公开(公告)号：US09273209B2

公开(公告)日：2016-03-01

申请号：US12745355

申请日：2008-11-28

申请人： Ari Kärkkäinen ,  Milja Hannu-Kuure ,  Sacha Legrand ,  Admir Hadzic ,  Graeme Gordon

发明人： Ari Kärkkäinen ,  Milja Hannu-Kuure ,  Sacha Legrand ,  Admir Hadzic ,  Graeme Gordon

IPC分类号： C08L83/06 ,  C08L83/08 ,  G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08G77/06 ,  C08G77/16 ,  C08G77/26 ,  C08G77/28 ,  C08G77/32 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  C08K5/00 ,  G03F7/00 ,  C08G77/14 ,  C08G77/20 ,  C08G77/00

CPC分类号： G03F7/0757 ,  C08G77/06 ,  C08G77/14 ,  C08G77/16 ,  C08G77/20 ,  C08G77/26 ,  C08G77/28 ,  C08G77/32 ,  C08G77/80 ,  C08K5/0025 ,  C08L83/06 ,  C08L83/08 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322

摘要： A siloxane composition and a method of producing the same. The composition comprises a siloxane prepolymer with a backbone exhibiting a group which is capable of being deprotonated in an aqueous base solution. Further, there are reactive functional groups, which are capable of reacting during thermal or radiation initiated curing. The siloxane is cross-linked during condensation polymerization to increase molecular weight thereof.The composition can be used in high-resolution negative tone lithographic fabrication processes where a water based developer system is applied in the development step of the lithography process.

摘要翻译： 硅氧烷组合物及其制造方法。 组合物包含具有显示能够在碱性水溶液中去质子化的基团的主体的硅氧烷预聚物。 此外，存在反应性官能团，其能够在热或辐射引发固化期间反应。 在缩聚期间硅氧烷交联以增加其分子量。 该组合物可用于高分辨率负调光刻制造工艺，其中在光刻工艺的显影步骤中应用水基显影剂系统。

公开(公告)号：US20110111340A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：US12745355

申请日：2008-11-28

申请人： Ari Karkkainen ,  Milja Hannu-Kuure ,  Sacha Legrand ,  Admir Hadzic ,  Graeme Gordon

发明人： Ari Karkkainen ,  Milja Hannu-Kuure ,  Sacha Legrand ,  Admir Hadzic ,  Graeme Gordon

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0757 ,  C08G77/06 ,  C08G77/14 ,  C08G77/16 ,  C08G77/20 ,  C08G77/26 ,  C08G77/28 ,  C08G77/32 ,  C08G77/80 ,  C08K5/0025 ,  C08L83/06 ,  C08L83/08 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322

摘要： A siloxane composition and a method of producing the same. The composition comprises a siloxane prepolymer with a backbone exhibiting a group which is capable of being deprotonated in an aqueous base solution. Further, there are reactive functional groups, which are capable of reacting during thermal or radiation initiated curing. The siloxane is cross-linked during condensation polymerisation to increase molecular weight thereof.The composition can be used in high-resolution negative tone lithographic fabrication processes where a water based developer system is applied in the development step of the lithography process.

摘要翻译： 硅氧烷组合物及其制造方法。 组合物包含具有显示能够在碱性水溶液中去质子化的基团的主链的硅氧烷预聚物。 此外，存在反应性官能团，其能够在热或辐射引发固化期间反应。 在缩聚期间硅氧烷是交联的，以增加其分子量。 该组合物可用于高分辨率负调光刻制造工艺，其中在光刻工艺的显影步骤中应用水基显影剂系统。

公开(公告)号：US20090142694A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：US11948274

申请日：2007-11-30

申请人： Ari Karkkainen ,  Milja Hannu-Kuure ,  Sacha Legrand ,  Admir Hadzic ,  Graeme Gordon

发明人： Ari Karkkainen ,  Milja Hannu-Kuure ,  Sacha Legrand ,  Admir Hadzic ,  Graeme Gordon

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/30

CPC分类号： C08L83/06 ,  C08K5/49 ,  C09D183/04 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757

摘要： A siloxane composition and a method of producing the Same. The composition comprises a siloxane prepolymer with a backbone exhibiting a group which is capable of being deprotonated in an aqueous base solution. Further, there are reactive functional groups, which are capable of reacting during thermal or radiation initiated curing. The siloxane polymer is provided in a solvent which also contains a photo reactive compound. The composition can be used in negative tone lithographic fabrication processes where a water based developer system is applied in the development step of the lithography process.

摘要翻译： 硅氧烷组合物及其制造方法。 组合物包含具有显示能够在碱性水溶液中去质子化的基团的主链的硅氧烷预聚物。 此外，存在反应性官能团，其能够在热或辐射引发固化期间反应。 硅氧烷聚合物在还含有光反应性化合物的溶剂中提供。 该组合物可用于负光刻光刻制造工艺，其中在光刻工艺的显影步骤中应用水基显影剂体系。