公开(公告)号：US20040115950A1

公开(公告)日：2004-06-17

申请号：US10669467

申请日：2003-09-25

Applicant: LG.Philips LCD Co. Ltd.

Inventor： Gee-Sung Chae ,  Gyoo-Chul Jo ,  Yong-Sup Hwang

IPC: H01L021/302 ,  H01L021/461

CPC classification number: H01L29/66765 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/28123 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/32135 ,  H01L21/32139

Abstract: A pattern forming method includes: forming an etching-subject layer on a substrate; forming a Ti layer on the etching-subject layer; forming a TiOx layer by irradiating light on a portion of the Ti layer using a mask; etching the Ti layer to form a TiOx pattern; etching the etching-subject layer using the TiOx pattern as a mask; and removing the TiOx pattern.

Abstract translation: 图案形成方法包括：在基板上形成蚀刻对象层; 在蚀刻对象层上形成Ti层; 通过使用掩模在所述Ti层的一部分上照射光来形成TiO x层; 蚀刻Ti层以形成TiOx图案; 使用TiOx图案作为掩模蚀刻蚀刻对象层; 并去除TiOx图案。

公开(公告)号：US20030144162A1

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：US10267047

申请日：2002-10-09

Applicant: LG.PHILIPS LCD CO., LTD.

Inventor： Gee-Sung Chae ,  Yong-Sup Hwang ,  Cyoo-Chul Jo ,  Oh-Nam Kwon ,  Kyoung-Mook Lee ,  Byung-Uk Kim ,  Sang-Dai Lee ,  Jong-Soon Yoo

IPC: C11D001/00

CPC classification number: C11D11/0047 ,  C11D7/263 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/3263 ,  C11D7/3281 ,  C11D7/5013 ,  G03F7/425 ,  Y10S134/902

Abstract: A composition for removing a copper-compatible resist includes about 10% to about 30% by weight of an amine compound, about 10% to about 80% by weight of a glycolether compound, and about 10% to about 80% by weight of a polar solvent.

Abstract translation: 用于除去铜相容抗蚀剂的组合物包括约10％至约30％重量的胺化合物，约10％至约80％重量的乙二醇醚化合物和约10％至约80％重量的 极性溶剂。

公开(公告)号：US20030124851A1

公开(公告)日：2003-07-03

申请号：US10331726

申请日：2002-12-31

Applicant: LG.Philips LCD Co., Ltd.

Inventor： Gyoo-Chul Jo ,  Gee-Sung Chae ,  Yong-Sup Hwang ,  Oh-Nam Kwon ,  Kyoung-Mook Lee ,  Kui-Jong Baek ,  Tai-Hyung Rhee

IPC: H01L021/00 ,  H01L021/302

CPC classification number: H01L21/32134 ,  C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  Y10S436/80

Abstract: An etching solution for etching one of a copper single metal layer and a copper (Cu)/titanium (Ti) double metal layer that serves as one of a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode of a thin film transistor for a liquid crystal display (LCD) device includes oxone, fluoric compounds, one of a reducing agent and a weak oxidizing agent, an etching rate restrainer, KHF2, and water.

Abstract translation: 一种蚀刻溶液，用于蚀刻用作薄膜晶体管的栅电极，源电极和漏电极之一的铜单金属层和铜（Cu）/钛（Ti）双金属层之一， 液晶显示器（LCD）装置包括牛酮，氟化合物，还原剂和弱氧化剂之一，蚀刻速率抑制剂，KHF 2和水。

公开(公告)号：US20030117539A1

公开(公告)日：2003-06-26

申请号：US10308118

申请日：2002-12-03

Applicant: LG.Philips LCD Co, Ltd.

Inventor： Yong-Sup Hwang ,  Gee-Sung Chae

IPC: G02F001/1343

CPC classification number: G02F1/1345 ,  G02F2001/136295

Abstract: A copper alloy for an electrical line of a liquid crystal display device that includes pure copper and an amount of indium.

Abstract translation: 一种用于液晶显示装置的电线的铜合金，其包括纯铜和一定量的铟。

公开(公告)号：US20040119902A1

公开(公告)日：2004-06-24

申请号：US10631725

申请日：2003-08-01

Applicant: LG.Philips LCD Co., Ltd.

Inventor： Gee-Sung Chae ,  Gyoo-Chul Jo ,  Yong-Sup Hwang

IPC: G02F001/136

CPC classification number: G02F1/1368 ,  G02F2001/136295

Abstract: A liquid crystal display device includes a plurality of gate lines and data lines on a first substrate defining a plurality of pixel regions, a thin film transistor within the pixel regions, a pixel electrode within the pixel regions, and at least one TiOx layer provided with the thin film transistor.

Abstract translation: 一种液晶显示装置包括在限定多个像素区域的第一基板上的多条栅极线和数据线，像素区域内的薄膜晶体管，像素区域内的像素电极以及设置有像素区域的至少一个TiO x层 薄膜晶体管。