公开(公告)号：US20130210190A1

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：US13486079

申请日：2012-06-01

申请人： Edward TENG ,  Ying-Chen CHAO ,  Chih-Jen YANG ,  Kuo-Jui HSIAO

发明人： Edward TENG ,  Ying-Chen CHAO ,  Chih-Jen YANG ,  Kuo-Jui HSIAO

IPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/34

CPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/185 ,  C23C14/24 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/505 ,  H01L21/02104 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/28194 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/67155 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0326 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming a solar cell. The apparatus includes a housing defining a vacuum chamber and a rotatable substrate apparatus configured to hold a plurality of substrates on a plurality of surfaces wherein each of the plurality of surfaces are disposed facing an interior surface of the vacuum chamber. A first sputtering source is configured to deposit a plurality of absorber layer atoms of a first type over at least a portion of a surface of each one of the plurality of substrates. An evaporation source is disposed in a first subchamber of the vacuum chamber and configured to deposit a plurality of absorber layer atoms of a second type over at least a portion of the surface of each one of the plurality of substrates. A first isolation source is configured to isolate the evaporation source from the first sputtering source.

摘要翻译： 一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 该装置包括限定真空室的壳体和被配置为将多个基板保持在多个表面上的可旋转基板装置，其中多个表面中的每一个面向真空室的内表面设置。 第一溅射源被配置为在多个基板中的每个基板的表面的至少一部分上沉积第一类型的多个吸收层原子。 蒸发源设置在真空室的第一子室中并且被配置为在多个基板中的每一个的表面的至少一部分上沉积第二类型的多个吸收层原子。 第一隔离源被配置为将蒸发源与第一溅射源隔离。

公开(公告)号：US08785235B2

公开(公告)日：2014-07-22

申请号：US13486079

申请日：2012-06-01

申请人： Edward Teng ,  Ying-Chen Chao ,  Chih-Jen Yang ,  Kuo-Jui Hsiao

发明人： Edward Teng ,  Ying-Chen Chao ,  Chih-Jen Yang ,  Kuo-Jui Hsiao

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L31/0264 ,  H01L21/02 ,  H01L21/28

CPC分类号： H01L31/18 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/185 ,  C23C14/24 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/505 ,  H01L21/02104 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/28194 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/67155 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0326 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming a solar cell. The apparatus includes a housing defining a vacuum chamber and a rotatable substrate apparatus configured to hold a plurality of substrates on a plurality of surfaces wherein each of the plurality of surfaces are disposed facing an interior surface of the vacuum chamber. A first sputtering source is configured to deposit a plurality of absorber layer atoms of a first type over at least a portion of a surface of each one of the plurality of substrates. An evaporation source is disposed in a first subchamber of the vacuum chamber and configured to deposit a plurality of absorber layer atoms of a second type over at least a portion of the surface of each one of the plurality of substrates. A first isolation source is configured to isolate the evaporation source from the first sputtering source.

摘要翻译： 一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 该装置包括限定真空室的壳体和被配置为将多个基板保持在多个表面上的可旋转基板装置，其中多个表面中的每一个面向真空室的内表面设置。 第一溅射源被配置成在多个基板中的每个基板的表面的至少一部分上沉积第一类型的多个吸收层原子。 蒸发源设置在真空室的第一子室中并且被配置为在多个基板中的每一个的表面的至少一部分上沉积第二类型的多个吸收层原子。 第一隔离源被配置为将蒸发源与第一溅射源隔离。