公开(公告)号：US20150126653A1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：US14595028

申请日：2015-01-12

申请人： Ligui Zhou ,  Richard A. Spear ,  Roger Yu-Kwan Leung ,  Wenya Fan ,  Helen X. Xu ,  Lea M. Metin ,  Anil Shriram Bhanap

发明人： Ligui Zhou ,  Richard A. Spear ,  Roger Yu-Kwan Leung ,  Wenya Fan ,  Helen X. Xu ,  Lea M. Metin ,  Anil Shriram Bhanap

IPC分类号： C09D11/02 ,  C08K5/5419 ,  C09D11/10

CPC分类号： C09D11/02 ,  C08K5/5419 ,  C09D11/03 ,  C09D11/10 ,  C09D11/38 ,  C09D11/52 ,  H01L21/2225

摘要： Dopant ink compositions for forming doped regions in semiconductor substrates and methods for fabricating dopant ink compositions are provided. In an exemplary embodiment, a dopant ink composition comprises a dopant compound including at least one alkyl group bonded to a Group 13 element. Further, the dopant ink composition includes a silicon-containing compound.

摘要翻译： 提供了用于在半导体衬底中形成掺杂区域的掺杂剂油墨组合物和用于制造掺杂剂油墨组合物的方法。 在示例性实施方案中，掺杂剂油墨组合物包含包含至少一个与第13族元素键合的烷基的掺杂剂化合物。 此外，掺杂剂油墨组合物包含含硅化合物。

公开(公告)号：US08629294B2

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：US13217597

申请日：2011-08-25

申请人： Richard A. Spear ,  Edward W. Rutter, Jr. ,  Lea M. Metin ,  Helen X. Xu

发明人： Richard A. Spear ,  Edward W. Rutter, Jr. ,  Lea M. Metin ,  Helen X. Xu

IPC分类号： C07F5/04

CPC分类号： C07F7/04

摘要： Borate esters, boron-comprising dopants, and methods of fabricating boron-comprising dopants are provided herein. In an embodiment, a borate ester comprises boron and silicon wherein the boron is linked to the silicon by alkyl groups that are bonded via ester bonds with both the boron and the silicon. A method of fabricating a boron-comprising dopant comprises providing a borate and transesterifying the borate using a polyol-substituted silicon monomer.

摘要翻译： 本文提供硼酸酯，含硼掺杂剂和制备含硼掺杂剂的方法。 在一个实施方案中，硼酸酯包括硼和硅，其中硼通过与硼和硅两者通过酯键键合的烷基连接到硅。 制备含硼掺杂剂的方法包括使用多元醇取代的硅单体提供硼酸盐并使硼酸酯酯交换。

公开(公告)号：US20130048918A1

公开(公告)日：2013-02-28

申请号：US13217597

申请日：2011-08-25

申请人： Richard A. Spear ,  Edward W. Rutter, JR. ,  Lea M. Metin ,  Helen X. Xu

发明人： Richard A. Spear ,  Edward W. Rutter, JR. ,  Lea M. Metin ,  Helen X. Xu

IPC分类号： H01B1/12 ,  C07F7/02

CPC分类号： C07F7/04

摘要： Borate esters, boron-comprising dopants, and methods of fabricating boron-comprising dopants are provided herein. In an embodiment, a borate ester comprises boron and silicon wherein the boron is linked to the silicon by alkyl groups that are bonded via ester bonds with both the boron and the silicon. A method of fabricating a boron-comprising dopant comprises providing a borate and transesterifying the borate using a polyol-substituted silicon monomer.

摘要翻译： 本文提供硼酸酯，含硼掺杂剂和制备含硼掺杂剂的方法。 在一个实施方案中，硼酸酯包括硼和硅，其中硼通过与硼和硅两者通过酯键键合的烷基连接到硅。 制备含硼掺杂剂的方法包括使用多元醇取代的硅单体提供硼酸盐并使硼酸酯酯交换。

公开(公告)号：US08975170B2

公开(公告)日：2015-03-10

申请号：US13280077

申请日：2011-10-24

申请人： Ligui Zhou ,  Richard A. Spear ,  Roger Yu-Kwan Leung ,  Wenya Fan ,  Helen X. Xu ,  Lea M. Metin ,  Anil Shriram Bhanap

发明人： Ligui Zhou ,  Richard A. Spear ,  Roger Yu-Kwan Leung ,  Wenya Fan ,  Helen X. Xu ,  Lea M. Metin ,  Anil Shriram Bhanap

IPC分类号： H01L21/22 ,  C09D11/03 ,  C09D11/38 ,  C09D11/52

CPC分类号： C09D11/02 ,  C08K5/5419 ,  C09D11/03 ,  C09D11/10 ,  C09D11/38 ,  C09D11/52 ,  H01L21/2225

摘要： Dopant ink compositions for forming doped regions in semiconductor substrates and methods for fabricating dopant ink compositions are provided. In an exemplary embodiment, a dopant ink composition comprises a dopant compound including at least one alkyl group bonded to a Group 13 element or a Group 15 element. Further, the dopant ink composition includes a silicon-containing compound.

摘要翻译： 提供了用于在半导体衬底中形成掺杂区域的掺杂剂油墨组合物和用于制造掺杂剂油墨组合物的方法。 在示例性实施方案中，掺杂剂油墨组合物包含掺杂剂化合物，其包括至少一个与第13族元素或第15族元素键合的烷基。 此外，掺杂剂油墨组合物包含含硅化合物。

公开(公告)号：US20130098266A1

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：US13280077

申请日：2011-10-24

申请人： Ligui Zhou ,  Richard A. Spear ,  Roger Yu-Kwan Leung ,  Wenya Fan ,  Helen X. Xu ,  Lea M. Metin ,  Anil Shriram Bhanap

发明人： Ligui Zhou ,  Richard A. Spear ,  Roger Yu-Kwan Leung ,  Wenya Fan ,  Helen X. Xu ,  Lea M. Metin ,  Anil Shriram Bhanap

IPC分类号： C09D11/02

CPC分类号： C09D11/02 ,  C08K5/5419 ,  C09D11/03 ,  C09D11/10 ,  C09D11/38 ,  C09D11/52 ,  H01L21/2225

摘要： Dopant ink compositions for forming doped regions in semiconductor substrates and methods for fabricating dopant ink compositions are provided. In an exemplary embodiment, a dopant ink composition comprises a dopant compound including at least one alkyl group bonded to a Group 13 element or a Group 15 element. Further, the dopant ink composition includes a silicon-containing compound.

摘要翻译： 提供了用于在半导体衬底中形成掺杂区域的掺杂剂油墨组合物和用于制造掺杂剂油墨组合物的方法。 在示例性实施方案中，掺杂剂油墨组合物包含掺杂剂化合物，其包括至少一个与第13族元素或第15族元素键合的烷基。 此外，掺杂剂油墨组合物包含含硅化合物。