公开(公告)号：US20120067971A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：US13375434

申请日：2010-05-13

申请人： Chulsoo Byun ,  Man Cheol Han ,  II Yong Chung ,  Seok Woo Lee

发明人： Chulsoo Byun ,  Man Cheol Han ,  II Yong Chung ,  Seok Woo Lee

IPC分类号： B05B15/02

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45572 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/45576 ,  C23C16/45591

摘要： A showerhead for film-depositing vacuum equipment having an effect shortening the length of injection tubes for a reactive gas is presented. The injection tubes extend from the bottom of a reactive gas showerhead module, and two different kinds of reactive gases are mixed with an injection support gas within a reactive showerhead module so as to inject the mixed gas. The showerhead for film-depositing vacuum equipment includes the reactive gas showerhead module above a cooling jacket and a purge gas showerhead module above the reactive gas showerhead module. The injection tubes of the reactive gas showerhead module pass through the cooling jacket disposed below the reactive gas showerhead module, and the injection tubes of the purge gas showerhead module pass through the reactive gas showerhead module disposed below the purge gas showerhead module, thereby enabling the purge gas to flow into a purge gas redistribution space defined above the cooling jacket.

摘要翻译： 提出了一种用于成膜真空设备的喷头，其具有缩短反应气体的注射管的长度的效果。 注射管从反应性气体喷头模块的底部延伸，并且两种不同种类的反应气体与反应性喷头模块内的注射支撑气体混合，以便注入混合气体。 用于成膜真空设备的喷头包括在冷却套上方的反应性气体喷头模块和在反应性气体喷头模块上方的吹扫气喷头模块。 反应性气体喷头模块的注射管通过设置在反应性气体喷头模块下方的冷却套管，并且吹扫气体喷头模块的注射管通过布置在吹扫气喷头模块下方的反应性气体喷头模块， 吹扫气体流入冷却套管上方定义的净化气体再分布空间。