公开(公告)号：US20060279024A1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：US11459797

申请日：2006-07-25

申请人： Byung-Jin Choi ,  Frank Xu ,  Nicholas Stacey ,  Van Truskett ,  Michael Watts

发明人： Byung-Jin Choi ,  Frank Xu ,  Nicholas Stacey ,  Van Truskett ,  Michael Watts

IPC分类号： B28B7/36

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： The present invention provides a method to reduce adhesion between a conformable region on a substrate and a pattern of a mold, which selectively comes into contact with the conformable region. The method features forming a conformable material on the substrate and contacting the conformable material with the surface. A conditioned layer is formed from the conformable material. The conditioned layer has first and second sub-portions, with the first sub-portion being solidified and the second sub-portion having a first affinity for the surface and a second affinity for the first sub-portion. The first affinity is greater than the second affinity. In this fashion, upon separation of the mold from the conditioned layer, a subset of the second sub-portion maintains contact with the mold, thereby reducing the probability that a pattern formed in the conditioned layer becomes compromised.

摘要翻译： 本发明提供一种降低基材上的适形区域和选择性地与适形区域接触的模具图案之间的粘附性的方法。 该方法的特征在于在基底上形成适形材料并使适形材料与表面接触。 由适形材料形成调理层。 调理层具有第一和第二子部分，其中第一子部分被固化，第二子部分对于表面具有第一亲和力，对第一子部分具有第二亲和力。 第一亲和力大于第二亲和力。 以这种方式，在模具与调理层分离时，第二子部分的子集保持与模具的接触，从而降低在调理层中形成的图案变得损害的可能性。

公开(公告)号：US20050072757A1

公开(公告)日：2005-04-07

申请号：US10898034

申请日：2004-07-23

申请人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

发明人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

IPC分类号： B01D19/00 ,  B29C59/02 ,  C23F1/00 ,  G03F20060101 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a method of controlling a turbulent flow of a fluid between a substrate and a template, and more specifically, controlling a turbulent flow of a fluid between droplets disposed on a substrate and a template. To that end, the method further comprises the ingression and egression of the fluid through a first and second aperture, and in a further embodiment, a plurality of apertures, to create such a turbulent flow of the fluid.

摘要翻译： 本发明涉及一种控制衬底和模板之间的流体的紊流的方法，更具体地说，控制流体在设置在衬底和模板上的液滴之间的紊流。 为此，该方法还包括流体通过第一和第二孔的进入和流出，并且在另一实施例中，多个孔，以产生流体的这种湍流。

公开(公告)号：US20050072755A1

公开(公告)日：2005-04-07

申请号：US10677639

申请日：2003-10-02

申请人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

发明人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

IPC分类号： B01D19/00 ,  B29C59/02 ,  C23F1/00 ,  G03F20060101 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a method for reducing pattern distortions in imprinting layers by reducing gas pockets present in a layer of viscous liquid deposited on a substrate. To that end, the method includes varying a transport of the gases disposed proximate to the viscous liquid. Specifically, the atmosphere proximate to the substrate wherein a pattern is to be recorded is saturated with gases that are either highly soluble, highly diffusive, or both with respect to the viscous liquid being deposited. Additionally, or in lieu of saturating the atmosphere, the pressure of the atmosphere may be reduced.

摘要翻译： 本发明涉及通过减少存在于沉积在基底上的粘性液体层中的气穴来减少压印层中的图案失真的方法。 为此，该方法包括改变靠近粘性液体设置的气体的输送。 具体地，其中待记录图案的基板附近的气氛相对于被沉积的粘性液体是高度可溶的，高度扩散的或者两者都被饱和。 另外，或者代替饱和气氛，可以降低气氛的压力。

公开(公告)号：US20050074512A1

公开(公告)日：2005-04-07

申请号：US10898037

申请日：2004-07-23

申请人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

发明人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

IPC分类号： B01D19/00 ,  B29C59/02 ,  C23F1/00 ,  G03F20060101 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a system for introducing a flow of a fluid between a mold, disposed on a template, and a substrate, the system including, a fluid supply system; and a chuck body having a baffle and first and second apertures, the first and second apertures disposed between the baffle and the template, with the first and second apertures in fluid communication with the fluid supply system to produce a turbulent flow of the fluid between the mold and said substrate.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在设置在模板上的模具和基板之间引入流体流的系统，该系统包括：流体供应系统; 以及具有挡板和第一和第二孔的卡盘体，所述第一和第二孔设置在挡板和模板之间，其中第一和第二孔与流体供应系统流体连通，以在流体供应系统之间产生紊流 模具和所述基板。

公开(公告)号：US20060035029A1

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：US10919224

申请日：2004-08-16

申请人： Frank Xu ,  Christopher Mackay ,  Pankaj Lad ,  Ian McMackin ,  Van Truskett ,  Wesley Martin ,  Edward Fletcher ,  David Wang ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts

发明人： Frank Xu ,  Christopher Mackay ,  Pankaj Lad ,  Ian McMackin ,  Van Truskett ,  Wesley Martin ,  Edward Fletcher ,  David Wang ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts

IPC分类号： B05D3/12 ,  B05D3/02

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10T428/1386

摘要： The present invention includes a method and a composition to form a layer on a substrate having uniform etch characteristics. To that end, the method includes controlling variations in the characteristics of a solid layer, such etch characteristics over the area of the solid layer as a function of the relative rates of evaporation of the liquid components that comprise the composition from which the solid layer is formed.

摘要翻译： 本发明包括在具有均匀蚀刻特性的基底上形成层的方法和组合物。 为此，该方法包括控制固体层的特性的变化，这种固体层面积上的这种蚀刻特性是构成组合物的液体组分的相对蒸发速率的函数的函数，其中固体层是固体层 形成。

公开(公告)号：US20060177532A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：US11051533

申请日：2005-02-04

申请人： Edward Fletcher ,  Ian McMackin ,  Michael Miller ,  Nicholas Stacey ,  Wesley Martin ,  Frank Xu ,  Christopher Mackay ,  Van Truskett

发明人： Edward Fletcher ,  Ian McMackin ,  Michael Miller ,  Nicholas Stacey ,  Wesley Martin ,  Frank Xu ,  Christopher Mackay ,  Van Truskett

IPC分类号： B29C67/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention is directed to a method of controlling a quantity of liquid from extruding from a volumetric gap defined between a mold included in the substrate and a region of the substrate in superimposition therewith that features varying the capillary forces between the liquid and one of the template and the substrate. To that end, the method includes generating capillary forces between the liquid and one of the template and the substrate; and varying a magnitude of the forces to create a gradient of forces.

摘要翻译： 本发明涉及一种控制液体量的方法，该方法是从在包括在基底中的模具和与其叠加的基底区域之间限定的体积间隙进行挤出，其特征在于改变液体与其中一个之间的毛细管力 模板和底物。 为此，该方法包括在液体和模板和基板之一之间产生毛细力; 并且改变力的大小以产生力的梯度。

公开(公告)号：US20060125154A1

公开(公告)日：2006-06-15

申请号：US11347096

申请日：2006-02-03

申请人： Michael Watts ,  Byung-Jin Choi ,  Frank Xu

发明人： Michael Watts ,  Byung-Jin Choi ,  Frank Xu

IPC分类号： B29C35/08

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention is directed to a method to improve a flow rate of imprinting material, said method including, inter alia, propagating radiation through said imprinting material to impinge upon an absorption layer; absorbing said radiation by said absorption layer to collect thermal energy with said absorption layer, defining collected thermal energy; and transferring said collected thermal energy to said imprinting material through thermal conduction to increase a temperature of said imprinting material

摘要翻译： 本发明涉及一种改善压印材料的流速的方法，所述方法尤其包括通过所述压印材料传播辐射以冲击吸收层; 通过所述吸收层吸收所述辐射以与所述吸收层收集热能，限定收集的热能; 以及通过热传导将所述收集的热能转移到所述压印材料，以增加所述压印材料的温度

公开(公告)号：US20050158419A1

公开(公告)日：2005-07-21

申请号：US10758384

申请日：2004-01-15

申请人： Michael Watts ,  Byung-Jin Choi ,  Frank Xu

发明人： Michael Watts ,  Byung-Jin Choi ,  Frank Xu

IPC分类号： B05B5/00 ,  B29C35/10 ,  G03F7/00

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： The present invention is a system that selectively directs radiation of multiple wavelengths at a substrate to facilitate pattern formation. The system may include a wavelength discriminator to filter the radiation and an absorption layer to develop a localized heat source. The localized heat source may be employed to raise a temperature of an imprinting layer. This improves the flow rate and the fill factor of the material disposed within the imprinting layer, thus reducing the time required to fill the features defined on a mold.

摘要翻译： 本发明是一种系统，其选择性地引导衬底上的多个波长的辐射以促进图案形成。 该系统可以包括用于过滤辐射的波长鉴别器和吸收层以形成局部热源。 可以采用局部热源来提高压印层的温度。 这改善了设置在压印层内的材料的流速和填充因子，从而减少了填充模具上限定的特征所需的时间。

公开(公告)号：US20050156353A1

公开(公告)日：2005-07-21

申请号：US10757778

申请日：2004-01-15

申请人： Michael Watts ,  Byung-Jin Choi ,  Frank Xu

发明人： Michael Watts ,  Byung-Jin Choi ,  Frank Xu

IPC分类号： B29C59/02 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention is a method of increasing the flow rate of an imprinting layer disposed between a source of radiation and a target to facilitate pattern formation. Infrared radiation is directed toward the target with the imprinting layer substantially transparent to infrared radiation. The target substantially absorbs the infrared radiation to create a thermal energy in the same, and the thermal energy is subsequently transferred to the liquid, causing a temperature rise of the liquid, and thus improving a flow rate of the imprinting layer and reducing the time required to fill the features defined on a mold.

摘要翻译： 本发明是一种增加设置在辐射源和靶之间的压印层的流速以促进图案形成的方法。 红外辐射指向靶，其中压印层对于红外辐射基本上是透明的。 目标基本上吸收红外辐射以在其中产生热能，并且热能随后转移到液体中，引起液体的温度上升，从而改善压印层的流速并减少所需的时间 填补模具上定义的特征。

公开(公告)号：US20050100830A1

公开(公告)日：2005-05-12

申请号：US10694284

申请日：2003-10-27

申请人： Frank Xu ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts ,  Ecron Thompson

发明人： Frank Xu ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts ,  Ecron Thompson

IPC分类号： G03C5/00 ,  G03F7/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： B29C43/003 ,  B29C2043/025 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： One embodiment of the present invention is a method for generating patterned features on a substrate that includes: (a) forming a first layer on at least a portion of a surface of the substrate, the first layer comprising at least one layer of a first material, which one layer abuts the surface of the substrate; (b) forming a second layer of a second material on at least a portion of the first layer, which second layer is imprinted with the patterned features; (c) removing at least portions of the second layer to extend the patterned features to the first layer; and (d) removing at least portions of the first layer to extend the patterned features to the substrate; wherein the first layer and the second layer may be exposed to an etching process that undercuts the patterned features, and the first material may be lifted-off.

摘要翻译： 本发明的一个实施例是一种用于在衬底上产生图案化特征的方法，其包括：（a）在衬底的表面的至少一部分上形成第一层，第一层包括至少一层第一材料 其中一层邻接衬底的表面; （b）在所述第一层的至少一部分上形成第二材料的第二层，所述第二层被印刷所述图案化特征; （c）去除所述第二层的至少一部分以将所述图案化特征延伸到所述第一层; 和（d）去除所述第一层的至少一部分以将所述图案化特征延伸到所述基底; 其中第一层和第二层可以暴露于蚀刻过程，其蚀刻图案化的特征，并且第一材料可以被剥离。