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公开(公告)号：US08679356B2
公开(公告)日：2014-03-25
申请号：US13111657
申请日：2011-05-19
IPC分类号： B44C1/22
CPC分类号： G11B5/855
摘要： A method of patterning a substrate, comprises patterning a photoresist layer disposed on the substrate using imprint lithography and etching exposed portions of a hard mask layer disposed between the patterned photoresist layer and the substrate. The method may also comprise implanting ions into a magnetic layer in the substrate while the etched hard mask layer is disposed thereon.
摘要翻译： 图案化衬底的方法包括使用压印光刻图案化设置在衬底上的光致抗蚀剂层，并蚀刻设置在图案化的光致抗蚀剂层和衬底之间的硬掩模层的暴露部分。 该方法还可以包括将离子注入到衬底中的磁性层中，同时将蚀刻的硬掩模层设置在其上。
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公开(公告)号：US09093104B2
公开(公告)日：2015-07-28
申请号：US13342762
申请日：2012-01-03
CPC分类号： G11B5/855
摘要： A novel technique for manufacturing bit patterned media is disclosed. In one particular exemplary embodiment, the technique may be realized as a method for manufacturing bit pattern media. The technique, which may be realized as a method comprising: forming a non-catalysis region on a first portion of a catalysis layer; forming a non-magnetic separator on the non-catalysis region; and forming a magnetic active region on a second portion of the catalysis layer adjacent to the first portion of the catalysis layer.
摘要翻译： 公开了一种用于制造位图案化介质的新型技术。 在一个特定的示例性实施例中，该技术可以被实现为用于制造钻头图案介质的方法。 该技术可以被实现为一种方法，包括：在催化层的第一部分上形成非催化区; 在非催化区上形成非磁性分离器; 以及在催化层的与催化层的第一部分相邻的第二部分上形成磁性活性区域。
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公开(公告)号：US20120280442A1
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：US13101280
申请日：2011-05-05
申请人： Richard J. Hertel , Julian G. Blake , Edward D. MacIntosh , Alexander C. Kontos , Frank Sinclair , Christopher A. Rowland , Mayur Jagtap , Sankar Ganesh Kolappan
发明人： Richard J. Hertel , Julian G. Blake , Edward D. MacIntosh , Alexander C. Kontos , Frank Sinclair , Christopher A. Rowland , Mayur Jagtap , Sankar Ganesh Kolappan
CPC分类号： H01L21/68771 , G11B23/0021 , G11B23/0317 , G11B23/0327
摘要： A media carrier, adapted to hold a plurality of pieces of magnetic media, is disclosed. This media carrier can be placed on the workpiece support, or platen, allowing the magnetic media to be processed. In some embodiments, the media carrier is designed such that only one side of the magnetic media is exposed, requiring a robot or other equipment to invert each piece of media in the carrier to process the second side. In other embodiments, the media carrier is designed such that both sides of the magnetic media are exposed. In this scenario, the media carrier is inverted on the platen to allow processing of the second side.
摘要翻译： 公开了适于容纳多个磁性介质的介质载体。 该介质载体可以放置在工件支撑件或压板上，允许磁性介质被处理。 在一些实施例中，介质载体被设计成使得只有磁性介质的一侧被暴露，需要机器人或其他设备来反转载体中的每个介质以处理第二侧。 在其他实施例中，介质载体被设计成使得磁性介质的两侧都被暴露。 在这种情况下，媒体载体在压板上反转，以允许处理第二面。
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公开(公告)号：US20120292285A1
公开(公告)日：2012-11-22
申请号：US13111657
申请日：2011-05-19
CPC分类号： G11B5/855
摘要： A method of patterning a substrate, comprises patterning a photoresist layer disposed on the substrate using imprint lithography and etching exposed portions of a hard mask layer disposed between the patterned photoresist layer and the substrate. The method may also comprise implanting ions into a magnetic layer in the substrate while the etched hard mask layer is disposed thereon.
摘要翻译： 图案化衬底的方法包括使用压印光刻图案化设置在衬底上的光致抗蚀剂层，并蚀刻设置在图案化的光致抗蚀剂层和衬底之间的硬掩模层的暴露部分。 该方法还可以包括将离子注入到衬底中的磁性层中，同时将蚀刻的硬掩模层设置在其上。
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公开(公告)号：US20120175342A1
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：US13342762
申请日：2012-01-03
CPC分类号： G11B5/855
摘要： A novel, technique: for manufacturing bit patterned media is disclosed. In one particular exemplary embodiment, the technique may be realized as a method for manufacturing hit pattern media. The technique, which may be realized as a method comprising: forming a non-catalysis region on a first portion of a catalysis layer; forming a non-magnetic separator on the non-catalysis region; and forming a magnetic active region on it second portion of the catalysis layer adjacent to the first portion of the catalysis layer.
摘要翻译： 公开了一种新颖的技术：用于制造位图案的介质。 在一个特定的示例性实施例中，该技术可以被实现为用于制造命中图案媒体的方法。 该技术可以被实现为一种方法，包括：在催化层的第一部分上形成非催化区; 在非催化区上形成非磁性分离器; 以及在催化层的与催化层的第一部分相邻的第二部分上形成磁性活性区域。
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