公开(公告)号：US20050245057A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：US10837416

申请日：2004-04-30

申请人： Xiaofeng Yang ,  Sriram Ramamoorthi ,  Galen Kawamoto

发明人： Xiaofeng Yang ,  Sriram Ramamoorthi ,  Galen Kawamoto

IPC分类号： H01L27/02 ,  H01L27/118 ,  H01L21/8234

CPC分类号： H01L27/0207

摘要： This disclosure relates to misalignment-tolerant processes for fabricating multiplexing/demultiplexing architectures. One process enables fabricating a multiplexing/demultiplexing architecture at a tolerance greater than a pitch of conductive structures with which the architecture is capable of communicating. Another process can enable creation of address elements and conductive structures having substantially identical widths.

摘要翻译： 本公开涉及用于制造复用/解复用架构的不对准容错过程。 一个过程使得能够以比架构能够通信的导电结构的间距更大的公差制造复用/解复用架构。 另一个过程可以创建具有基本上相同宽度的地址元素和导电结构。

公开(公告)号：US06781146B2

公开(公告)日：2004-08-24

申请号：US09846127

申请日：2001-04-30

申请人： Zhizhang Chen ,  Michael J. Regan ,  Brian E Bolf ,  Thomas Novet ,  Paul J. Benning ,  Mark Alan Johnstone ,  Sriram Ramamoorthi

发明人： Zhizhang Chen ,  Michael J. Regan ,  Brian E Bolf ,  Thomas Novet ,  Paul J. Benning ,  Mark Alan Johnstone ,  Sriram Ramamoorthi

IPC分类号： H01L2906

CPC分类号： B82Y10/00 ,  H01J1/312 ,  H01J9/022

摘要： An emitter has an electron supply layer and a tunneling layer formed on the electron supply layer. Optionally, an insulator layer is formed on the electron supply layer and has openings defined within which the tunneling layer is formed. A cathode layer is formed on the tunneling layer to provide a surface for energy emissions of electrons and/or photons. Preferably, the emitter is subjected to an annealing process thereby increasing the supply of electrons tunneled from the electron supply layer to the cathode layer.

摘要翻译： 发射体具有形成在电子供给层上的电子供给层和隧道层。 可选地，在电子供应层上形成绝缘体层，并且具有限定在其中形成隧道层的开口。 在隧道层上形成阴极层，以提供电子和/或光子能量发射的表面。 优选地，对发射极进行退火处理，从而增加从电子供给层隧穿到阴极层的电子的供应。

公开(公告)号：US06758711B2

公开(公告)日：2004-07-06

申请号：US09881981

申请日：2001-06-14

申请人： Zhizhang Chen ,  Ronald L. Enck ,  Sriram Ramamoorthi ,  Qin Liu

发明人： Zhizhang Chen ,  Ronald L. Enck ,  Sriram Ramamoorthi ,  Qin Liu

IPC分类号： H01J900

CPC分类号： H01J3/02 ,  B82Y10/00 ,  H01J1/30 ,  H01J1/312 ,  H01J3/021 ,  H01J9/022 ,  H01J2237/1205

摘要： A method for creating an electron lens includes the steps of applying a polymer layer on an emitter surface of an electron emitter and then curing the polymer layer to reduce volatile content.

公开(公告)号：US06703252B2

公开(公告)日：2004-03-09

申请号：US10066149

申请日：2002-01-31

申请人： Zhizhang Chen ,  Paul J Benning ,  Sriram Ramamoorthi ,  Thomas Novet

发明人： Zhizhang Chen ,  Paul J Benning ,  Sriram Ramamoorthi ,  Thomas Novet

IPC分类号： H01L2166

CPC分类号： B82Y10/00 ,  G11C11/23 ,  H01J1/312 ,  H01J9/025

摘要： A method is disclosed for creating an emitter having a flat cathode emission surface: First a protective layer that is conductive is formed on the flat cathode emission surface. Then an electronic lens structure is created over the protective layer. Finally, the protective layer is etched to expose the flat cathode emission surface.

摘要翻译： 公开了一种用于产生具有平坦的阴极发射表面的发射体的方法：首先在平坦的阴极发射表面上形成导电的保护层。 然后在保护层上形成电子透镜结构。 最后，蚀刻保护层以暴露平坦的阴极发射表面。