公开(公告)号：US06902317B2

公开(公告)日：2005-06-07

申请号：US10450709

申请日：2002-03-14

申请人： Hideomi Koinuma ,  Hitoshi Kawaji ,  Kenji Itaka ,  Hideki Minami

发明人： Hideomi Koinuma ,  Hitoshi Kawaji ,  Kenji Itaka ,  Hideki Minami

IPC分类号： G01N27/04 ,  G01K7/02 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  H01L35/34 ,  G01N25/00 ,  G01K3/00 ,  G01N25/20

CPC分类号： G01K7/02 ,  G01R31/26 ,  H01L35/00

摘要： A method and device for measuring thermoelectric characteristics of a combinatorial sample. The method and device are useful for rapid sample evaluation, the investigation of thermoelectric materials, and the carrier control of semiconductors. The device includes combinatorial samples patterned with a metal mask, a pair of sample holders for applying a small temperature gradient to the sample, a thermocouple for measuring the temperature gradient, and a probe pin array in contact with the sample.

摘要翻译： 一种用于测量组合样品的热电特性的方法和装置。 该方法和装置可用于快速样品评估，热电材料的研究和半导体的载体控制。 该装置包括用金属掩模图案化的组合样品，用于向样品施加小温度梯度的一对样品保持器，用于测量温度梯度的热电偶和与样品接触的探针针阵列。