公开(公告)号：US06977223B2

公开(公告)日：2005-12-20

申请号：US10794610

申请日：2004-03-05

申请人： Paul M. George ,  Robert S. Langer ,  David A. Lavan

发明人： Paul M. George ,  Robert S. Langer ,  David A. Lavan

IPC分类号： C25D1/00 ,  C25D1/10 ,  C25D3/38 ,  C25D5/02 ,  C25D5/16 ,  G02B6/124 ,  G02B6/13 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768 ,  H01L21/44

CPC分类号： C25D1/00 ,  B81C99/0095 ,  C25D1/003 ,  C25D1/10 ,  C25D3/38 ,  C25D5/022 ,  C25D5/16 ,  G02B6/124 ,  G02B6/13 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76838

摘要： Method for making three-dimensional structures. A template is provided having at least two conductive regions separated by a non-conductive region. The template is disposed in an electrolyte in an electrodeposition cell and a voltage is established between one of the conductive regions and an electrode in the cell. Material is deposited on the one of the conductive regions connected to the voltage and subsequently bridges to the other conductive region with material deposition continuing on both of the at least two regions. The non conductive region may be a gap and the gap dimension is selected to regulate height differences between the at least two conductive regions.

摘要翻译： 制作三维结构的方法。 提供了具有由非导电区域隔开的至少两个导电区域的模板。 将模板设置在电沉积电池中的电解质中，并且在电池中的一个导电区域和电极之间建立电压。 材料沉积在连接到电压的导电区域中的一个上，并且随后在至少两个区域两者上继续材料沉积而桥接到另一个导电区域。 非导电区域可以是间隙，并且选择间隙尺寸以调节至少两个导电区域之间的高度差。