公开(公告)号：US20070296306A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rosler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rosler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H3/10 ,  H01L41/083 ,  H03H9/02 ,  H03H9/08

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 该元件包括具有第一热膨胀系数的压电基片，在该基片的上侧上的导电元件结构，该基片的下侧上的补偿层和一层SiO 2层 元素结构。

公开(公告)号：US07589452B2

公开(公告)日：2009-09-15

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H9/25

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 元件包括具有第一热膨胀系数的压电基板，在基板的上侧上的导电元件结构，在基板的下侧上的补偿层，以及元件结构上的SiO 2层。

公开(公告)号：US07459991B2

公开(公告)日：2008-12-02

申请号：US10542970

申请日：2003-12-16

申请人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler ,  Ulrich Wolff ,  Anton Leidl ,  Gerd Scholl ,  Markus Hauser ,  Ulrich Knauer

发明人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler ,  Ulrich Wolff ,  Anton Leidl ,  Gerd Scholl ,  Markus Hauser ,  Ulrich Knauer

IPC分类号： H03H9/72 ,  H01L41/083

CPC分类号： H03H9/02929 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/14538

摘要： An apparatus including a piezoelectric substrate having at least one transducer electrode structure. The structure having a metallization formed by one or more metals with a mean specific density that is at least 50% higher than that of aluminum. The structure having a compensation layer that is applied fully or partially over the metallization. The compensation layer is of a material having a temperature dependence of elastic constants that counteracts the temperature coefficient of frequency of the substrate. The compensation layer has a thickness that is less than 15% of an acoustic wavelength of a wave capable of propagation in the structure.

摘要翻译： 一种包括具有至少一个换能器电极结构的压电基片的装置。 该结构具有由一种或多种平均比密度比铝高至少50％的金属形成的金属化。 该结构具有完全或部分地施加在金属化之上的补偿层。 补偿层是具有与基板的频率的温度系数抵消的弹性常数的温度依赖性的材料。 补偿层的厚度小于能够在结构中传播的波的声波长的15％。

公开(公告)号：US20060103486A1

公开(公告)日：2006-05-18

申请号：US10542970

申请日：2003-12-16

申请人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler ,  Ulrich Wolff ,  Anton Leidl ,  Gerd Scholl ,  Markus Hauser ,  Ulrich Knauer

发明人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler ,  Ulrich Wolff ,  Anton Leidl ,  Gerd Scholl ,  Markus Hauser ,  Ulrich Knauer

IPC分类号： H03H9/70

CPC分类号： H03H9/02929 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/14538

摘要： SAW component with improved temperature coefficient of frequency To reduce losses in a SAW component assembled on a piezoelectric substrate (S), the mass load on the metallization (M) is increased until the propagation velocity of the surface wave comes to rest below the propagation velocity of the fast shear wave. To limit the increase in the temperature coefficient of frequency in this process, a metallization with a significantly higher specific density than [that of] Al is used. The temperature coefficient of frequency of the component is simultaneously reduced by a compensation layer (K) applied to essentially the entire surface, said compensation layer being made of a material having a temperature dependency of the elastic coefficient that counteracts that of the substrate-metallization combination.

摘要翻译： 具有改善的频率温度系数的SAW组件为了减少组装在压电衬底（S）上的SAW元件的损耗，金属化（M）上的质量负载增加，直到表面波的传播速度降到低于传播速度 的快剪切波。 为了限制该过程中的频率温度系数的增加，使用比[Al]的比密度显着更高的金属化。 通过施加到基本上整个表面的补偿层（K）同时降低部件的频率的温度系数，所述补偿层由具有与基板金属化组合的弹性系数抵消的弹性系数的温度依赖性的材料制成 。

公开(公告)号：US20130320805A1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：US13991148

申请日：2011-12-06

申请人： Werner Ruile ,  Markus Mayer ,  Ulrike Rösler ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha ,  Christoph Eggs

发明人： Werner Ruile ,  Markus Mayer ,  Ulrike Rösler ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha ,  Christoph Eggs

IPC分类号： H01L41/047

CPC分类号： H01L41/047 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02858 ,  H03H9/02881 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/14532 ,  H03H9/14552 ,  H03H9/1457

摘要： The present invention relates to an electroacoustic transducer which is arranged in an acoustic track (AS) and on a piezoelectric substrate (11) and which has two electrodes (1, 2) which are arranged on the substrate (11) and which have interengaging electrode fingers (3, 4) for exciting acoustic waves. The electrode fingers (3, 4) of an electrode (1, 2) are interconnected. The transducer also has means for increasing the mass occupation in a central excitation region (ZAB) which runs parallel to the acoustic track (AS), and the mass occupation in the central excitation region (ZAB) is higher than in an edge region (RB) which adjoins the central excitation region (ZAB) from both sides.

摘要翻译： 本发明涉及一种布置在声轨（AS）和压电基片（11）上的电声换能器，它具有布置在基片（11）上的两个电极（1,2），并具有相互接合的电极 用于激发声波的手指（3,4）。 电极（1,2）的电极指（3,4）相互连接。 换能器还具有增加在与声轨（AS）平行的中心激励区域（ZAB）中的质量占有的装置，并且中心激励区域（ZAB）中的质量占据高于边缘区域（RB） ），其从两侧邻接中心激励区域（ZAB）。

公开(公告)号：US08674583B2

公开(公告)日：2014-03-18

申请号：US13139756

申请日：2009-12-16

申请人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha

发明人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： H03H3/02 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02535 ,  H03H9/02645 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/6409

摘要： A component that operates with acoustic waves includes a substrate including a piezoelectric material, a first electrode plane in which bottom electrode structures including an acoustically active bottom electrode are arranged directly on the substrate, and a top electrode arranged above the bottom electrode plane and which is electrically conductively connected to the bottom electrode structures, wherein excitation of the acoustic waves during operation of the component is effected exclusively or predominantly through the bottom electrode structures.

摘要翻译： 使用声波操作的部件包括：基板，包括压电材料;第一电极平面，其中包括声学活性底部电极的底部电极结构直接布置在基板上;以及顶部电极，其设置在底部电极平面的上方， 导电连接到底部电极结构，其中在组件的操作期间的声波的激发专门或主要通过底部电极结构实现。

公开(公告)号：US09391256B2

公开(公告)日：2016-07-12

申请号：US13991148

申请日：2011-12-06

申请人： Werner Ruile ,  Markus Mayer ,  Ulrike Rösler ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha ,  Christoph Eggs

发明人： Werner Ruile ,  Markus Mayer ,  Ulrike Rösler ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha ,  Christoph Eggs

IPC分类号： H03H9/25 ,  H01L41/047 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145

CPC分类号： H01L41/047 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02858 ,  H03H9/02881 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/14532 ,  H03H9/14552 ,  H03H9/1457

摘要： The present invention relates to an electroacoustic transducer which is arranged in an acoustic track (AS) and on a piezoelectric substrate (11) and which has two electrodes (1, 2) which are arranged on the substrate (11) and which have interengaging electrode fingers (3, 4) for exciting acoustic waves. The electrode fingers (3, 4) of an electrode (1, 2) are interconnected. The transducer also has means for increasing the mass occupation in a central excitation region (ZAB) which runs parallel to the acoustic track (AS), and the mass occupation in the central excitation region (ZAB) is higher than in an edge region (RB) which adjoins the central excitation region (ZAB) from both sides.

摘要翻译： 本发明涉及一种布置在声轨（AS）和压电基片（11）上的电声换能器，它具有布置在基片（11）上的两个电极（1,2），并具有相互接合的电极 用于激发声波的手指（3,4）。 电极（1,2）的电极指（3,4）相互连接。 换能器还具有增加在与声轨（AS）平行的中心激励区域（ZAB）中的质量占有的装置，并且中心激励区域（ZAB）中的质量占据高于边缘区域（RB） ），其从两侧邻接中心激励区域（ZAB）。

公开(公告)号：US20120007475A1

公开(公告)日：2012-01-12

申请号：US13139756

申请日：2009-12-16

申请人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha

发明人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ingo Bleyl ,  Gerd Riha

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/22 ,  H01L41/16

CPC分类号： H03H3/02 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02535 ,  H03H9/02645 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/6409

摘要： A component that operates with acoustic waves includes a substrate including a piezoelectric material, a first electrode plane in which bottom electrode structures including an acoustically active bottom electrode are arranged directly on the substrate, and a top electrode arranged above the bottom electrode plane and which is electrically conductively connected to the bottom electrode structures, wherein excitation of the acoustic waves during operation of the component is effected exclusively or predominantly through the bottom electrode structures.

摘要翻译： 使用声波操作的部件包括：基板，包括压电材料;第一电极平面，其中包括声学活性底部电极的底部电极结构直接布置在基板上;以及顶部电极，其设置在底部电极平面的上方， 导电连接到底部电极结构，其中在组件的操作期间的声波的激发专门或主要通过底部电极结构实现。

公开(公告)号：US07948333B2

公开(公告)日：2011-05-24

申请号：US12093531

申请日：2006-11-20

申请人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ulrike Roesler

发明人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ulrike Roesler

IPC分类号： H03H9/02 ,  H01L41/08

CPC分类号： H03H9/0222 ,  H03H3/02

摘要： A component working with guided acoustic waves includes a layer system configured to guide waves in a lateral plane. The layer system includes a piezoelectric layer, electrodes on the piezoelectric layer for exciting the wave, a dielectric layer with an acoustic impedance, and an adjustment layer with an acoustic impedance. A ratio of the acoustic impedance of the adjustment layer to the acoustic impedance of the dielectric layer is greater than 1.5.

摘要翻译： 使用引导声波的部件包括被配置为在横向平面中引导波的层系统。 层系统包括压电层，用于激发波的压电层上的电极，具有声阻抗的介电层和具有声阻抗的调节层。 调整层的声阻抗与电介质层的声阻抗之比大于1.5。

公开(公告)号：US20080266024A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：US12093531

申请日：2006-11-20

申请人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ulrike Roesler

发明人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ulrike Roesler

IPC分类号： H03H9/02

CPC分类号： H03H9/0222 ,  H03H3/02

摘要： A component working with guided acoustic waves includes a layer system configured to guide waves in a lateral plane. The layer system includes a piezoelectric layer, electrodes on the piezoelectric layer for exciting the wave, a dielectric layer with an acoustic impedance, and an adjustment layer with an acoustic impedance. A ratio of the acoustic impedance of the adjustment layer to the acoustic impedance of the dielectric layer is greater than 1.5.

摘要翻译： 使用引导声波的部件包括被配置为在横向平面中引导波的层系统。 层系统包括压电层，用于激发波的压电层上的电极，具有声阻抗的介电层和具有声阻抗的调节层。 调整层的声阻抗与电介质层的声阻抗之比大于1.5。