公开(公告)号：US4842989A

公开(公告)日：1989-06-27

申请号：US134060

申请日：1987-12-17

申请人： Ichiro Taniguchi ,  Hideo Hotomi ,  Izumi Osawa

发明人： Ichiro Taniguchi ,  Hideo Hotomi ,  Izumi Osawa

IPC分类号： G03C1/72 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/16 ,  G03F7/36 ,  G03F7/38

CPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/167

摘要： A resist layer comprising an organic polymer which is formed by subjecting a methacrylate incorporating fluorine and/or an acrylate incorporating fluorine to a glow-discharge plasma polymerization process.Further, a process for forming resist pattern on the resist layer comprising a step of forming the resist layer; a step of forming a latent image by exposing the resist layer to an electron beam; and a step of visualizing the latent image by plasma etching.

摘要翻译： 包含有机聚合物的抗蚀层，该有机聚合物是通过使含有氟和/或含氟的丙烯酸酯的甲基丙烯酸酯进行辉光放电等离子体聚合过程而形成的。 此外，在抗蚀剂层上形成抗蚀剂图案的方法包括形成抗蚀剂层的步骤; 通过将抗蚀剂层暴露于电子束来形成潜像的步骤; 以及通过等离子体蚀刻使潜像可视化的步骤。

公开(公告)号：US5197846A

公开(公告)日：1993-03-30

申请号：US630189

申请日：1990-12-19

申请人： Masahito Uno ,  Koichi Sugimoto ,  Ichiro Taniguchi ,  Katuhisa Tanaka

发明人： Masahito Uno ,  Koichi Sugimoto ,  Ichiro Taniguchi ,  Katuhisa Tanaka

IPC分类号： B25J9/04 ,  B25J15/04 ,  B25J17/02 ,  B25J19/00

CPC分类号： B25J9/04 ,  B25J15/04 ,  B25J17/0283 ,  B25J19/0016 ,  Y10S414/13

摘要： A six-degree-of-freedom articulated robot mechanism includes a three-degree-of-freedom translation unit for adjusting the position. The translation unit includes an orientation maintaining mechanism which has a rotation articulation of the direct drive type connecting a drive motor directly to an arm, and a link mechanism. A three-degree-of-freedom rotation unit for adjusting the orientation includes three rotation articulators of the direct drive type connecting a drive motor directly to a table, and the axes of the three rotation articulators intersect one another at one point.

摘要翻译： 六自由度铰接机器人机构包括用于调节位置的三自由度平移单元。 平移单元包括定向保持机构，其具有将驱动马达直接连接到臂的直接驱动类型的旋转关节以及连杆机构。 用于调节姿势的三自由度旋转单元包括将驱动马达直接连接到工作台的直接驱动类型的三个旋转关节器，并且三个旋转咬合器的轴线在一个点彼此相交。

公开(公告)号：US5357439A

公开(公告)日：1994-10-18

申请号：US666927

申请日：1991-03-11

申请人： Kichie Matsuzaki ,  Kaoru Imai ,  Hideaki Suzuki ,  Hideaki Matoba ,  Masahiro Watanabe ,  Hidetoshi Inaba ,  Hisashi Onari ,  Masahito Uno ,  Toru Mita ,  Ichiro Taniguchi ,  Koichi Sugimoto ,  Yoshio Matsumoto

发明人： Kichie Matsuzaki ,  Kaoru Imai ,  Hideaki Suzuki ,  Hideaki Matoba ,  Masahiro Watanabe ,  Hidetoshi Inaba ,  Hisashi Onari ,  Masahito Uno ,  Toru Mita ,  Ichiro Taniguchi ,  Koichi Sugimoto ,  Yoshio Matsumoto

IPC分类号： B23Q41/00 ,  G05B15/02 ,  G05B19/418 ,  G06Q50/00 ,  G06Q50/04 ,  G06F15/46

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31389 ,  G05B2219/32024 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/265

摘要： The present invention relates to a manufacturing system which accepts a custom order of product from a customer and custom manufactures a product without sacrificing manufacturing efficiency. The manufacturing system includes the featuring steps of inputting the required specification of a product, creating the product design based on the design information of the product transmitted from a designing department, status data from the production department, and the input required specification, showing the created product design to the customer, selectively indicating a product to be purchased, transmitting the specification of the selected product to the production department, and producing a product based on the selected product specification.

摘要翻译： 本发明涉及一种接受来自客户的定制产品订单的制造系统，并定制制造产品而不牺牲制造效率。 制造系统包括以下步骤：输入产品所需的规格，根据从设计部门传送的产品的设计信息，生产部门的状态数据和输入要求的规格，创建产品设计，显示所创建的 产品设计给客户，选择性地指示要购买的产品，将所选产品的规格传输给生产部门，并根据所选产品规格生产产品。