公开(公告)号：US07394073B2

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：US11336466

申请日：2006-01-20

申请人： James J. Cummings ,  Joseph Olson ,  Arthur H. Clough ,  Eric Hermanson ,  Rosario Mollica ,  Paul J. Murphy ,  Mark Donahue

发明人： James J. Cummings ,  Joseph Olson ,  Arthur H. Clough ,  Eric Hermanson ,  Rosario Mollica ,  Paul J. Murphy ,  Mark Donahue

IPC分类号： G01K1/08

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01B15/00 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31703

摘要： An angle measurement system for an ion beam includes a flag defining first and second features, wherein the second feature has a variable spacing from the first feature, a mechanism to translate the flag along a translation path so that the flag intercepts at least a portion of the ion beam, and a sensing device to detect the ion beam for different flag positions along the translation path and produce a sensor signal in response to the detected ion beam. The sensor signal and corresponding positions of the flag are representative of a vertical beam angle of the ion beam in a vertical plane. The sensing device may include a mask and a mechanism to translate the mask in order to define a beam current sensor on a portion of an associated Faraday sensor.

摘要翻译： 用于离子束的角度测量系统包括限定第一和第二特征的标志，其中第二特征具有与第一特征可变的间隔，沿着平移路径平移标记的机构，使得标记截取至少一部分 离子束和感测装置，用于检测沿着平移路径的不同标志位置的离子束，并响应于检测到的离子束产生传感器信号。 传感器信号和标志的对应位置代表离子束在垂直平面中的垂直波束角。 感测装置可以包括掩模和用于平移掩模以便在相关法拉第传感器的一部分上限定束流传感器的机构。

公开(公告)号：US20060289798A1

公开(公告)日：2006-12-28

申请号：US11336466

申请日：2006-01-20

申请人： James Cummings ,  Joseph Olson ,  Arthur Clough ,  Eric Hermanson ,  Rosario Mollica ,  Paul Murphy ,  Mark Donahue

发明人： James Cummings ,  Joseph Olson ,  Arthur Clough ,  Eric Hermanson ,  Rosario Mollica ,  Paul Murphy ,  Mark Donahue

IPC分类号： H01J37/08

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01B15/00 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31703

摘要： An angle measurement system for an ion beam includes a flag defining first and second features, wherein the second feature has a variable spacing from the first feature, a mechanism to translate the flag along a translation path so that the flag intercepts at least a portion of the ion beam, and a sensing device to detect the ion beam for different flag positions along the translation path and produce a sensor signal in response to the detected ion beam. The sensor signal and corresponding positions of the flag are representative of a vertical beam angle of the ion beam in a vertical plane. The sensing device may include a mask and a mechanism to translate the mask in order to define a beam current sensor on a portion of an associated Faraday sensor.

摘要翻译： 用于离子束的角度测量系统包括限定第一和第二特征的标志，其中第二特征具有与第一特征可变的间隔，沿着平移路径平移标记的机构，使得标记截取至少一部分 离子束和感测装置，用于检测沿着平移路径的不同标志位置的离子束，并响应于检测到的离子束产生传感器信号。 传感器信号和标志的对应位置代表离子束在垂直平面中的垂直波束角。 感测装置可以包括掩模和用于平移掩模以便在相关法拉第传感器的一部分上限定束流传感器的机构。

公开(公告)号：US06990423B2

公开(公告)日：2006-01-24

申请号：US10606971

申请日：2003-06-25

申请人： Benjamin Brown ,  Peter Huber ,  Mark Donahue ,  John Pane

发明人： Benjamin Brown ,  Peter Huber ,  Mark Donahue ,  John Pane

IPC分类号： G02F3/00

CPC分类号： G01R31/31703 ,  G01R31/31932 ,  H04L43/50

摘要： Automatic test equipment for testing non-deterministic packet data from a device-under-test is disclosed. The automatic test equipment includes a memory for storing expected packet data and a receiver for receiving the packet data from the device-under-test. A data validation circuit is coupled to the receiver for validating non-deterministic packet data based on the expected packet data from the vector memory.

摘要翻译： 公开了用于测试来自被测设备的非确定性分组数据的自动测试设备。 自动测试设备包括用于存储预期分组数据的存储器和用于从被测器件接收分组数据的接收器。 数据验证电路耦合到接收机，用于基于来自向量存储器的预期分组数据验证非确定性分组数据。