公开(公告)号：US20070296306A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rosler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rosler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H3/10 ,  H01L41/083 ,  H03H9/02 ,  H03H9/08

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 该元件包括具有第一热膨胀系数的压电基片，在该基片的上侧上的导电元件结构，该基片的下侧上的补偿层和一层SiO 2层 元素结构。

公开(公告)号：US07589452B2

公开(公告)日：2009-09-15

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H9/25

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 元件包括具有第一热膨胀系数的压电基板，在基板的上侧上的导电元件结构，在基板的下侧上的补偿层，以及元件结构上的SiO 2层。

公开(公告)号：US20100109485A1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：US12445507

申请日：2007-10-12

申请人： Ulrike Roesler ,  Evelyn Riha ,  Werner Ruile

发明人： Ulrike Roesler ,  Evelyn Riha ,  Werner Ruile

IPC分类号： H01L41/04 ,  H01L41/047

CPC分类号： H03H9/02551

摘要： An electroacoustic component includes a substrate that includes a quartz single crystal. The quartz single crystal has a first Euler angle λ: −5°≦λ≦5°, a second Euler angle μ, and a third Euler angle θ. A contiguous region of the quartz single crystal has the following vertices Pi(μi, θi): (23°, 20°), (60°, 17°), (110°, 30°), (105°, 42°), (60°, 30°), (23°, 25°).

摘要翻译： 电声部件包括包括石英单晶的基板。 石英单晶具有第一欧拉角λ：-5°＆nlE;λ＆nlE; 5°，第二欧拉角μ和第三欧拉角度。 石英单晶的连续区域具有以下顶点Pi（μi，＆Thetas; i）：（23°，20°），（60°，17°），（110°，30°），（105°，42° °），（60°，30°），（23°，25°）。

公开(公告)号：US08247955B2

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：US12445507

申请日：2007-10-12

申请人： Ulrike Roesler ,  Evelyn Riha ,  Werner Ruile

发明人： Ulrike Roesler ,  Evelyn Riha ,  Werner Ruile

IPC分类号： H01L41/04

CPC分类号： H03H9/02551

摘要： An electroacoustic component includes a substrate that includes a quartz single crystal. The quartz single crystal has a first Euler angle λ: −5°≦λ≦5°, a second Euler angle μ, and a third Euler angle θ. A contiguous region of the quartz single crystal has the following vertices Pi(μi, θi): (23°, 20°), (60°, 17°), (110°, 30°), (105°, 42°), (60°, 30°), (23°, 25°).

摘要翻译： 电声部件包括包括石英单晶的基板。 石英单晶具有第一欧拉角λ：-5°＆nlE;λ＆nlE; 5°，第二欧拉角μ和第三欧拉角度。 石英单晶的连续区域具有以下顶点Pi（μi，＆Thetas; i）：（23°，20°），（60°，17°），（110°，30°），（105°，42° °），（60°，30°），（23°，25°）。