公开(公告)号：US06677226B1

公开(公告)日：2004-01-13

申请号：US09075767

申请日：1998-05-11

申请人： Carl L. Bowen ,  Keith Q. Lao

发明人： Carl L. Bowen ,  Keith Q. Lao

IPC分类号： H01L2144

CPC分类号： H01L24/05 ,  H01L23/5258 ,  H01L23/53214 ,  H01L23/53228 ,  H01L24/03 ,  H01L2224/02166 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014

摘要： In one embodiment, a first dielectric layer (32) that overlies a fuse (16) and a bonding pad (30) is etched with a first etch process. This first etch process exposes a portion (40) of a second dielectric layer (20) that underlies the first dielectric layer (32) and overlies the fuse (16). In addition, the first etch process also forms a bond pad opening (38) that exposes a portion (42) of an anti-reflective layer (28) that forms a portion of the bonding pad (30). A second etch process is then used to etch the exposed portion (42) of the anti-reflective layer (28) and the exposed portion (40) of the second dielectric layer (20) at substantially the same rate to form a fuse window (45) overlying the fuse (16). The second etch process prevents over etching of the second dielectric layer (20), and thus exposure of the underlying fuse (16).

摘要翻译： 在一个实施例中，用第一蚀刻工艺蚀刻覆盖熔丝（16）和焊盘（30）的第一介电层（32）。 该第一蚀刻工艺暴露第二介电层（20）的位于第一介电层（32）下方并覆盖熔丝（16）的部分（40）。 此外，第一蚀刻工艺还形成接合焊盘开口（38），其暴露形成焊盘（30）的一部分的抗反射层（28）的部分（42）。 然后使用第二蚀刻工艺以基本上相同的速率蚀刻抗反射层（28）的暴露部分（42）和第二介电层（20）的暴露部分（40），以形成熔丝窗口 45）覆盖保险丝（16）。 第二蚀刻工艺防止第二介电层（20）的过度蚀刻，并因此防止下面的熔丝（16）的曝光。

公开(公告)号：US20080262769A1

公开(公告)日：2008-10-23

申请号：US11738540

申请日：2007-04-23

申请人： DANIEL KADOSH ,  Gregory A. Cherry ,  Carl L. Bowen ,  Luis De La Fuente ,  Rajesh Vijayaraghavan

发明人： DANIEL KADOSH ,  Gregory A. Cherry ,  Carl L. Bowen ,  Luis De La Fuente ,  Rajesh Vijayaraghavan

IPC分类号： G06F11/30 ,  G01R31/26

CPC分类号： G01R31/2894 ,  G01R31/2855

摘要： A method includes receiving a first set of parameters associated with a particular die. A health metric for a particular die is determined using a multivariate analysis of the first set of parameters. The health metric incorporates at least one performance metric. At least one of a market segment designator or a testing plan associated with the particular die is determined based on the health metric.

摘要翻译： 一种方法包括接收与特定管芯相关联的第一组参数。 使用第一组参数的多变量分析确定特定裸片的健康度量。 健康指标至少包含一个绩效指标。 基于健康度量确定至少一个市场细分指示符或与特定模具相关联的测试计划。