthias Heller ,  Hans-Jochen Paul ,  Jens Ullmann ,  Patrick Scheible ,  Christoph Zaczek

发明人： Harry Bauer ,  Matthias Heller ,  Hans-Jochen Paul ,  Jens Ullmann ,  Patrick Scheible ,  Christoph Zaczek

IPC分类号： G02B1/11 ,  B05B13/02 ,  B05B15/04 ,  B05D1/32 ,  C03C17/245 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  G02B1/10 ,  G02C7/02

CPC分类号： G02B1/10 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/044 ,  C23C14/505

摘要： An optical component and a coating system for coating substrates for optical components with essentially rotationally symmetric coatings, the system having a planetary-drive system (1) that has a rotating planet carrier (2) and several planets (4), each of which carries a single substrate, that corotate both with the planet carrier and with respect to the primary carrier. In one embodiment a set of stationary first masks (20) that allow controlling the radial variation in physical film thickness is arranged between a source (8) of material situated beneath the planets and the substrates. A set of second masks that mask off evaporation angles exceeding a limiting evaporation or incidence angle (β max) for every substrate also corotate with the primary carrier (2), which allows depositing coatings having a prescribed radial film-thickness distribution and a virtually constant density of the coating material over their full radial extents for relatively low, and only slightly varying, evaporation angles.

摘要翻译： 一种用于涂覆具有基本上旋转对称涂层的光学部件的基板的光学部件和涂层系统，该系统具有行星传动系统（1），其具有旋转的行星架（2）和几个行星（4），每个行星架 单个衬底，其与行星架相关并且相对于主载体共转。 在一个实施例中，允许控制物理膜厚度的径向变化的一组固定第一掩模（20）布置在位于行星下方的材料源（8）和基板之间。 掩盖每个底物超过限制蒸发或入射角（βmax）的蒸发角度的一组第二掩模也与主载体（2）一致，这允许沉积具有规定径向膜厚度分布和实际上恒定的涂层 在完全径向范围内涂层材料的密度相对较低且仅略微变化的蒸发角度。

公开(公告)号：US20050122594A1

公开(公告)日：2005-06-09

申请号：US11029788

申请日：2005-01-05

申请人： Daniel Krahmer ,  Toralf Gruner ,  Wilhelm Ulrich ,  Birgit Enkisch ,  Michael Gerhard ,  Martin Brunotte ,  Christian Wagner ,  Winfried Kaiser ,  Manfred Maul ,  Christoph Zaczek

发明人： Daniel Krahmer ,  Toralf Gruner ,  Wilhelm Ulrich ,  Birgit Enkisch ,  Michael Gerhard ,  Martin Brunotte ,  Christian Wagner ,  Winfried Kaiser ,  Manfred Maul ,  Christoph Zaczek

IPC分类号： G02B13/24 ,  G02B1/02 ,  G02B5/30 ,  G02B17/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G02B27/28

CPC分类号： G03F7/70966 ,  G02B1/02 ,  G02B1/08 ,  G02B5/3083 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70958 ,  Y10S359/90

摘要： An objective for a microlithography projection system has at least one fluoride crystal lens. The effects of birefringence, which are detrimental to the image quality, are reduced if the lens axis of the crystal lens is oriented substantially perpendicular to the {100}-planes or {100}-equivalent crystallographic planes of the fluoride crystal. If two or more fluoride crystal lenses are used, they should have lens axes oriented in the (100)-, (111)-, or (110)-direction of the crystallographic structure, and they should be oriented at rotated positions relative to each other. The birefringence-related effects are further reduced by using groups of mutually rotated (100)-lenses in combination with groups of mutually rotated (111)- or (110)-lenses. A further improvement is also achieved by applying a compensation coating to at least one optical element of the objective.

摘要翻译： 微光刻投影系统的目的在于至少有一个氟化物晶体透镜。 如果晶体透镜的透镜轴基本上垂直于氟化物晶体的{100} - 平面或{100}等价晶面而取向，对图像质量有害的双折射效应将被降低。 如果使用两个或多个氟化物晶体透镜，它们应该具有在晶体结构的（100） - ，（111） - 或（110）方向上定向的透镜轴，并且它们应当相对于每个 其他。 通过使用相互旋转（100） - 相互组合的组相互旋转（111） - 或（110） - 相组合来进一步减少双折射相关效应。 通过对物镜的至少一个光学元件施加补偿涂层也可实现进一步的改进。

公开(公告)号：US06863398B2

公开(公告)日：2005-03-08

申请号：US10244419

申请日：2002-09-17

申请人： Harry Bauer ,  Matthias Heller ,  Hans-Jochen Paul ,  Jens Ullmann ,  Patrick Scheible ,  Christoph Zaczek

发明人： Harry Bauer ,  Matthias Heller ,  Hans-Jochen Paul ,  Jens Ullmann ,  Patrick Scheible ,  Christoph Zaczek

IPC分类号： G02B1/11 ,  B05B13/02 ,  B05B15/04 ,  B05D1/32 ,  C03C17/245 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  G02B1/10 ,  G02C7/02 ,  B05D5/06

CPC分类号： G02B1/10 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/044 ,  C23C14/505

摘要： A method for coating substrates (10) for optical components with essentially rotationally symmetric coatings employs a coating system equipped with a planetary-drive system (1) that has a rotating planet carrier (2) and several planets (4), each of which carries a single substrate, that corotate both with the planet carrier and with respect to the primary carrier. In one embodiment a set of stationary first masks (20) that allow controlling the radial variation in physical film thickness is arranged between a source (8) of material situated beneath the planets and the substrates. A set of second masks that mask off evaporation angles exceeding a limiting evaporation or incidence angle (β max) for every substrate also corotate with the primary carrier (2), which allows depositing coatings having a prescribed radial film-thickness distribution and a virtually constant density of the coating material over their full radial extents for relatively low, and only slightly varying, evaporation angles.

摘要翻译： 用于涂覆具有基本旋转对称涂层的光学部件的基板（10）的方法使用配备有行星传动系统（1）的涂层系统，行星传动系统（1）具有旋转的行星架（2）和几个行星（4），每个行星架 单个衬底，其与行星架相关并且相对于主载体共转。 在一个实施例中，允许控制物理膜厚度的径向变化的一组固定第一掩模（20）布置在位于行星下方的材料源（8）和基板之间。 掩盖每个底物超过限制蒸发或入射角（βmax）的蒸发角度的一组第二掩模也与主载体（2）一致，这允许沉积具有规定径向膜厚度分布和实际上恒定的涂层 在完全径向范围内涂层材料的密度相对较低且仅略微变化的蒸发角度。