Material structure in scribe line and method of separating chips
    1.
    发明授权
    Material structure in scribe line and method of separating chips 有权
    划线中的材料结构和分离芯片的方法

    公开(公告)号:US08531008B2

    公开(公告)日:2013-09-10

    申请号:US12952403

    申请日:2010-11-23

    IPC分类号: H01L23/544

    摘要: A method for manufacturing a chip is disclosed. The method comprises forming a material structure in a kerf adjacent the chip on a wafer. The method further comprises selectively removing the material structure in the kerf and dicing the wafer.A semiconductor wafer is disclosed. The semiconductor wafer comprises a plurality of chips and a plurality of kerfs. The kerfs separate the chips from each other. At least one kerf comprises a kerf framing. The kerf framing is arranged directly adjacent a side of the at least on chip.

    摘要翻译: 公开了一种制造芯片的方法。 该方法包括在晶片上的芯片附近的切口中形成材料结构。 该方法还包括选择性地去除切口中的材料结构并切割晶片。 公开了半导体晶片。 半导体晶片包括多个芯片和多个切口。 切口将芯片彼此分开。 至少一个切口包括切口框架。 切屑框架直接布置在至少芯片上的一侧。

    Material Structure in Scribe Line and Method of Separating Chips
    4.
    发明申请
    Material Structure in Scribe Line and Method of Separating Chips 有权
    划线中的材料结构和分离芯片的方法

    公开(公告)号:US20120126228A1

    公开(公告)日:2012-05-24

    申请号:US12952403

    申请日:2010-11-23

    IPC分类号: H01L23/544 H01L21/78

    摘要: A method for manufacturing a chip is disclosed. The method comprises forming a material structure in a kerf adjacent the chip on a wafer. The method further comprises selectively removing the material structure in the kerf and dicing the wafer.A semiconductor wafer is disclosed. The semiconductor wafer comprises a plurality of chips and a plurality of kerfs. The kerfs separate the chips from each other. At least one kerf comprises a kerf framing. The kerf framing is arranged directly adjacent a side of the at least on chip.

    摘要翻译: 公开了一种制造芯片的方法。 该方法包括在晶片上的芯片附近的切口中形成材料结构。 该方法还包括选择性地去除切口中的材料结构并切割晶片。 公开了半导体晶片。 半导体晶片包括多个芯片和多个切口。 切口将芯片彼此分开。 至少一个切口包括切口框架。 切屑框架直接布置在至少芯片上的一侧。