公开(公告)号：US08410665B2

公开(公告)日：2013-04-02

申请号：US12977304

申请日：2010-12-23

申请人： Tien-Kan Chung ,  Chung-Hsien Lin ,  Yao-Te Huang ,  Chia-Hua Chu ,  Chia-Ming Hung ,  Wen-Chuan Tai ,  Chang-Yi Yang

发明人： Tien-Kan Chung ,  Chung-Hsien Lin ,  Yao-Te Huang ,  Chia-Hua Chu ,  Chia-Ming Hung ,  Wen-Chuan Tai ,  Chang-Yi Yang

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： H01L41/311 ,  B81B3/0021 ,  B81C1/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/1138 ,  H01L41/22 ,  H01L41/312 ,  H02K35/04 ,  H02N2/186 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49073 ,  Y10T29/49075 ,  Y10T29/49146

摘要： The present disclosure provides a micro device. The device has a micro-electro-mechanical systems (MEMS) movable structure, a plurality of metal loops over the MEMS movable structure, and a piezoelectric element over the MEMS movable structure. Frontside and backside capping wafers are bonded to the MEMS structure, with the frontside and backside capping wafers encapsulating the MEMS movable structure, the plurality of metal loops, and the piezoelectric element. The device further includes a magnet disposed on the frontside capping wafer over the plurality of metal loops.

摘要翻译： 本公开提供了微型装置。 该装置具有微电子机械系统（MEMS）可移动结构，MEMS可移动结构上的多个金属环以及MEMS可移动结构上方的压电元件。 前侧和后侧封盖晶片被结合到MEMS结构，前侧和后侧封盖晶片封装MEMS可移动结构，多个金属环和压电元件。 该装置还包括设置在多个金属环上的前侧封盖晶片上的磁体。

公开(公告)号：US20120161582A1

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：US12977304

申请日：2010-12-23

申请人： TIEN-KAN CHUNG ,  Chung-Hsien Lin ,  Yao-Te Huang ,  Chia-Hua Chu ,  Chia-Ming Hung ,  Wen-Chuan Tai ,  Chang-Yi Yang

发明人： TIEN-KAN CHUNG ,  Chung-Hsien Lin ,  Yao-Te Huang ,  Chia-Hua Chu ,  Chia-Ming Hung ,  Wen-Chuan Tai ,  Chang-Yi Yang

IPC分类号： H02N2/18 ,  H01L41/22 ,  F03G7/08

CPC分类号： H01L41/311 ,  B81B3/0021 ,  B81C1/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/1138 ,  H01L41/22 ,  H01L41/312 ,  H02K35/04 ,  H02N2/186 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49073 ,  Y10T29/49075 ,  Y10T29/49146

摘要： The present disclosure provides a micro device. The device has a micro-electro-mechanical systems (MEMS) movable structure, a plurality of metal loops over the MEMS movable structure, and a piezoelectric element over the MEMS movable structure. Frontside and backside capping wafers are bonded to the MEMS structure, with the frontside and backside capping wafers encapsulating the MEMS movable structure, the plurality of metal loops, and the piezoelectric element. The device further includes a magnet disposed on the frontside capping wafer over the plurality of metal loops.

摘要翻译： 本公开提供了微型装置。 该装置具有微电子机械系统（MEMS）可移动结构，MEMS可移动结构上的多个金属环以及MEMS可移动结构上方的压电元件。 前侧和后侧封盖晶片被结合到MEMS结构，前侧和后侧封盖晶片封装MEMS可移动结构，多个金属环和压电元件。 该装置还包括设置在多个金属环上的前侧封盖晶片上的磁体。

公开(公告)号：US08723343B2

公开(公告)日：2014-05-13

申请号：US13047502

申请日：2011-03-14

申请人： Tien-Kan Chung ,  Wen-Chuan Tai ,  Yao-Te Huang ,  Hsin-Ting Huang ,  Shang-Ying Tsai ,  Chang-Yi Yang ,  Chia-Ming Hung

发明人： Tien-Kan Chung ,  Wen-Chuan Tai ,  Yao-Te Huang ,  Hsin-Ting Huang ,  Shang-Ying Tsai ,  Chang-Yi Yang ,  Chia-Ming Hung

IPC分类号： H02P9/04

CPC分类号： H02K35/04 ,  B81B7/02 ,  G01P15/11 ,  H01F5/003 ,  H02K15/00 ,  H02M7/04 ,  H02N1/006 ,  Y10T29/49009

摘要： In some embodiments of the present disclosure, a sensor comprises a substrate, a sensor element and an energy-harvesting device. The sensor element comprises a plate, and the plate is moveable with respect to the substrate. The energy-harvesting device is formed on the plate of the sensor element.

摘要翻译： 在本公开的一些实施例中，传感器包括基板，传感器元件和能量收集装置。 传感器元件包括板，并且板可相对于基板移动。 能量收集装置形成在传感器元件的板上。

公开(公告)号：US20120235647A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：US13047502

申请日：2011-03-14

申请人： Tien-Kan CHUNG ,  Wen-Chuan TAI ,  Yao-Te HUANG ,  Hsin-Ting HUANG ,  Shang-Ying TSAI ,  Chang-Yi YANG ,  Chia-Ming HUNG

发明人： Tien-Kan CHUNG ,  Wen-Chuan TAI ,  Yao-Te HUANG ,  Hsin-Ting HUANG ,  Shang-Ying TSAI ,  Chang-Yi YANG ,  Chia-Ming HUNG

IPC分类号： H02K35/04 ,  H02K15/00

CPC分类号： H02K35/04 ,  B81B7/02 ,  G01P15/11 ,  H01F5/003 ,  H02K15/00 ,  H02M7/04 ,  H02N1/006 ,  Y10T29/49009

摘要： In some embodiments of the present disclosure, a sensor comprises a substrate, a sensor element and an energy-harvesting device. The sensor element comprises a plate, and the plate is moveable with respect to the substrate. The energy-harvesting device is formed on the plate of the sensor element.

摘要翻译： 在本公开的一些实施例中，传感器包括基板，传感器元件和能量收集装置。 传感器元件包括板，并且板可相对于基板移动。 能量收集装置形成在传感器元件的板上。

公开(公告)号：US20050259274A1

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：US10852040

申请日：2004-05-24

申请人： Kuo-Chin Chuang ,  Wang-Lin Liu ,  Tien-Kan Chung

发明人： Kuo-Chin Chuang ,  Wang-Lin Liu ,  Tien-Kan Chung

IPC分类号： G01B11/14 ,  G01D5/14

CPC分类号： G01D5/145

摘要： In a method and apparatus for measuring displacement, an optical modulator includes a magneto-optical recording layer recorded with a plurality of light-reflecting graduation regions. The light-reflecting graduation regions include alternately disposed first and second graduations. The first graduations have a first magnetization direction. The second graduations have a second magnetization direction different from the first magnetization direction. A light source is operable so as to generate a light beam that is incident on the magneto-optical recording layer. The optical modulator is movable relative to the light source such that the light beam is reflected in sequence by consecutive ones of the light-reflecting graduation regions recorded on the magneto-optical recording layer. An analyzing module analyzes changes in polarization characteristics of the light beam reflected from the magneto-optical recording layer to determine extent of displacement of the optical modulator relative to the light source.

摘要翻译： 在用于测量位移的方法和装置中，光调制器包括记录有多个光反射刻度区域的磁光记录层。 光反射刻度区域包括交替设置的第一刻度和第二刻度。 第一刻度具有第一磁化方向。 第二刻度具有与第一磁化方向不同的第二磁化方向。 光源可操作以产生入射在磁光记录层上的光束。 光调制器相对于光源是可移动的，使得光束被记录在磁光记录层上的连续的一个光反射刻度区反射。 分析模块分析从磁光记录层反射的光束的偏振特性的变化，以确定光调制器相对于光源的位移程度。