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    Optical element unit and method of supporting an optical element
    5.
    发明申请
    Optical element unit and method of supporting an optical element 有权
    光学元件单元和支撑光学元件的方法

    公开(公告)号：US20090147229A1

    公开(公告)日：2009-06-11

    申请号：US11901131

    申请日：2007-09-14

    申请人： Dirk Schaffer ,  Willi Heintel ,  Hagen Federau ,  Joachim Hartjes ,  Harald Kirchner

    发明人： Dirk Schaffer ,  Willi Heintel ,  Hagen Federau ,  Joachim Hartjes ,  Harald Kirchner

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G02B7/02

    CPC分类号： G02B7/026 ,  G02B7/008 ,  G03F7/70825

    摘要： There is provided an optical element unit comprising an optical element, a connector element, and an optical element holder. The optical element has a plane of main extension as well as an outer circumference and defines a radial direction. The connector element connects the optical element and the optical element holder, the connector element having a first connector part connected to the optical element at the outer circumference and a second connector part connected to the optical element holder. The first connector part and the second connector part are connected via at least one coupling part, the coupling part being compliant in the radial direction and substantially preventing rotation between the first connector part and the second connector part in a plane substantially parallel to the plane of main extension.

    摘要翻译： 提供了包括光学元件，连接器元件和光学元件保持器的光学元件单元。 光学元件具有主要延伸的平面以及外圆周并限定径向方向。 连接器元件连接光学元件和光学元件保持器，连接器元件具有在外周连接到光学元件的第一连接器部分和连接到光学元件保持器的第二连接器部件。 第一连接器部分和第二连接器部分经由至少一个联接部分连接，联接部分在径向上是柔性的，并且基本上防止第一连接器部分和第二连接器部分之间在基本上平行于 主要延伸。

    OPTICAL ELEMENT MODULE
    7.
    发明申请
    OPTICAL ELEMENT MODULE 审中-公开
    光学元件模块

    公开(公告)号：US20110063590A1

    公开(公告)日：2011-03-17

    申请号：US12951777

    申请日：2010-11-22

    申请人： Thomas Bischoff ,  Hagen Federau ,  Willi Heintel ,  Bernd Wuesthoff ,  Jochen Wieland

    发明人： Thomas Bischoff ,  Hagen Federau ,  Willi Heintel ,  Bernd Wuesthoff ,  Jochen Wieland

    IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/32

    CPC分类号： G03F7/70891 ,  G02B7/008 ,  G02B7/028 ,  G02B7/181 ,  G03F7/70825

    摘要： An optical element module comprising a plurality of module components is provided. The module components comprise an optical element, an optical element holder and a contact element. The optical element has a first coefficient of thermal expansion. The optical element holder holds the optical element via the first contact element and has a second coefficient of thermal expansion, the second coefficient of thermal expansion being different from the first coefficient of thermal expansion. At least one of the module components is adapted to provide at least a reduction of forces introduced into the optical element upon a thermally induced position change in the relative position between the optical element and the optical element holder, the position change resulting from a temperature situation variation in a temperature situation of the plurality of module components.

    摘要翻译： 提供了包括多个模块部件的光学元件模块。 模块组件包括光学元件，光学元件保持器和接触元件。 光学元件具有第一热膨胀系数。 光学元件保持器经由第一接触元件保持光学元件，并具有第二热膨胀系数，第二热膨胀系数不同于第一热膨胀系数。 模块部件中的至少一个适于在光学元件和光学元件保持器之间的相对位置的热感应位置变化时提供至少引入到光学元件中的力的减小，温度情况导致的位置变化 多个模块部件的温度变化的变化。

    Optical element module
    8.
    发明授权
    Optical element module 有权
    光学元件模块

    公开(公告)号：US07859641B2

    公开(公告)日：2010-12-28

    申请号：US12015894

    申请日：2008-01-17

    申请人： Thomas Bischoff ,  Hagen Federau ,  Willi Heintel ,  Bernd Wuesthoff ,  Jochen Wieland

    发明人： Thomas Bischoff ,  Hagen Federau ,  Willi Heintel ,  Bernd Wuesthoff ,  Jochen Wieland

    IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/42 ,  G03B27/32 ,  G02B7/02

    CPC分类号： G03F7/70891 ,  G02B7/008 ,  G02B7/028 ,  G02B7/181 ,  G03F7/70825

    摘要： An optical element module comprising a plurality of module components is provided. The module components comprise an optical element, an optical element holder and a contact element. The optical element has a first coefficient of thermal expansion. The optical element holder holds the optical element via the first contact element and has a second coefficient of thermal expansion, the second coefficient of thermal expansion being different from the first coefficient of thermal expansion. At least one of the module components is adapted to provide at least a reduction of forces introduced into the optical element upon a thermally induced position change in the relative position between the optical element and the optical element holder, the position change resulting from a temperature situation variation in a temperature situation of the plurality of module components.

    摘要翻译： 提供了包括多个模块部件的光学元件模块。 模块组件包括光学元件，光学元件保持器和接触元件。 光学元件具有第一热膨胀系数。 光学元件保持器经由第一接触元件保持光学元件，并具有第二热膨胀系数，第二热膨胀系数不同于第一热膨胀系数。 模块部件中的至少一个适于在光学元件和光学元件保持器之间的相对位置的热感应位置变化时提供至少引入到光学元件中的力的减小，温度情况导致的位置变化 多个模块部件的温度变化的变化。

    CONNECTING ARRANGEMENT FOR AN OPTICAL DEVICE
    9.
    发明申请
    CONNECTING ARRANGEMENT FOR AN OPTICAL DEVICE 有权
    连接光学设备的安装

    公开(公告)号：US20100065252A1

    公开(公告)日：2010-03-18

    申请号：US12561800

    申请日：2009-09-17

    申请人： Heiko Methe ,  Willi Heintel ,  Sascha Licht

    发明人： Heiko Methe ,  Willi Heintel ,  Sascha Licht

    IPC分类号： F28F27/00 ,  F16F1/18

    CPC分类号： G02B7/008 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70891

    摘要： The disclosure relates to a connecting arrangement for an optical device, such as in microlithography. The connecting arrangement includes a first body, a second body and a connecting device. The first body contacts the second body in a laminar manner in a contact region. The connecting device is connected to the second body and contacts the first body via at least one contact unit. The connecting device is configured to generate a predefinable contact force in the contact region between the first body and the second body. The contact unit includes a plurality of separate contact elements. Each contact element is connected to the second body via a spring unit which can be elastically deformed to generate a contribution to the contact force

    摘要翻译： 本公开涉及一种用于光学装置的连接装置，例如在微光刻中。 连接装置包括第一主体，第二主体和连接装置。 第一主体以接触区域中的层状方式接触第二主体。 连接装置连接到第二主体并经由至少一个接触单元接触第一主体。 连接装置构造成在第一主体和第二主体之间的接触区域中产生可预定的接触力。 接触单元包括多个单独的接触元件。 每个接触元件经由可弹性变形以产生对接触力的贡献的弹簧单元连接到第二主体