公开(公告)号：US20110033800A1

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：US12782350

申请日：2010-05-18

申请人： Anthony ZAMPINI ,  Vipul Jain ,  Cong Liu ,  Suzanne Coley ,  Owendi Ongayi

发明人： Anthony ZAMPINI ,  Vipul Jain ,  Cong Liu ,  Suzanne Coley ,  Owendi Ongayi

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07D251/34 ,  G03F7/20 ,  C08G73/08

CPC分类号： C07D251/32 ,  C08G73/0655 ,  G03F7/091

摘要： Cyanurate compositions are provided that are particularly useful as a reagent to form a resin component of a coating composition underlying an overcoated photoresist. Preferred isocyanurates compound comprise substitution of multiple cyanurate nitrogen ring atoms by at least two distinct carboxy and/or carboxy ester groups.

摘要翻译： 提供了氰尿酸盐组合物，其特别可用作形成涂覆组合物在外涂光致抗蚀剂下的树脂组分的试剂。 优选的异氰脲酸酯化合物包括通过至少两个不同的羧基和/或羧基酯基取代多个氰脲酸酯氮环原子。

公开(公告)号：US20130004901A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13340989

申请日：2011-12-30

申请人： Owendi ONGAYI ,  Vipul JAIN ,  Suzanne COLEY ,  Anthony ZAMPINI

发明人： Owendi ONGAYI ,  Vipul JAIN ,  Suzanne COLEY ,  Anthony ZAMPINI

IPC分类号： G03F7/20 ,  C08L75/06 ,  B32B27/36 ,  C08G63/685

CPC分类号： G03F7/09 ,  G03F7/091 ,  G03F7/092 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/16 ,  Y10T428/31786

摘要： Organic coating compositions, particularly antireflective coating compositions, are provided that comprise that comprise a component that comprises one or more uracil moieties. Preferred compositions of the invention are useful to reduce reflection of exposing radiation from a substrate back into an overcoated photoresist layer and/or function as a planarizing, conformal or via-fill layer.

摘要翻译： 提供了有机涂料组合物，特别是抗反射涂料组合物，其包含包含一种或多种尿嘧啶部分的组分。 本发明的优选组合物可用于减少来自衬底的曝光辐射反射回外涂光致抗蚀剂层的反射和/或作为平坦化，保形或通孔填充层的功能。