公开(公告)号：US20050049137A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：US10927266

申请日：2004-08-26

申请人： Kunihide Shikata ,  Shugo Onitsuka ,  Yucong Wang ,  Hiroaki Seno

发明人： Kunihide Shikata ,  Shugo Onitsuka ,  Yucong Wang ,  Hiroaki Seno

IPC分类号： C04B35/106 ,  C04B35/119 ,  C04B35/645

CPC分类号： C04B35/6455 ,  C04B35/119 ,  C04B35/6303 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3246 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6582 ,  C04B2235/664 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/788 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963

摘要： Alumina/zirconia ceramics containing Al2O3 in an amount of not less than 65 mass % and ZrO2 in an amount of 4 to 34 mass %, and further containing TiO2, MgO and SiO2. The ceramics effectively suppresses the growth of shape isotropic particles of alumina, suppresses the growth of zirconia particles, and has a high strength and a high hardness. Besides, the ceramics containing SrO features a high fracture toughness.

摘要翻译： 含有不少于65质量％的Al 2 O 3和4〜34质量％的ZrO 2的氧化铝/氧化锆陶瓷，还含有TiO 2，MgO和SiO 2。 陶瓷有效抑制氧化铝形状各向同性颗粒的生长，抑制氧化锆颗粒的生长，并具有高强度和高硬度。 此外，含有SrO的陶瓷具有高断裂韧性。

公开(公告)号：US20080118722A1

公开(公告)日：2008-05-22

申请号：US11795599

申请日：2006-01-24

申请人： Kunihide Shikata ,  Yucong Wang ,  Hiroaki Seno ,  Shugo Onitsuka

发明人： Kunihide Shikata ,  Yucong Wang ,  Hiroaki Seno ,  Shugo Onitsuka

IPC分类号： C04B35/106 ,  B32B5/00

CPC分类号： C04B35/119 ,  C04B35/4885 ,  C04B35/62685 ,  C04B35/6303 ,  C04B35/64 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3241 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/78 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/788 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2235/9669 ,  Y10T428/24942

摘要： A composite ceramic of the present invention includes granular alumina particles (A) having an aspect ratio of 3 or less, granular zirconia particles (B) having an aspect ratio of 3 or less, and a columnar crystal (C) having an aspect ratio of 3 or more, the columnar crystal including a complex metal oxide containing an alkaline-earth metal element and aluminum element. The composite ceramic has high flexural strength, toughness, and hardness, and achieves excellent hot-water resistance and high flexural strength after hydrothermal degradation resistance test.

摘要翻译： 本发明的复合陶瓷包括纵横比为3以下的粒状氧化铝粒子（A），长径比为3以下的粒状氧化锆粒子（B）和长径比为3以下的柱状晶体（C） 3以上，所述柱状晶体包括含有碱土金属元素和铝元素的复合金属氧化物。 该复合陶瓷具有高的弯曲强度，韧性和硬度，并且在耐水热退化试验后具有优异的耐热水性和高抗弯强度。

公开(公告)号：US07148167B2

公开(公告)日：2006-12-12

申请号：US10927266

申请日：2004-08-26

申请人： Kunihide Shikata ,  Shugo Onitsuka ,  Yucong Wang ,  Hiroaki Seno

发明人： Kunihide Shikata ,  Shugo Onitsuka ,  Yucong Wang ,  Hiroaki Seno

IPC分类号： C04B35/119

CPC分类号： C04B35/6455 ,  C04B35/119 ,  C04B35/6303 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3246 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6582 ,  C04B2235/664 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/788 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963

摘要： Alumina/zirconia ceramics containing Al2O3 in an amount of not less than 65 mass % and ZrO2 in an amount of 4 to 34 mass %, and further containing TiO2, MgO and SiO2. The ceramics effectively suppresses the growth of shape isotropic particles of alumina, suppresses the growth of zirconia particles, and has a high strength and a high hardness. Besides, the ceramics containing SrO features a high fracture toughness.

摘要翻译： 含有不少于65质量％的Al 2 O 3 3的氧化铝/氧化锆陶瓷和ZrO 2 2的量为4〜34的氧化铝/氧化锆陶瓷 质量％，还含有TiO 2，MgO和SiO 2。 陶瓷有效抑制氧化铝形状各向同性颗粒的生长，抑制氧化锆颗粒的生长，并具有高强度和高硬度。 此外，含有SrO的陶瓷具有高断裂韧性。

公开(公告)号：US09073790B2

公开(公告)日：2015-07-07

申请号：US14001129

申请日：2012-02-22

申请人： Tatsuji Furuse ,  Hiroaki Seno ,  Shuichi Iida ,  Kouki Okayama ,  Toshiaki Shigeoka

发明人： Tatsuji Furuse ,  Hiroaki Seno ,  Shuichi Iida ,  Kouki Okayama ,  Toshiaki Shigeoka

IPC分类号： C04B35/195 ,  C04B35/185 ,  C04B35/626 ,  C04B35/645

CPC分类号： C04B35/195 ,  C04B35/185 ,  C04B35/62685 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3243 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3463 ,  C04B2235/3481 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2235/9692

摘要： A cordierite sintered body and a member for semiconductor manufacturing apparatus are disclosed. The cordierite sintered body includes a crystal phase and an amorphous phase. The crystal phase includes a main crystal phase that essentially consists of cordierite crystal grains; and a sub crystal phase that includes sub crystal grains containing alumina, mullite or sapphirine. The amorphous phase contains calcium and is located at grain boundaries of the cordierite crystal grains and the sub crystal grains. A crystal phase proportion of the main crystal phase to the crystal phase (or total of the main crystal phase and the sub crystal phase) is 95% to 97.5% by mass or less. A crystal phase proportion of the sub crystal phase to the crystal phase is 2.5% to 5% by mass or less. The sintered body contains calcium by 0.4% to 0.6% by mass or less in terms of CaO.

摘要翻译： 公开了一种堇青石烧结体和半导体制造装置用部件。 堇青石烧结体包括结晶相和非晶相。 晶相包括主要由堇青石晶粒组成的主晶相; 以及包含含有氧化铝，莫来石或蓝宝石的亚晶粒的亚晶相。 非晶相含有钙，位于堇青石晶粒和亚晶粒的晶界。 主晶相与结晶相（或主晶相和亚晶相的合计）的结晶相比例为95％〜97.5质量％以下。 亚晶相与结晶相的结晶相比例为2.5质量％〜5质量％以下。 烧结体含有以CaO计为0.4〜0.6质量％以下的钙。

公开(公告)号：US08247337B2

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：US12745246

申请日：2010-05-27

申请人： Tatsuji Furuse ,  Shinya Yokomine ,  Hiroaki Seno

发明人： Tatsuji Furuse ,  Shinya Yokomine ,  Hiroaki Seno

IPC分类号： C04B35/195 ,  C04B35/10

CPC分类号： C04B35/111 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3481 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/96

摘要： An alumina sintered article comprising 99.3 mass % or more Al in terms of Al2O3, strontium and silicon is disclosed. The alumina sintered article also comprises alumina crystal grains and an oxide crystal comprising aluminum, silicon, strontium located at a triple pocket surrounded by three or more alumina crystal grains. The alumina sintered article improves dielectric loss in the megahertz to gigahertz bands while maintaining corrosion resistance, mechanical properties of alumina.

摘要翻译： 公开了以Al2O3，锶和硅为基础，含有99.3质量％以上的Al的氧化铝烧结体。 氧化铝烧结制品还包括氧化铝晶粒和包含铝，硅，锶的氧化物晶体，其位于由三个或更多个氧化铝晶粒包围的三重穴。 氧化铝烧结制品改善了兆赫兹到兆赫兹带的介电损耗，同时保持了耐腐蚀性，氧化铝的机械性能。

公开(公告)号：US20100311563A1

公开(公告)日：2010-12-09

申请号：US12745246

申请日：2008-11-11

申请人： Tatsuji Furuse ,  Shinya Yokomine ,  Hiroaki Seno

发明人： Tatsuji Furuse ,  Shinya Yokomine ,  Hiroaki Seno

IPC分类号： C04B35/101 ,  C04B35/18

CPC分类号： C04B35/111 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3481 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/96

摘要： An alumina sintered article comprising 99.3 mass % or more Al in terms of Al2O3, strontium and silicon is disclosed. The alumina sintered article also comprises alumina crystal grains and an oxide crystal comprising aluminum, silicon, strontium located at a triple pocket surrounded by three or more alumina crystal grains. The alumina sintered article improves dielectric loss in the megahertz to gigahertz bands while maintaining corrosion resistance, mechanical properties of alumina.

摘要翻译： 公开了以Al2O3，锶和硅为基础，含有99.3质量％以上的Al的氧化铝烧结体。 氧化铝烧结制品还包括氧化铝晶粒和包含铝，硅，锶的氧化物晶体，其位于由三个或更多个氧化铝晶粒包围的三重穴。 氧化铝烧结制品改善了兆赫兹到兆赫兹带的介电损耗，同时保持了耐腐蚀性，氧化铝的机械性能。