公开(公告)号：US07708854B2

公开(公告)日：2010-05-04

申请号：US10729882

申请日：2003-12-05

申请人： Werner Kröninger ,  Günter Lang

发明人： Werner Kröninger ,  Günter Lang

IPC分类号： B32B38/10 ,  B32B37/10 ,  B32B7/12

CPC分类号： B24B37/30 ,  B23Q3/084 ,  B23Q3/086 ,  B23Q3/088 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68318 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68381 ,  Y10S156/93 ,  Y10S438/977 ,  Y10T156/1111 ,  Y10T156/1116 ,  Y10T156/1978 ,  Y10T428/249982

摘要： Explained, inter alia, is a method in which a workpiece (52) to be processed is fastened to a work carrier (10) by means of a solid (62). The work carrier (10) is made of a porous material, e.g. of porous ceramic. This processing method permits simple manipulation of the wafer during the processing. In addition, the workpiece (52) can be easily separated from the work carrier (10) using a solvent.

摘要翻译： 特别地，解释了将待处理工件（52）借助于固体（62）固定在工作载体（10）上的方法。 工作载体（10）由多孔材料制成，例如， 的多孔陶瓷。 该处理方法允许在处理期间简单地操纵晶片。 此外，工件（52）可以容易地使用溶剂与工作载体（10）分离。

公开(公告)号：US06972069B2

公开(公告)日：2005-12-06

申请号：US10403877

申请日：2003-03-31

申请人： Franz Hecht ,  Werner Kröninger ,  Melanie Lutzke

发明人： Franz Hecht ,  Werner Kröninger ,  Melanie Lutzke

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/683 ,  B29C65/48 ,  G11B7/24 ,  G11B7/26

CPC分类号： H01L21/67132 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6838

摘要： A device for connecting two wafers in a planar manner for grinding down and cutting up a product wafer has a vacuum chamber, a chuck for receiving a carrier wafer, a heating device for heating up the chuck and a vacuum-chamber cover with a vacuum-holding device, on which a product wafer can be arranged suspended above the carrier wafer. After the evacuation of the vacuum chamber, the active surface of the product wafer is dropped onto a double-sided adhesive film on the carrier wafer and is pressed into place by the rising pressure during air admission. The result is that the wafers are connected together.

摘要翻译： 以平面方式连接两个晶片以用于研磨和切割产品晶片的装置具有真空室，用于接收载体晶片的卡盘，用于加热卡盘的加热装置和具有真空室盖的真空室盖， 保持装置，其上可以布置悬浮在载体晶片上方的产品晶片。 在真空室抽真空之后，将产品晶片的活性表面滴落到载体晶片上的双面粘合膜上，并在空气进入期间通过上升的压力被压入到位。 结果是将晶片连接在一起。

公开(公告)号：USRE42980E1

公开(公告)日：2011-11-29

申请号：US12798150

申请日：2010-03-29

申请人： Werner Kröninger ,  Manfred Schneegans

发明人： Werner Kröninger ,  Manfred Schneegans

IPC分类号： G03C11/12 ,  G03F7/34 ,  G03F7/42 ,  G03F7/16

CPC分类号： G03F7/32 ,  G03F7/16 ,  G03F7/161 ,  G03F7/34

摘要： A method in which a resist layer is applied to a base layer is disclosed. The resist layer includes an adhesive material, and the adhesive force of the adhesive material decreases or increases during an irradiation process. Residues of the resist layer may be stripped using the disclosed method.

摘要翻译： 公开了将抗蚀剂层施加到基底层的方法。 抗蚀剂层包括粘合剂材料，并且粘合剂材料的粘合力在照射过程中降低或增加。 可以使用所公开的方法剥离抗蚀剂层的残留物。

公开(公告)号：US08357588B2

公开(公告)日：2013-01-22

申请号：US13032618

申请日：2011-02-22

申请人： Stephen Bradl ,  Walther Grommes ,  Werner Kröninger ,  Michael Melzl ,  Josef Schwaiger ,  Thilo Stache

发明人： Stephen Bradl ,  Walther Grommes ,  Werner Kröninger ,  Michael Melzl ,  Josef Schwaiger ,  Thilo Stache

IPC分类号： H01L21/30

CPC分类号： H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/141 ,  Y10S438/977 ,  Y10T29/49998

摘要： A workpiece machining method includes attaching a workpiece to a workpiece support with the aid of joining means. The workpiece and the workpiece support are joined to one another by an annular joining means. The composite produced is machined. The machined workpiece is separated from the workpiece support.

摘要翻译： 工件加工方法包括借助于接合装置将工件附接到工件支撑件。 工件和工件支撑件通过环形连接装置相互连接。 生产的复合材料被加工。 加工的工件与工件支架分离。

公开(公告)号：US07351514B2

公开(公告)日：2008-04-01

申请号：US11156405

申请日：2005-06-20

申请人： Werner Kröninger ,  Manfred Schneegans

发明人： Werner Kröninger ,  Manfred Schneegans

IPC分类号： G03C11/12 ,  G03F7/34 ,  G03F7/42 ,  G03F7/16

CPC分类号： G03F7/32 ,  G03F7/16 ,  G03F7/161 ,  G03F7/34

摘要： A method in which a resist layer is applied to a base layer is disclosed. The resist layer includes an adhesive material, and the adhesive force of the adhesive material decreases or increases during an irradiation process. Residues of the resist layer may be stripped using the disclosed method.

摘要翻译： 公开了将抗蚀剂层施加到基底层的方法。 抗蚀剂层包括粘合剂材料，并且粘合剂材料的粘合力在照射过程中降低或增加。 可以使用所公开的方法剥离抗蚀剂层的残留物。

公开(公告)号：US20110232074A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：US13032618

申请日：2011-02-22

申请人： Stephen Bradl ,  Walther Grommes ,  Werner Kröninger ,  Michael Melzl ,  Josef Schwaiger ,  Thilo Stache

发明人： Stephen Bradl ,  Walther Grommes ,  Werner Kröninger ,  Michael Melzl ,  Josef Schwaiger ,  Thilo Stache

IPC分类号： B23Q7/00

CPC分类号： H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/141 ,  Y10S438/977 ,  Y10T29/49998

摘要： A workpiece machining method includes attaching a workpiece to a workpiece support with the aid of joining means. The workpiece and the workpiece support are joined to one another by an annular joining means. The composite produced is machined. The machined workpiece is separated from the workpiece support.

摘要翻译： 工件加工方法包括借助于接合装置将工件附接到工件支撑件。 工件和工件支撑件通过环形连接装置相互连接。 生产的复合材料被加工。 加工的工件与工件支架分离。

公开(公告)号：US07892947B2

公开(公告)日：2011-02-22

申请号：US11580707

申请日：2006-10-13

申请人： Stephen Bradl ,  Walther Grommes ,  Werner Kröninger ,  Michael Melzl ,  Josef Schwaiger ,  Thilo Stache

发明人： Stephen Bradl ,  Walther Grommes ,  Werner Kröninger ,  Michael Melzl ,  Josef Schwaiger ,  Thilo Stache

IPC分类号： H01L21/30

CPC分类号： H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/141 ,  Y10S438/977 ,  Y10T29/49998

摘要： A workpiece machining method includes attaching a workpiece to a workpiece support with the aid of joining means. The workpiece and the workpiece support are joined to one another by an annular joining means. The composite produced is machined. The machined workpiece is separated from the workpiece support.

摘要翻译： 工件加工方法包括借助于接合装置将工件附接到工件支撑件。 工件和工件支撑件通过环形连接装置相互连接。 生产的复合材料被加工。 加工的工件与工件支架分离。

公开(公告)号：US06973205B2

公开(公告)日：2005-12-06

申请号：US10067176

申请日：2002-02-04

申请人： Manfred Frank ,  Werner Kröninger ,  Renate Köpnick ,  Richard Hummel ,  Reinhard Fischbach ,  Heinz Opolka

发明人： Manfred Frank ,  Werner Kröninger ,  Renate Köpnick ,  Richard Hummel ,  Reinhard Fischbach ,  Heinz Opolka

IPC分类号： G01B7/28 ,  A61B5/1172 ,  C10M107/38 ,  C10M107/50 ,  C10M173/00 ,  G06K9/00 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31

CPC分类号： G06K9/0002 ,  A61B5/1172 ,  C10M101/02 ,  C10M107/38 ,  C10M107/50 ,  C10M127/02 ,  C10M129/08 ,  C10M129/40 ,  C10M133/06 ,  C10M159/06 ,  C10M173/00 ,  C10M2201/02 ,  C10M2203/02 ,  C10M2203/022 ,  C10M2203/024 ,  C10M2203/04 ,  C10M2203/1006 ,  C10M2203/1025 ,  C10M2203/1045 ,  C10M2203/1065 ,  C10M2203/1085 ,  C10M2205/14 ,  C10M2205/16 ,  C10M2205/17 ,  C10M2207/022 ,  C10M2207/023 ,  C10M2207/125 ,  C10M2207/126 ,  C10M2207/129 ,  C10M2211/06 ,  C10M2213/00 ,  C10M2213/02 ,  C10M2213/04 ,  C10M2213/06 ,  C10M2213/062 ,  C10M2215/04 ,  C10M2215/26 ,  C10N2250/02

摘要： To increase the scratch resistance of a surface passivation, in particular, for fingerprint sensors, a antifrictional layer is applied to reduce the shearing forces. The antifrictional layer includes fat, oil, surfactants and/or wax. The antifrictional layer is preferably an emulsion including water, paraffin oil, propylene glycol, stearic acid, palmitic acid, TEA, beeswax, carbormer 954, methylparaben, propylparaben and possibly perfume.

摘要翻译： 为了增加表面钝化的耐擦伤性，特别是对于指纹传感器，应用抗摩擦层以减少剪切力。 抗磨层包括脂肪，油，表面活性剂和/或蜡。 抗摩擦层优选是包括水，石蜡油，丙二醇，硬脂酸，棕榈酸，TEA，蜂蜡，卡波姆954，对羟基苯甲酸甲酯，对羟基苯甲酸丙酯和可能的香料的乳液。