公开(公告)号：US20150331183A1

公开(公告)日：2015-11-19

申请号：US14278689

申请日：2014-05-15

Applicant: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

Inventor： Brennan J. BROWN ,  James R. ELLIOTT ,  Qizhi LIU ,  Steven M. SHANK

IPC: G02B6/125 ,  H01L33/58 ,  H01L31/0232 ,  G02B6/132 ,  G02B6/136

CPC classification number: G02B6/125 ,  G02B6/122 ,  G02B6/132 ,  G02B6/136 ,  G02B2006/12061 ,  H01L31/02327 ,  H01L33/58

Abstract: Si waveguide devices on a bulk Si substrate with supporting anchors and methods of manufacture are disclosed. The method includes forming a waveguide device over an Si substrate, and forming one or more anchors from the Si substrate. The one or more anchors support the waveguide device.

Abstract translation: 公开了具有支撑锚固体和制造方法的体积Si衬底上的Si波导器件。 该方法包括在Si衬底上形成波导器件，并从Si衬底形成一个或多个锚固件。 一个或多个锚固件支撑波导装置。