公开(公告)号：US5294464A

公开(公告)日：1994-03-15

申请号：US16428

申请日：1993-02-11

申请人： Michael Geisler ,  Rudolf Koetter-Faulhaber ,  Susanne Wuerz

发明人： Michael Geisler ,  Rudolf Koetter-Faulhaber ,  Susanne Wuerz

IPC分类号： B05D3/10 ,  B05D3/14 ,  B05D7/02 ,  B05D7/24 ,  C08J7/12 ,  C09D4/00 ,  C23C14/00 ,  C23C16/40 ,  B05D3/06

CPC分类号： C08J7/123 ,  B05D1/62 ,  C09D4/00 ,  C23C16/401

摘要： A process gas atmosphere consisting essentially of (a) organosiloxanes and inert gas, or (b) pure silane or (c) silane plus inert gas is introduced into a vacuum chamber and exposed to microwaves to produce an electro-cyclotron resonance in a plasma for coating substrates. The process is useful for producing an adherent coating on a plastic substrate, especially an intermediate coating for a reflective coating in an automotive headlamp.

摘要翻译： 基本上由（a）有机硅氧烷和惰性气体组成的工艺气体气体，或（b）纯硅烷或（c）硅烷加惰性气体引入真空室中并暴露于微波以在等离子体中产生电回旋共振 涂层基材。 该方法可用于在塑料基材上生产粘附涂层，特别是在汽车前照灯中用于反射涂层的中间涂层。

公开(公告)号：US5296784A

公开(公告)日：1994-03-22

申请号：US795988

申请日：1991-11-22

申请人： Michael Geisler ,  Michael Jung ,  Rudolf Koetter-Faulhaber

发明人： Michael Geisler ,  Michael Jung ,  Rudolf Koetter-Faulhaber

IPC分类号： H05H1/46 ,  H05H7/18 ,  H01J7/24

CPC分类号： H01J37/32229 ,  H01J37/32247 ,  H01J37/3266 ,  H05H1/46 ,  H05H7/18

摘要： Apparatus for the production of glow discharge, preferably for a large-area plasma CVD process, including a vacuum coating chamber (K) and a microwave waveguide resonator with one or more coupling points, wherein the resonator is made in the form of a microwave waveguide ring resonator (13, 13'), reaction zones (R) are formed at the coupling points between the microwave waveguide ring resonator (13, 13') and the vacuum chamber (K), and in each case a series of magnets (5, 5', . . . ; 6, 6', . . . ) of different polarity are provided, so that in front of the reaction zone (R) individual tunnels of magnetic field lines (16, 16') running parallel thereto are formed and each magnetic field (16, 16') encloses a spatially uniform plasma tube (17) in the reaction zone (R).

摘要翻译： 用于产生辉光放电的装置，优选用于大面积等离子体CVD工艺，包括具有一个或多个耦合点的真空涂覆室（K）和微波波导谐振器，其中所述谐振器以微波波导的形式 环形谐振器（13,13'），在微波波导环形谐振器（13,13'）和真空室（K）之间的耦合点处形成反应区域（R），并且在每种情况下形成一系列磁体（5 ，5'，...，6，6'，...），使得在反应区（R）的前面与其平行延伸的磁场线（16,16'）的各个通道是 并且每个磁场（16,16'）在反应区域（R）中包围空间上均匀的等离子体管（17）。

公开(公告)号：US5378284A

公开(公告)日：1995-01-03

申请号：US908446

申请日：1992-06-30

申请人： Michael Geisler ,  Rudolf Koetter-Faulhaber ,  Michael Jung

发明人： Michael Geisler ,  Rudolf Koetter-Faulhaber ,  Michael Jung

IPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/511 ,  C23C16/50

CPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/511

摘要： An apparatus and a method for producing layers on the surfaces of workpieces, preferably on spotlight, or headlight, reflector inserts formed of plastic, includes an apparatus having a vacuum chamber that can be operated as a batch system with a PCVD coating process, where a microwave ECR plasma coating source is used, and the workpieces to be coated are secured to a rotary cage arranged in the vacuum chamber. The rotary cage can be conducted past a microwave coating source with a frequency-matched and phase-matched planetary motion. Such a coating process can be used in a vacuum chamber, under plasma, and at pressures below 2.times.10.sup.-2 mbar.

摘要翻译： 在工件表面上，优选在聚光灯或头灯，由塑料形成的反射器插入件的表面上生产层的装置和方法包括具有真空室的装置，该真空室可以作为具有PCVD​​涂覆工艺的分批系统来操作，其中 使用微波ECR等离子体涂覆源，待涂覆的工件固定在设置在真空室中的旋转笼中。 旋转笼可以经过频率匹配和相位匹配的行星运动的微波涂层源。 这种涂覆方法可以在真空室中，在等离子体下使用，并且在低于2×10-2毫巴的压力下使用。