公开(公告)号：US08894868B2

公开(公告)日：2014-11-25

申请号：US13267813

申请日：2011-10-06

申请人： Andy Hooper ,  Daragh Finn ,  Tim Webb ,  Lynn Sheehan ,  Kenneth Pettigrew ,  Yu Chong Tai

发明人： Andy Hooper ,  Daragh Finn ,  Tim Webb ,  Lynn Sheehan ,  Kenneth Pettigrew ,  Yu Chong Tai

IPC分类号： H01L21/302 ,  B23K26/00 ,  B44C1/22 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  B23K26/36 ,  B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  H01L21/768

CPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/364 ,  B23K26/382 ,  B23K26/389 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/35 ,  B23K2103/50 ,  B23K2103/52 ,  B44C1/22 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/76898 ,  Y10S438/94 ,  Y10T428/24273

摘要： A method of forming an aperture (e.g., a through via, a blind via, a trench, an alignment feature, etc.) within a substrate includes irradiating a substrate with a laser beam to form a laser-machined feature having a sidewall. The laser-machined feature is then processed to change at least one characteristic (e.g., the sidewall surface roughness, diameter, taper, aspect ratio, cross-sectional profile, etc.) of the laser-machined feature. The laser-machined feature can be processed to form the aperture by performing an isotropic wet-etch process employing an etchant solution containing HNO3, HF and, optionally acetic acid.

摘要翻译： 在衬底内形成孔径（例如通孔，盲孔，沟槽，对准特征等）的方法包括用激光束照射衬底以形成具有侧壁的激光加工特征。 然后对激光加工的特征进行处理以改变激光加工特征的至少一个特征（例如，侧壁表面粗糙度，直径，锥度，纵横比，横截面轮廓等）。 可以通过使用含有HNO 3，HF和任选的乙酸的蚀刻剂溶液进行各向同性的湿蚀刻工艺来处理激光加工的特征以形成孔。

公开(公告)号：US20130089701A1

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：US13267813

申请日：2011-10-06

申请人： Andy Hooper ,  Daragh Finn ,  Tim Webb ,  Lynn Sheehan ,  Kenneth Pettigrew ,  Yu Chong Tai

发明人： Andy Hooper ,  Daragh Finn ,  Tim Webb ,  Lynn Sheehan ,  Kenneth Pettigrew ,  Yu Chong Tai

IPC分类号： B23K26/00 ,  B44C1/22 ,  H01L21/306 ,  B32B3/24

CPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/364 ,  B23K26/382 ,  B23K26/389 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/35 ,  B23K2103/50 ,  B23K2103/52 ,  B44C1/22 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/76898 ,  Y10S438/94 ,  Y10T428/24273

摘要： A method of forming an aperture (e.g., a through via, a blind via, a trench, an alignment feature, etc.) within a substrate includes irradiating a substrate with a laser beam to form a laser-machined feature having a sidewall. The laser-machined feature is then processed to change at least one characteristic (e.g., the sidewall surface roughness, diameter, taper, aspect ratio, cross-sectional profile, etc.) of the laser-machined feature. The laser-machined feature can be processed to form the aperture by performing an isotropic wet-etch process employing an etchant solution containing HNO3, HF and, optionally acetic acid.

摘要翻译： 在衬底内形成孔径（例如通孔，盲孔，沟槽，对准特征等）的方法包括用激光束照射衬底以形成具有侧壁的激光加工特征。 然后对激光加工的特征进行处理以改变激光加工特征的至少一个特征（例如，侧壁表面粗糙度，直径，锥度，纵横比，横截面轮廓等）。 可以通过使用含有HNO 3，HF和任选的乙酸的蚀刻剂溶液进行各向同性的湿蚀刻工艺来处理激光加工的特征以形成孔。