公开(公告)号：US20060262704A1

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：US11395719

申请日：2006-03-31

申请人： Hans-Jurgen Scherle ,  Yim-Bun Kwan ,  Stefan Xalter ,  Johannes Lippert ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Geuppert ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Franz Sorg ,  Willi Heintel ,  Harald Kirchner ,  Wolfgang Keller ,  Andreas Frommeyer ,  Fraser Morrison

发明人： Hans-Jurgen Scherle ,  Yim-Bun Kwan ,  Stefan Xalter ,  Johannes Lippert ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Geuppert ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Franz Sorg ,  Willi Heintel ,  Harald Kirchner ,  Wolfgang Keller ,  Andreas Frommeyer ,  Fraser Morrison

IPC分类号： G11B7/135

CPC分类号： G03F7/70225 ,  G02B17/0812

摘要： There is provided an optical element comprising an optical element body, a reflecting area and an optical passageway. The optical element body defines an axis of rotational symmetry. The reflecting area is disposed on the optical element body and adapted to be optically used in an exposure process. The optical passageway is arranged within the optical element body and allows light to pass the optical element body, the optical passageway being arranged eccentrically with respect to the axis of rotational symmetry.

摘要翻译： 提供了一种包括光学元件主体，反射区域和光学通道的光学元件。 光学元件主体限定旋转对称轴。 反射区域设置在光学元件主体上并且适于在曝光过程中被光学地使用。 光学通道布置在光学元件主体内并允许光通过光学元件主体，光学通道相对于旋转对称轴线偏心地布置。

公开(公告)号：US20060192328A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：US11304055

申请日：2005-12-14

申请人： Fraser Morrison ,  Johannes Lippert ,  Yim-Bun Kwan ,  Andreas Ochse

发明人： Fraser Morrison ,  Johannes Lippert ,  Yim-Bun Kwan ,  Andreas Ochse

IPC分类号： F16F13/00

CPC分类号： F16B11/006 ,  G02B7/008

摘要： A composite body is joined together of at least two bodies (13, 16), wherein the first body (16) is a component—or monolithically comprises a component—with very stringent requirements on the precision of its surface (typically an optical component) and wherein the second body (13) can have the broadest diversity of functions, for example carrying parts of a position-measuring arrangement or optical surfaces. Each of the two bodies (13, 16) has at least one connecting surface area (21), and the at least two respective connecting surface areas (21) lie opposite each other. Within the at least one connecting surface area (21) of one of the two bodies (13, 16) or in the proximity of said connecting surface area (21), at least one constructive means is arranged for isolating the first body (16) and/or the second body (13) from deformation.

摘要翻译： 复合体连接在一起的至少两个主体（13,16），其中第一主体（16）是组件或整体地包括部件 - 对其表面的精度（通常为光学部件）具有非常严格的要求， 并且其中所述第二主体（13）可以具有最广泛的功能多样性，例如携带位置测量装置的部件或光学表面。 两个主体（13,16）中的每一个具有至少一个连接表面区域（21），并且所述至少两个相应的连接表面区域（21）彼此相对。 在两个主体（13,16）中的一个的至少一个连接表面区域（21）内或在所述连接表面区域（21）附近，布置有至少一个结构化装置，用于隔离第一主体（16） 和/或第二主体（13）不变形。

公开(公告)号：US20080193201A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US11579458

申请日：2004-08-22

申请人： Yim-Bun Patrick Kwan ,  Stefan Xalter ,  Fraser Morrison ,  Maurice Wijckmans ,  David Kendall

发明人： Yim-Bun Patrick Kwan ,  Stefan Xalter ,  Fraser Morrison ,  Maurice Wijckmans ,  David Kendall

IPC分类号： F16L13/00

CPC分类号： G02B7/008 ,  Y10T403/217 ,  Y10T403/47

摘要： An optical assembly comprises a connecting body (1) consisting of at least a first and a second part (3, 4), the body (1) being connected to an assembly means (2) of a ceramic material wherein the assembly means (2) consists of at least a first and a second part (17, 18) separated by a gap (19).

摘要翻译： 光学组件包括由至少第一和第二部分（3,4）组成的连接体（1），所述主体（1）连接到陶瓷材料的组装装置（2），其中组装装置（2） ）由至少由间隙（19）分开的第一部分（17,18）组成。

公开(公告)号：US20100284652A1

公开(公告)日：2010-11-11

申请号：US12842624

申请日：2010-07-23

申请人： Fraser Morrison ,  Johannes Lippert ,  Yim-Bun Patrick Kwan ,  Andreas Ochse

发明人： Fraser Morrison ,  Johannes Lippert ,  Yim-Bun Patrick Kwan ,  Andreas Ochse

IPC分类号： G02B6/42

CPC分类号： F16B11/006 ,  G02B7/008

摘要： A composite body is joined together of at least two bodies (13, 16), wherein the first body (16) is a component—or monolithically comprises a component—with very stringent requirements on the precision of its surface (typically an optical component) and wherein the second body (13) can have the broadest diversity of functions, for example carrying parts of a position-measuring arrangement or optical surfaces. Each of the two bodies (13, 16) has at least one connecting surface area (21), and the at least two respective connecting surface areas (21) lie opposite each other. Within the at least one connecting surface area (21) of one of the two bodies (13, 16) or in the proximity of said connecting surface area (21), at least one constructive means is arranged for isolating the first body (16) and/or the second body (13) from deformation.

摘要翻译： 复合体连接在一起的至少两个主体（13,16），其中第一主体（16）是组件或整体地包括部件 - 对其表面的精度（通常为光学部件）具有非常严格的要求， 并且其中所述第二主体（13）可以具有最广泛的功能多样性，例如携带位置测量装置的部件或光学表面。 两个主体（13,16）中的每一个具有至少一个连接表面区域（21），并且所述至少两个相应的连接表面区域（21）彼此相对。 在两个主体（13,16）中的一个的至少一个连接表面区域（21）内或在所述连接表面区域（21）附近，布置有至少一个结构化装置，用于隔离第一主体（16） 和/或第二主体（13）不变形。