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    Multi-axis capacitive transducer and manufacturing method for producing it
    1.
    发明授权
    Multi-axis capacitive transducer and manufacturing method for producing it 有权
    多轴电容式换能器及其制造方法

    公开(公告)号：US07712366B2

    公开(公告)日：2010-05-11

    申请号：US11628899

    申请日：2005-05-27

    申请人： Felix Beyeler ,  Bradley J. Nelson ,  Yu Sun

    发明人： Felix Beyeler ,  Bradley J. Nelson ,  Yu Sun

    IPC分类号： G01P15/125

    CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18

    摘要： A capacitive transducer a first part containing a first set of capacitor plates and a second part relatively movable in a plane to the first part. The second part contains a second set of capacitor plates. Both sets of capacitor plates are built on a substrate, wherein the capacitor plates form a plurality of capacitors. The second part is relatively movable in all six degrees of freedom. One set of the plurality of capacitors measures displacements in a plane and a second set of the plurality capacitors measures displacements perpendicular to the plane.

    摘要翻译： 电容换能器，第一部分包含第一组电容器板和可在平面中相对移动到第一部分的第二部分。 第二部分包含第二组电容器板。 两组电容器板构建在基板上，其中电容器板形成多个电容器。 第二部分在所有六个自由度上相对移动。 一组多个电容器测量平面中的位移，并且多个电容器的第二组测量垂直于该平面的位移。

    Multi-axis capacitive transducer and manufacturing method for producing it
    2.
    发明申请
    Multi-axis capacitive transducer and manufacturing method for producing it 有权
    多轴电容式换能器及其制造方法

    公开(公告)号：US20090007668A1

    公开(公告)日：2009-01-08

    申请号：US11628899

    申请日：2005-05-27

    申请人： Felix Beyeler ,  Bradley J. Nelson ,  Yu Sun

    发明人： Felix Beyeler ,  Bradley J. Nelson ,  Yu Sun

    IPC分类号： G01P15/125 ,  B32B37/02

    CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18

    摘要： A capacitive transducer a first part containing a first set of capacitor plates and a second part relatively movable in a plane to the first part. The second part contains a second set of capacitor plates. Both sets of capacitor plates are built on a substrate, wherein the capacitor plates form a plurality of capacitors. The second part is relatively movable in all six degrees of freedom. One set of the plurality of capacitors measures displacements in a plane and a second set of the plurality capacitors measures displacements perpendicular to the plane.

    摘要翻译： 电容换能器，第一部分包含第一组电容器板和可在平面中相对移动到第一部分的第二部分。 第二部分包含第二组电容器板。 两组电容器板构建在基板上，其中电容器板形成多个电容器。 第二部分在所有六个自由度上相对移动。 一组多个电容器测量平面中的位移，并且多个电容器的第二组测量垂直于该平面的位移。

    MICRO FORCE SENSOR PACKAGE FOR SUB-MILLINEWTON ELECTROMECHANICAL MEASUREMENTS
    4.
    发明申请
    MICRO FORCE SENSOR PACKAGE FOR SUB-MILLINEWTON ELECTROMECHANICAL MEASUREMENTS 审中-公开
    微型力传感器包装用于亚美尼电子电气测量

    公开(公告)号：US20120018821A1

    公开(公告)日：2012-01-26

    申请号：US13262295

    申请日：2010-01-04

    申请人： Felix Beyeler

    发明人： Felix Beyeler

    IPC分类号： H01L29/84

    CPC分类号： G01L1/148

    摘要： A force sensor package includes the following main parts: a MEMS force sensor, an interface circuit converting a change of capacitance into an analog or digital sensor output signal, and a substrate on which the MEMS force sensor and the IC are attached. The interface circuit is a die in order to minimize the size of the force sensor. The MEMS force sensor and the interface circuit are attached to the substrate by an adhesive, e.g. glue. Electrical contacts are then realized by wire-bonding. Alternatively, the two parts may also be attached to the substrate by a flip-chip process using solder. A protective cover may be placed over the assembly.

    摘要翻译： 力传感器封装包括以下主要部分：MEMS力传感器，将电容变化转换为模拟或数字传感器输出信号的接口电路，以及附接有MEMS力传感器和IC的基板。 接口电路是模具，以便最小化力传感器的尺寸。 MEMS力传感器和界面电路通过粘合剂例如粘合剂附着到基底上。 胶。 然后通过引线接合实现电接触。 或者，两个部分也可以通过使用焊料的倒装工艺附着到基板上。 保护盖可以放置在组件上。