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    Methods for checking and calibrating concentration sensors in a semiconductor processing chamber
    1.
    发明授权
    Methods for checking and calibrating concentration sensors in a semiconductor processing chamber 有权
    在半导体处理室中检查和校准浓度传感器的方法

    公开(公告)号：US08191397B2

    公开(公告)日：2012-06-05

    申请号：US12332796

    申请日：2008-12-11

    申请人： Francois Doniat ,  Ronald S. Inman ,  Nathan Stafford ,  Axel Soulet ,  Jean-Louis Marc

    发明人： Francois Doniat ,  Ronald S. Inman ,  Nathan Stafford ,  Axel Soulet ,  Jean-Louis Marc

    IPC分类号： G01N21/00

    CPC分类号： G01N27/06

    摘要： The present invention provides methods for checking and calibrating one or more concentration sensors in an open or closed system. More specifically, in one embodiment of the present invention, the disclosed method allows for the checking and calibration of one or more concentration sensors in which removal of the liquid from the system is required. In two additional embodiments, the disclosed methods allow for the checking and calibration of one or more concentration sensors without having to remove the liquid from the closed system thereby minimizing contamination of the system while at the same time greatly reducing or eliminating contact of the user with the liquid.

    摘要翻译： 本发明提供了用于在开放或封闭系统中检查和校准一个或多个浓度传感器的方法。 更具体地说，在本发明的一个实施例中，所公开的方法允许检查和校准需要从系统中去除液体的一个或多个浓度传感器。 在两个附加实施例中，所公开的方法允许检查和校准一个或多个浓度传感器，而不必从封闭系统中移除液体，从而最小化系统的污染，同时大大减少或消除用户与 液体。

    Methods For Checking And Calibrating Concentration Sensors In A Semiconductor Processing Chamber
    2.
    发明申请
    Methods For Checking And Calibrating Concentration Sensors In A Semiconductor Processing Chamber 有权
    在半导体处理室中检查和校准浓度传感器的方法

    公开(公告)号：US20090151419A1

    公开(公告)日：2009-06-18

    申请号：US12332796

    申请日：2008-12-11

    申请人： Francois Doniat ,  Ronald S. Inman ,  Nathan Stafford ,  Axel Soulet ,  Jean-Louis Marc

    发明人： Francois Doniat ,  Ronald S. Inman ,  Nathan Stafford ,  Axel Soulet ,  Jean-Louis Marc

    IPC分类号： G01D18/00

    CPC分类号： G01N27/06

    摘要： The present invention provides methods for checking and calibrating one or more concentration sensors in an open or closed system. More specifically, in one embodiment of the present invention, the disclosed method allows for the checking and calibration of one or more concentration sensors in which removal of the liquid from the system is required. In two additional embodiments, the disclosed methods allow for the checking and calibration of one or more concentration sensors without having to remove the liquid from the closed system thereby minimizing contamination of the system while at the same time greatly reducing or eliminating contact of the user with the liquid.

    摘要翻译： 本发明提供了用于在开放或封闭系统中检查和校准一个或多个浓度传感器的方法。 更具体地说，在本发明的一个实施例中，所公开的方法允许检查和校准需要从系统中去除液体的一个或多个浓度传感器。 在两个附加实施例中，所公开的方法允许检查和校准一个或多个浓度传感器，而不必从封闭系统中移除液体，从而最小化系统的污染，同时大大减少或消除用户与 液体。

    Liquid ring pumping and reclamation systems in a processing environment
    5.
    发明申请
    Liquid ring pumping and reclamation systems in a processing environment 审中-公开
    液环泵送和回收系统在加工环境中

    公开(公告)号：US20070109912A1

    公开(公告)日：2007-05-17

    申请号：US11549098

    申请日：2006-10-12

    申请人： Karl Urquhart ,  Georges Guarneri ,  Jean-Louis Marc ,  Norbert Fanjat ,  Laurent Langellier ,  Christophe Colin

    发明人： Karl Urquhart ,  Georges Guarneri ,  Jean-Louis Marc ,  Norbert Fanjat ,  Laurent Langellier ,  Christophe Colin

    IPC分类号： B01F15/04

    CPC分类号： G05D11/138 ,  B24B57/00 ,  F04C19/001 ,  H01L21/67017

    摘要： Methods and systems for chemical management. In one embodiment, a blender is coupled to a processing system and configured to supply an appropriate solution or solutions to the system. Solutions provided by the blender are then reclaimed from the system and subsequently reintroduced for reuse. The blender may be operated to control the concentrations of various constituents in the solution prior to the solution being reintroduced to the system for reuse. Some chemicals introduced to the system may be temperature controlled. A back end vacuum pump subsystem separates gases from liquids as part of a waste management system.

    摘要翻译： 化学品管理方法和系统 在一个实施例中，搅拌器耦合到处理系统并且被配置为向系统提供适当的解决方案或解决方案。 混合器提供的解决方案然后从系统中回收并随后重新引入再利用。 在将溶液重新引入系统以重新使用之前，可以操作搅拌器以控制溶液中各种成分的浓度。 引入到系统中的一些化学品可以是温度控制的。 后端真空泵子系统将废气与液体分开，作为废物管理系统的一部分。

    Systems and methods for managing fluids using a liquid ring pump
    8.
    发明申请
    Systems and methods for managing fluids using a liquid ring pump 有权
    使用液环泵管理流体的系统和方法

    公开(公告)号：US20070110591A1

    公开(公告)日：2007-05-17

    申请号：US11549094

    申请日：2006-10-12

    申请人： Karl Urquhart ,  Georges Guarneri ,  Jean-Louis Marc ,  Norbert Fanjat ,  Laurent Langellier ,  Christophe Colin

    发明人： Karl Urquhart ,  Georges Guarneri ,  Jean-Louis Marc ,  Norbert Fanjat ,  Laurent Langellier ,  Christophe Colin

    IPC分类号： F04B49/00

    CPC分类号： F04C19/001 ,  H01L21/67017

    摘要： Methods and systems for chemical management. In one embodiment, a blender is coupled to a processing system and configured to supply an appropriate solution or solutions to the system. Solutions provided by the blender are then reclaimed from the system and subsequently reintroduced for reuse. The blender may be operated to control the concentrations of various constituents in the solution prior to the solution being reintroduced to the system for reuse. Some chemicals introduced to the system may be temperature controlled. A back end vacuum pump subsystem separates gases from liquids as part of a waste management system.

    摘要翻译： 化学品管理方法和系统 在一个实施例中，搅拌器耦合到处理系统并且被配置为向系统提供适当的解决方案或解决方案。 混合器提供的解决方案然后从系统中回收并随后重新引入再利用。 在将溶液重新引入系统以重新使用之前，可以操作搅拌器以控制溶液中各种成分的浓度。 引入到系统中的一些化学品可以是温度控制的。 后端真空泵子系统将废气与液体分开，作为废物管理系统的一部分。

    Systems and methods for managing fluids using a liquid ring pump
    10.
    发明授权
    Systems and methods for managing fluids using a liquid ring pump 有权
    使用液环泵管理流体的系统和方法

    公开(公告)号：US07871249B2

    公开(公告)日：2011-01-18

    申请号：US11549094

    申请日：2006-10-12

    申请人： Karl J. Urquhart ,  Georges Guarneri ,  Jean-Louis Marc ,  Norbert Fanjat ,  Laurent Langellier ,  Christophe Colin

    发明人： Karl J. Urquhart ,  Georges Guarneri ,  Jean-Louis Marc ,  Norbert Fanjat ,  Laurent Langellier ,  Christophe Colin

    IPC分类号： F04C19/00 ,  C03C25/68 ,  B01F15/02

    CPC分类号： F04C19/001 ,  H01L21/67017

    摘要： Methods and systems for chemical management. In one embodiment, a blender is coupled to a processing system and configured to supply an appropriate solution or solutions to the system. Solutions provided by the blender are then reclaimed from the system and subsequently reintroduced for reuse. The blender may be operated to control the concentrations of various constituents in the solution prior to the solution being reintroduced to the system for reuse. Some chemicals introduced to the system may be temperature controlled. A back end vacuum pump subsystem separates gases from liquids as part of a waste management system.

    摘要翻译： 化学品管理方法和系统 在一个实施例中，搅拌器耦合到处理系统并且被配置为向系统提供适当的解决方案或解决方案。 混合器提供的解决方案然后从系统中回收并随后重新引入再利用。 在将溶液重新引入系统以重新使用之前，可以操作搅拌器以控制溶液中各种成分的浓度。 引入到系统中的一些化学品可以是温度控制的。 后端真空泵子系统将废气与液体分开，作为废物管理系统的一部分。