公开(公告)号：US06853075B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US10353756

申请日：2003-01-28

申请人： Gregory W. Auner ,  Ratna Naik ,  Simon Ng ,  Gary W. Abrams ,  James Patrick McCallister ,  Raymond Iezzi

发明人： Gregory W. Auner ,  Ratna Naik ,  Simon Ng ,  Gary W. Abrams ,  James Patrick McCallister ,  Raymond Iezzi

IPC分类号： B23K35/36 ,  G01N29/02 ,  G01N29/24 ,  G01N29/34 ,  G11B5/855 ,  H01F1/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/205 ,  H01L21/44 ,  H01L23/48 ,  H01L31/00 ,  H01L51/00 ,  H01L51/10

CPC分类号： B23K35/36 ,  A61F9/08 ,  A61F2002/30701 ,  A61F2002/3084 ,  A61F2002/3097 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G11B5/855 ,  H01F1/009 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02378 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/0259 ,  H01L21/02631 ,  H01L51/0595 ,  H01L51/102 ,  Y10S977/816 ,  Y10S977/889

摘要： A self-assembled nanobump array structure including a semi-absorbing outer layer provided on at least one nanobump-forming substrate layer, the semi-absorbing outer layer configured to ablate slowly to allow an applied laser energy to be transmitted to the at least one nanobump-forming substrate layer, in which the self-assembled nanobump array structure is formed by an energy and a pressure buildup occurring in the at least one nanobump-forming substrate layer.

摘要翻译： 一种自组装纳豆块阵列结构，包括设置在至少一个纳米块形成衬底层上的半吸收外层，所述半吸收外层被配置为缓慢烧蚀以允许所施加的激光能量传递到所述至少一个纳米块 其中通过在所述至少一个纳米块形成衬底层中发生的能量和压力积聚形成所述自组装纳豆块阵列结构。