公开(公告)号：US07081710B2

公开(公告)日：2006-07-25

申请号：US10844804

申请日：2004-05-13

申请人： Andrei-B. Petrin ,  Jai-Kwang Shin ,  Jae-Joon Oh ,  Seong-Gu Kim ,  Ji-Hyun Hur

发明人： Andrei-B. Petrin ,  Jai-Kwang Shin ,  Jae-Joon Oh ,  Seong-Gu Kim ,  Ji-Hyun Hur

IPC分类号： H01J7/24

CPC分类号： H01J37/32009 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678 ,  H05H1/18

摘要： An elementary plasma source for generating plasma is provided. In the elementary plasma source, first and second magnets are shaped like a hollow cylinder, and the second magnet surrounds the first magnet, for forming a magnetic trap between the first and second magnets. A guide provides microwaves to a space between the first and second magnets.

摘要翻译： 提供了一种用于产生等离子体的基本等离子体源。 在基本等离子体源中，第一和第二磁体成形为中空圆柱体，并且第二磁体围绕第一磁体，用于在第一和第二磁体之间形成磁性陷阱。 引导件向第一和第二磁体之间的空间提供微波。

公开(公告)号：US07393175B2

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：US10852501

申请日：2004-05-24

申请人： Andrei-B. Petrin

发明人： Andrei-B. Petrin

IPC分类号： B25J11/00

CPC分类号： H01L41/0953 ,  B65G27/24 ,  H01L41/0946 ,  H02N2/028 ,  Y10T74/20354

摘要： An actuator system for making a nanoscale movement of an object is provided. In the actuator system, a platform supports the object. A Z-axis actuator connects the platform to the object in a Z-axis direction, and moves the object in the Z-axis direction by Z-axis direction transformation. A frame supports the platform around the platform. An X-axis actuator connects the frame to the platform in an X-axis or Y-axis direction perpendicular to the Z-axis, and moves the object in the X-axis direction by transformation in the direction perpendicular to the Z-axis.

摘要翻译： 提供了用于进行物体的纳米级移动的致动器系统。 在执行器系统中，平台支撑物体。 Z轴致动器将平台与Z轴方向的物体连接起来，通过Z轴方向的变换使Z轴方向移动。 一个框架支持平台周围的平台。 X轴致动器在与Z轴垂直的X轴或Y轴方向上将框架连接到平台，并且通过沿与Z轴垂直的方向进行变换来使物体在X轴方向上移动。