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    Method for manufacturing microstructure
    1.
    发明授权
    Method for manufacturing microstructure 有权
    微结构制造方法

    公开(公告)号：US07033515B2

    公开(公告)日：2006-04-25

    申请号：US10686764

    申请日：2003-10-17

    申请人： Norinao Kouma ,  Yoshihiro Mizuno ,  Osamu Tsuboi ,  Hisao Okuda ,  Hiromitsu Soneda ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Yoshitaka Nakamura

    发明人： Norinao Kouma ,  Yoshihiro Mizuno ,  Osamu Tsuboi ,  Hisao Okuda ,  Hiromitsu Soneda ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Yoshitaka Nakamura

    IPC分类号： H01L21/00

    CPC分类号： B81C1/00182 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/014 ,  B81C2201/0174 ,  G02B26/0841

    摘要： A method is for manufacturing a microstructure having a thin-walled portion with use of a material substrate. The material substrate has a laminated structure which includes a first conductor layer 101, a second conductor layer 102, a third conductor layer 103, a first insulating layer 104 interposed between the first conductor layer and the second conductor layer, and a second insulating layer 105 interposed between the second conductor layer and the third conductor layer. The first insulating layer is patterned to have a first masking part for covering a thin-wall forming region of the second conductor layer. The second insulating layer is patterned to have a second masking part for covering the thin-wall forming region of the second conductor layer. The method includes forming the thin-walled portion in the second conductor portion by etching the material substrate from the first conductor layer down to the second insulating layer via a mask pattern 58 including a non-masking region corresponding to the thin-wall forming region of the second conductor layer.

    摘要翻译： 一种使用材料基板制造具有薄壁部分的微结构的方法。 材料基板具有包括第一导体层101，第二导体层102，第三导体层103，插入在第一导体层和第二导体层之间的第一绝缘层104和第二绝缘层105的层叠结构 插入在第二导体层和第三导体层之间。 第一绝缘层被图案化以具有用于覆盖第二导体层的薄壁形成区域的第一掩模部分。 图案化第二绝缘层以具有用于覆盖第二导体层的薄壁形成区域的第二掩模部分。 该方法包括：通过掩模图案58将材料基板从第一导体层蚀刻到第二绝缘层，从而在第二导体部分中形成薄壁部分，掩模图案58包括对应于薄壁形成区域的非屏蔽区域 第二导体层。

    Micro-actuation element provided with torsion bars
    4.
    发明申请
    Micro-actuation element provided with torsion bars 有权
    配有扭杆的微动元件

    公开(公告)号：US20050200986A1

    公开(公告)日：2005-09-15

    申请号：US11101519

    申请日：2005-04-08

    申请人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    发明人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H02N1/008

    摘要： The micro-actuation element (X1) includes a movable unit (111), a frame (112) and a coupler (113) for connecting these, where the unit, the frame and the coupler are integrally formed in a material substrate having a multi-layer structure that consists of electroconductive layers (110a-110c), such as a core conduction layer (110b), and insulation layers (110d, 110e) intervening between the electroconductive layers (110a-110c). The movable unit (111) includes a first structure originating in the core conduction layer (110b). The frame (112) includes a second structure originating in the core conduction layer (110b). The coupler (113) includes a plurality of electrically separated torsion bars (113a, 113b) that originate in the core conduction layer (110b) and are connected continuously to the first structure and the second structure.

    摘要翻译： 微致动元件（X 1）包括可移动单元（111），框架（112）和用于连接它们的耦合器（113），其中单元，框架和耦合器一体形成在具有 由导电层（110a-110c），例如芯导电层（110b）和介于导电层（110a-110c）之间的绝缘层（110d，110e））组成的多层结构， 。 可移动单元（111）包括源于芯导电层（110b）的第一结构。 框架（112）包括源于芯导电层（110b）的第二结构。 耦合器（113）包括多个电分离的扭力杆（113a，113b），其产生在芯导电层（110b）中并连续地连接到第一结构和第二结构。

    Micro-oscillation element having two rotational axes that are non-orthogonal to each other
    6.
    发明授权
    Micro-oscillation element having two rotational axes that are non-orthogonal to each other 失效
    微振动元件具有彼此不正交的两个旋转轴

    公开(公告)号：US07161274B2

    公开(公告)日：2007-01-09

    申请号：US10790762

    申请日：2004-03-03

    申请人： Osamu Tsuboi ,  Norinao Kouma ,  Hisao Okuda ,  Hiromitsu Soneda ,  Mi Xiaoyu ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Yoshitaka Nakamura

    发明人： Osamu Tsuboi ,  Norinao Kouma ,  Hisao Okuda ,  Hiromitsu Soneda ,  Mi Xiaoyu ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Yoshitaka Nakamura

    IPC分类号： H02N1/00 ,  G02B26/08

    CPC分类号： H02N1/008

    摘要： A micro-oscillation element includes a movable main section, a first frame and a second frame, and a first connecting section that connects the movable main section and the first frame and defines a first axis of rotation for a first rotational operation of the movable main section with respect to the first frame. The element further includes a second connecting section that connects the first frame and the second frame and defines a second axis of rotation for a second rotational operation of the first frame and the movable main section with respect to the second frame. A first drive mechanism is provided for generating a driving force for the first rotational operation. A second drive mechanism is provided for generating a driving force for the second rotational operation. The first axis of rotation and the second axis of rotation are not orthogonal.

    摘要翻译： 微振荡元件包括可移动主体部分，第一框架和第二框架，以及第一连接部分，其连接可移动主体部分和第一框架，并且限定第一旋转轴线用于可移动主体的第一旋转操作 相对于第一帧的截面。 元件还包括第二连接部分，其连接第一框架和第二框架并且限定第二旋转轴线用于第一框架和可移动主体部分相对于第二框架的第二旋转操作。 第一驱动机构被提供用于产生用于第一旋转操作的驱动力。 提供第二驱动机构用于产生用于第二旋转操作的驱动力。 第一旋转轴线和第二旋转轴线不正交。

    Micro-actuation element provided with torsion bars
    10.
    发明授权
    Micro-actuation element provided with torsion bars 有权
    配有扭杆的微动元件

    公开(公告)号：US07751108B2

    公开(公告)日：2010-07-06

    申请号：US11987899

    申请日：2007-12-05

    申请人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    发明人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H02N1/008

    摘要： The micro-actuation element (X1) includes a movable unit (111), a frame (112) and a coupler (113) for connecting these, where the unit, the frame and the coupler are integrally formed in a material substrate having a multi-layer structure that consists of electroconductive layers (110a-110c), such as a core conduction layer (110b), and insulation layers (110d, 110e) intervening between the electroconductive layers (110a-110c). The movable unit (111) includes a first structure originating in the core conduction layer (110b). The frame (112) includes a second structure originating in the core conduction layer (110b). The coupler (113) includes a plurality of electrically separated torsion bars (113a, 113b) that originate in the core conduction layer (110b) and are connected continuously to the first structure and the second structure.

    摘要翻译： 微型致动元件（X1）包括可移动单元（111），框架（112）和用于连接它们的联接器（113），其中单元，框架和耦合器一体地形成在具有多个 由导电层（110a-110c）（例如芯导电层（110b））和介于导电层（110a-110c）之间的绝缘层（110d，110e）组成。 可移动单元（111）包括源于芯导电层（110b）的第一结构。 框架（112）包括源于芯导电层（110b）的第二结构。 耦合器（113）包括多个电分离的扭杆（113a，113b），其产生在芯导电层（110b）中并且连续地连接到第一结构和第二结构。