公开(公告)号：US06886240B2

公开(公告)日：2005-05-03

申请号：US10617836

申请日：2003-07-11

申请人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

发明人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01M10/04

CPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/5096 ,  Y10T29/49115 ,  Y10T29/53135

摘要： An apparatus for producing a thin film electrolyte is provided wherein a volatile lithium-containing precursor and a volatile phosphate-containing precursor are mixed into a plasma generated from a plasma source. The mixture is then deposited upon a substrate. The apparatus has a plasma source (13) having a primary plenum (16) and a secondary plenum (23). The primary plenum is in fluid communication with a source of nitrogen gas (47) and a source of hydrogen gas (51). The secondary plenum is in fluid communication with a first bubbler (31) and a second bubbler (38).

摘要翻译： 提供了一种用于制造薄膜电解质的设备，其中将挥发性含锂前体和含挥发性磷酸盐的前体混合到由等离子体源产生的等离子体中。 然后将混合物沉积在基底上。 该装置具有具有主增压室（16）和次级增压室（23）的等离子体源（13）。 主气室与氮气源（47）和氢气源（51）流体连通。 次级增压室与第一起泡器（31）和第二起泡器（38）流体连通。

公开(公告)号：US06852139B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US10617839

申请日：2003-07-11

申请人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

发明人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

IPC分类号： C23C16/30 ,  C23C16/513 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562 ,  H01M10/36 ,  H01M10/38

CPC分类号： C23C16/513 ,  C23C16/30 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562 ,  Y10T29/49115

摘要： A process of producing a thin film electrolyte is provided wherein a volatile lithium-containing precursor and a volatile phosphate-containing precursor are mixed into a plasma generated from a plasma source. The mixture is then deposited upon a substrate. The process is conducted with the use of a system (11) having a plasma source (13) having a primary plenum (16) and a secondary plenum (23). The primary plenum is in fluid communication with a source of nitrogen gas (47) and a source of hydrogen gas (51). The secondary plenum is in fluid communication with a first bubbler (31) and a second bubbler (38).

摘要翻译： 提供一种生产薄膜电解质的方法，其中将挥发性含锂前体和含挥发性磷酸盐前体混合到由等离子体源产生的等离子体中。 然后将混合物沉积在基底上。 该方法使用具有等离子体源（13）的具有主增压室（16）和次级增压室（23）的系统（11）进行。 主气室与氮气源（47）和氢气源（51）流体连通。 次级增压室与第一起泡器（31）和第二起泡器（38）流体连通。

公开(公告)号：US20050016458A1

公开(公告)日：2005-01-27

申请号：US10617836

申请日：2003-07-11

申请人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

发明人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01M10/04

CPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/5096 ,  Y10T29/49115 ,  Y10T29/53135

摘要： An apparatus for producing a thin film electrolyte is provided wherein a volatile lithium-containing precursor and a volatile phosphate-containing precursor are mixed into a plasma generated from a plasma source. The mixture is then deposited upon a substrate. The apparatus has a plasma source (13) having a primary plenum (16) and a secondary plenum (23). The primary plenum is in fluid communication with a source of nitrogen gas (47) and a source of hydrogen gas (51). The secondary plenum is in fluid communication with a first bubbler (31) and a second bubbler (38).

摘要翻译： 提供了一种用于制造薄膜电解质的设备，其中将挥发性含锂前体和含挥发性磷酸盐的前体混合到由等离子体源产生的等离子体中。 然后将混合物沉积在基底上。 该装置具有具有主增压室（16）和次级增压室（23）的等离子体源（13）。 主气室与氮气源（47）和氢气源（51）流体连通。 次级增压室与第一起泡器（31）和第二起泡器（38）流体连通。

公开(公告)号：US20050008772A1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：US10617839

申请日：2003-07-11

申请人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

发明人： Ji-Guang Zhang ,  Lamartine Meda ,  Eleston Maxie

IPC分类号： C23C16/30 ,  C23C16/513 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562 ,  H01M10/36 ,  B05D5/12

CPC分类号： C23C16/513 ,  C23C16/30 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562 ,  Y10T29/49115

摘要： A process of producing a thin film electrolyte is provided wherein a volatile lithium-containing precursor and a volatile phosphate-containing precursor are mixed into a plasma generated from a plasma source. The mixture is then deposited upon a substrate. The process is conducted with the use of a system (11) having a plasma source (13) having a primary plenum (16) and a secondary plenum (23). The primary plenum is in fluid communication with a source of nitrogen gas (47) and a source of hydrogen gas (51). The secondary plenum is in fluid communication with a first bubbler (31) and a second bubbler (38).

摘要翻译： 提供一种生产薄膜电解质的方法，其中将挥发性含锂前体和含挥发性磷酸盐前体混合到由等离子体源产生的等离子体中。 然后将混合物沉积在基底上。 该方法使用具有等离子体源（13）的具有主增压室（16）和次级增压室（23）的系统（11）进行。 主气室与氮气源（47）和氢气源（51）流体连通。 次级增压室与第一起泡器（31）和第二起泡器（38）流体连通。