公开(公告)号：US07531824B1

公开(公告)日：2009-05-12

申请号：US11274932

申请日：2005-11-14

申请人： Peter Johnson ,  Peter J. Hopper ,  Kyuwoon Hwang ,  William French

发明人： Peter Johnson ,  Peter J. Hopper ,  Kyuwoon Hwang ,  William French

IPC分类号： H01L29/02

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L23/645 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/19015 ,  H01L2924/00

摘要： An apparatus and method for fabricating high value inductors embedded on semiconductor integrated circuit. The apparatus and method involve forming a conductor on the semiconductor substrate. Once the conductor is formed, a polymer material is provided on the substrate surrounding the conductor. The polymer material contains a ferromagnetic material so that the permeability of the polymer is greater than one. In various embodiments, the ferromagnetic material may be any one of a number of different high permeable materials such as iron oxide, zinc, manganese, zirconium, samarium (SA), neodymium (NA), cobalt, nickel or a combination thereof.

摘要翻译： 一种用于制造嵌入在半导体集成电路上的高值电感器的装置和方法。 该装置和方法包括在半导体衬底上形成导体。 一旦形成导体，在围绕导体的基底上提供聚合物材料。 聚合物材料含有铁磁材料，使得聚合物的渗透性大于1。 在各种实施方案中，铁磁材料可以是多种不同的高渗透性材料中的任何一种，例如氧化铁，锌，锰，锆，钐（SA），钕（NA），钴，镍或它们的组合。

公开(公告)号：US08815700B2

公开(公告)日：2014-08-26

申请号：US12315934

申请日：2008-12-08

申请人： Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

发明人： Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

IPC分类号： H01L21/76

CPC分类号： H01L21/76283

摘要： In a SOI process, a high lateral voltage isolation structure is formed by providing at least two concentric dielectric filled trenches, removing the semiconductor material between the dielectric filled trenches and filling the resultant gap with dielectric material to define a single wide dielectric filled trench.

摘要翻译： 在SOI工艺中，通过提供至少两个同心的电介质填充的沟槽来形成高横向电压隔离结构，去除介电填充的沟槽之间的半导体材料，并用电介质材料填充所得的间隙以限定单个宽的电介质填充的沟槽。

公开(公告)号：US20110272780A1

公开(公告)日：2011-11-10

申请号：US12774532

申请日：2010-05-05

申请人： Peter Smeys ,  Kyuwoon Hwang ,  Peter J. Hopper ,  William French

发明人： Peter Smeys ,  Kyuwoon Hwang ,  Peter J. Hopper ,  William French

IPC分类号： H01L29/86 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L28/10 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： An on-chip inductor structure is formed as part of an integrated circuit structure. The integrate circuit structure includes a semiconductor substrate having a top side and a back side, integrated circuit elements formed on the top side of the substrate, a conductive interconnect structure formed in contact with the integrated circuit elements and a passivation layer formed over the integrated circuit elements. The inductor structure comprises a layer of photoimageable epoxy formed on the passivation layer, a conductive inductor coil formed on the layer of photoimageable epoxy and at least one conductive via that extends from the inductor coil to the interconnect layer to provide electrical connection therebetween. Additionally, a back side trench may be formed in the back side of the semiconductor substrate beneath the inductor coil.

摘要翻译： 片上电感器结构形成为集成电路结构的一部分。 集成电路结构包括具有顶侧和背面的半导体衬底，形成在衬底的顶侧上的集成电路元件，与集成电路元件接触形成的导电互连结构和形成在集成电路上的钝化层 元素。 电感器结构包括形成在钝化层上的可光成像环氧树脂层，形成在可光成像环氧树脂层上的导电电感线圈和从电感线圈延伸到互连层的至少一个导电通孔，以在它们之间提供电连接。 此外，可以在电感线圈下方的半导体衬底的背面形成背面沟槽。

公开(公告)号：US20100144116A1

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：US12315934

申请日：2008-12-08

申请人： Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

发明人： Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

IPC分类号： H01L21/76

CPC分类号： H01L21/76283

摘要： In a SOI process, a high lateral voltage isolation structure is formed by providing at least two concentric dielectric filled trenches, removing the semiconductor material between the dielectric filled trenches and filling the resultant gap with dielectric material to define a single wide dielectric filled trench.

摘要翻译： 在SOI工艺中，通过提供至少两个同心的电介质填充的沟槽来形成高横向电压隔离结构，去除介电填充的沟槽之间的半导体材料，并用电介质材料填充所得的间隙以限定单个宽的电介质填充的沟槽。

公开(公告)号：US20100141374A1

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：US12315930

申请日：2008-12-08

申请人： Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

发明人： Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

IPC分类号： H01F27/28 ,  H01F27/34

CPC分类号： H01F27/2804 ,  H01F27/34 ,  H01L23/5227 ,  H01L23/645 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： In an on-chip transformer, external electromagnetic field influences are reduced by providing an isolation transformer having primary and secondary windings with a figure 8 configuration so that current induced by an external magnetic field is nulled.

摘要翻译： 在片上变压器中，通过提供具有图8构造的初级和次级绕组的隔离变压器来减小外部电磁场的影响，使得由外部磁场引起的电流为零。

公开(公告)号：US20120175676A1

公开(公告)日：2012-07-12

申请号：US13004803

申请日：2011-01-11

申请人： Ann Gabrys ,  Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

发明人： Ann Gabrys ,  Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

IPC分类号： H01L31/102

CPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/08

摘要： A photodetector detects the absence or presence of light by detecting a change in the inductance of a coil. The magnetic field generated when a current flows through the coil passes through an electron-hole generation region. Charged particles in the electron-hole generation region come under the influence of the magnetic field, and generate eddy currents whose magnitudes depend on whether light is absent or present. The eddy currents generate a magnetic field that opposes the magnetic field generated by current flowing through the coil.

摘要翻译： 光电检测器通过检测线圈的电感的变化来检测光的存在或不存在。 当电流流过线圈时产生的磁场通过电子空穴产生区域。 电子空穴产生区域中的带电粒子受到磁场的影响，并产生大小取决于光不存在或存在的涡流。 涡流产生与由流过线圈的电流产生的磁场相反的磁场。

公开(公告)号：US20100295550A1

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：US12709416

申请日：2010-02-19

申请人： Peter J. Hopper ,  Kyuwoon Hwang ,  William French ,  Qingguo Liu

发明人： Peter J. Hopper ,  Kyuwoon Hwang ,  William French ,  Qingguo Liu

IPC分类号： G01N27/416 ,  H02J7/00 ,  H01M2/14

CPC分类号： H01M10/04 ,  B60L58/12 ,  B60L2240/545 ,  B60L2240/547 ,  B60L2240/549 ,  G01R31/007 ,  G01R31/382 ,  G01R31/389 ,  H01M10/4257 ,  H01M10/448 ,  H01M10/48 ,  H02J7/0063 ,  Y02T10/7011 ,  Y02T10/7044 ,  Y02T10/705

摘要： A battery includes multiple conductive plates and a permeable electrolytic material and an ion membrane located between the conductive plates. The battery also includes at least one wire located within one or more of the permeable electrolytic material and the ion membrane. The at least one wire can be configured to regulate a flow of ions through the ion membrane based on an electrical signal flowing through the at least one wire. The at least one wire could also be configured to generate a magnetic field within the permeable electrolytic material based on another electrical signal flowing through the at least one wire. The battery could further include a temperature sensor wire within the permeable electrolytic material.

摘要翻译： 电池包括多个导电板和可渗透电解材料以及位于导电板之间的离子膜。 电池还包括位于可渗透电解质材料和离子膜内的一种或多种中的至少一根线。 所述至少一根导线可以被配置成基于流过所述至少一根导线的电信号来调节通过所述离子膜的离子流。 所述至少一根丝线还可以被配置为基于流过所述至少一根线材的另一电信号在所述可渗透电解材料内产生磁场。 电池还可以包括渗透电解材料内的温度传感器线。

公开(公告)号：US08390025B2

公开(公告)日：2013-03-05

申请号：US13004803

申请日：2011-01-11

申请人： Ann Gabrys ,  Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

发明人： Ann Gabrys ,  Peter J. Hopper ,  William French ,  Kyuwoon Hwang

IPC分类号： H01L31/02 ,  H01L31/0336

CPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/08

摘要： A photodetector detects the absence or presence of light by detecting a change in the inductance of a coil. The magnetic field generated when a current flows through the coil passes through an electron-hole generation region. Charged particles in the electron-hole generation region come under the influence of the magnetic field, and generate eddy currents whose magnitudes depend on whether light is absent or present. The eddy currents generate a magnetic field that opposes the magnetic field generated by current flowing through the coil.

摘要翻译： 光电检测器通过检测线圈的电感的变化来检测光的存在或不存在。 当电流流过线圈时产生的磁场通过电子空穴产生区域。 电子空穴产生区域中的带电粒子受到磁场的影响，并产生大小取决于光不存在或存在的涡流。 涡流产生与由流过线圈的电流产生的磁场相反的磁场。

公开(公告)号：US20090256687A1

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：US12199146

申请日：2008-08-27

申请人： William French ,  Peter J. Hopper ,  Kyuwoon Hwang

发明人： William French ,  Peter J. Hopper ,  Kyuwoon Hwang

IPC分类号： G05B11/01

CPC分类号： H01L28/10 ,  H01F27/2804 ,  H01F27/365 ,  H01L23/5227 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A magnetic guard ring is provided to reduce the susceptibility of a transformer-based data transmission to an externally generated magnetic field. The guard ring structure comprises strategically placed pieces of ferrite material, such as NiFe, that surround the transformer and “steer” the external magnetic field away from the transformer.

摘要翻译： 提供磁保护环以减小基于变压器的数据传输对外部产生的磁场的敏感性。 保护环结构包括围绕变压器的策略性放置的诸如NiFe的铁氧体材料片，并将外部磁场“远离”变压器。

公开(公告)号：US07897472B2

公开(公告)日：2011-03-01

申请号：US12624259

申请日：2009-11-23

申请人： Peter J. Hopper ,  Peter Johnson ,  Kyuwoon Hwang ,  Andrei Papou

发明人： Peter J. Hopper ,  Peter Johnson ,  Kyuwoon Hwang ,  Andrei Papou

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： H01L23/645 ,  H01L23/5227 ,  H01L28/10 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/19015 ,  H01L2924/19104 ,  H01L2924/00

摘要： Methods for forming multiple inductors on a semiconductor wafer are described. A plating layer and a photoresist layer are applied over a semiconductor wafer. Recess regions are etched in the photoresist layer using photolithographic techniques, which exposes portions of the underlying plating layer. Metal is electroplated into the recess regions in the photoresist layer to form multiple magnetic core inductor members. A dielectric insulating layer is applied over the magnetic core inductor members. Additional plating and photoresist layers are applied over the dielectric insulating layer. Recess regions are formed in the newly applied photoresist layer. Electroplating is used to form inductor windings in the recess regions. Optionally, a magnetic paste can be applied over the inductor coils.

摘要翻译： 描述了在半导体晶片上形成多个电感器的方法。 将镀层和光致抗蚀剂层施加在半导体晶片上。 使用光刻技术在光致抗蚀剂层中蚀刻凹陷区域，其暴露下面的镀层的部分。 将金属电镀到光致抗蚀剂层的凹陷区域中以形成多个磁芯电感器构件。 介质绝缘层施加在磁芯电感器部件上。 在电介质绝缘层上施加附加的电镀和光致抗蚀剂层。 在新施加的光致抗蚀剂层中形成凹陷区域。 电镀用于在凹陷区域形成电感线圈。 可选地，可以在电感线圈上施加磁性糊。