公开(公告)号：US20050206860A1

公开(公告)日：2005-09-22

申请号：US11067315

申请日：2005-02-25

申请人： Albrecht Hof ,  Guenter Maul ,  Lothar Gail ,  Wilfried Schierholz ,  Eberhard Jost

发明人： Albrecht Hof ,  Guenter Maul ,  Lothar Gail ,  Wilfried Schierholz ,  Eberhard Jost

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70933 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70808

摘要： A projection exposure apparatus is equipped with an illumination system, a reticle, a projection objective and an image plane. Interstitial spaces between the individual elements of the apparatus are open to the ambient space. A gas purge device which carries a stream of noble gas or nitrogen is arranged in at least one of the interstitial spaces. The gas purge device is of a shape and size so that one or more interstitial spaces are at least to a large extent sealed off from the ambient space surrounding the projection apparatus.

摘要翻译： 投影曝光装置配备有照明系统，掩模版，投影物镜和像平面。 设备的各个元件之间的间隙空间对于环境空间是开放的。 携带稀有气体或氮气流的气体净化装置布置在至少一个间隙空间中。 气体净化装置的形状和尺寸使得一个或多个间隙空间至少在很大程度上与围绕投影装置的环境空间密封。

公开(公告)号：US07130017B2

公开(公告)日：2006-10-31

申请号：US11067315

申请日：2005-02-25

申请人： Albrecht Hof ,  Guenter Maul ,  Lothar Gail ,  Wilfried Schierholz ,  Eberhard Jost

发明人： Albrecht Hof ,  Guenter Maul ,  Lothar Gail ,  Wilfried Schierholz ,  Eberhard Jost

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70933 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70808

摘要： A projection exposure apparatus is equipped with an illumination system, a reticle, a projection objective and an image plane. Interstitial spaces between the individual elements of the apparatus are open to the ambient space. A gas purge device which carries a stream of noble gas or nitrogen is arranged in at least one of the interstitial spaces. The gas purge device is of a shape and size so that one or more interstitial spaces are at least to a large extent sealed off from the ambient space surrounding the projection apparatus.

摘要翻译： 投影曝光装置配备有照明系统，掩模版，投影物镜和像平面。 设备的各个元件之间的间隙空间对于环境空间是开放的。 携带稀有气体或氮气流的气体净化装置布置在至少一个间隙空间中。 气体净化装置的形状和尺寸使得一个或多个间隙空间至少在很大程度上与围绕投影装置的环境空间密封。

公开(公告)号：US06415993B1

公开(公告)日：2002-07-09

申请号：US09582737

申请日：2000-06-27

申请人： Rainald Forbert ,  Johannes Hartel ,  Wilfried Schierholz

发明人： Rainald Forbert ,  Johannes Hartel ,  Wilfried Schierholz

IPC分类号： B05B704

CPC分类号： C01B33/154 ,  B01F3/08 ,  B01F5/0403 ,  B01F2005/0008 ,  B01F2005/002 ,  B05B1/3421 ,  B05B7/0408 ,  B05B7/0892 ,  B05B7/10 ,  C01B33/14

摘要： The invention relates to an apparatus for preparing a rapidly solidifying mixture from a plurality of liquid components and subsequent atomization of the solidifying mixture. The apparatus comprises a mixing chamber (4), a liquid distributor (1′,7) and N identical, droplet-forming nozzles (9a,9b) connected to the liquid distributor. The liquids to be mixed can be fed separately to the mixing chamber and the mixing chamber has neither significant back-mixing in the areas in which reactions can occur, nor significant dead spaces in the flow in these areas. The liquid distributor (1′,7) is connected to the mixing chamber and divides the mixed stream coming from the mixing chamber equally over the nozzles (9a,9b) without significant back-mixing or dead spaces in the flow, so that the flow properties of the partial streams and their residence time in the liquid distributor are identical.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于从多个液体组分制备快速凝固的混合物并随后雾化固化混合物的装置。 该装置包括混合室（4），液体分配器（1'，7）和连接到液体分配器的N个相同的液滴形成喷嘴（9a，9b）。 要混合的液体可以单独供给到混合室，并且混合室在可能发生反应的区域中既没有显着的反混合，也没有在这些区域中流动中的严重死空间。 液体分配器（1'，7）连接到混合室，并将来自混合室的混合物流均匀地分布在喷嘴（9a，9b）上，而不会在流动中产生明显的回混或死空间，从而流动 部分物流的性质及其在液体分配器中的停留时间是相同的。

公开(公告)号：US06331072B1

公开(公告)日：2001-12-18

申请号：US09463348

申请日：2000-06-08

申请人： Wilfried Schierholz ,  Götz Lauschke ,  Stefan Ott ,  Ulrich Schmidt ,  Peter Hein

发明人： Wilfried Schierholz ,  Götz Lauschke ,  Stefan Ott ,  Ulrich Schmidt ,  Peter Hein

IPC分类号： B01F500

CPC分类号： F28F1/02 ,  B01F5/0646 ,  B01F5/0647 ,  B01F2215/0409 ,  B01J19/243 ,  B21D11/06 ,  F28D7/08 ,  F28D2021/0052

摘要： Continuous, chaotic convection mixer, convection heat exchanger and convection reactor The invention relates to a device (1), in particular for mixing, for heat exchange or for carrying out reactions, having one or more through-flow elements (2) which have a center line (3) in the direction of flow, wherein the element(s) (2) is/are at least partially shaped or arranged such that the curve (9) formed by the center line(s) (3) approximately satisfies the following parametric representation: ϑ ⁡ ( t ) = ( ( - 1 ) [ t ] ⁢ a ⁡ ( t ) ⁢ ( cos ⁡ ( 2 ⁢ π ⁢   ⁢ t ) - 1 ) c ⁡ ( t ) ⁢ t a ⁡ ( t ) ⁢ sin ⁡ ( 2 ⁢ π ⁢   ⁢ t ) ) the parameters and constants having the following meaning: ∂(t) position vector in a Cartesian coordinate system, t parameter along the curve (9), −∞≦t≦+∞, [t] integral fraction of t, a(t) a radius of curvature (10), where 0

摘要翻译： 连续混沌对流混合器，对流换热器和对流反应器技术领域本发明涉及一种装置（1），特别是用于混合，用于热交换或用于进行反应的装置（1），其具有一个或多个具有中心的通流元件（2） （3），其中元件（2）至少部分地成形或布置成使得由中心线（3）形成的曲线（9）近似满足以下 参数表示：具有以下含义的参数和常数：∂（t）笛卡尔坐标系中的位置矢量，沿曲线的t参数（9），-infin <= t <= + infin，[t] t的积分分数 ，（t）曲率半径（10），其中0 <| a（t）|